| infotek |
2026-08-31 11:50 |
衍射光学元件设计仿真与测量验证技术开放日第二期9.21日
PART1 =>hq0F4[;
S #X$QD
开放日活动概述 MO :##C
QY 2!.a^q
衍射光 学元件（DOE）作为现代光子学核心技术，正重塑半导体光刻、激光加工、AR/VR、车载激光雷达等关键领域。其通过微纳结构精准调控光场的能力，是光学系统小型化、轻量化与性能突破的核心支撑。然而，DOE 复杂的光场设计、严苛的制造公差要求、以及与实际光源的匹配难题，叠加设计仿真与实物验证脱节、试错成本高、迭代周期长等问题，一直是行业核心痛点。 1WPDMLuN
2FO.!m
如何在研发阶段通过严格物理光学仿真，提前验证 DOE 的设计合理性、衍射性能与可制造性，大幅降低研发风险？VirtualLab Fusion 光之数字模型平台，以电磁场为通用交互语言，为 DOE 提供从概念到制造的端到端解决方案。不同于传统光线追迹工具，它可精准模拟衍射、干涉等核心物理效应，精确预测衍射效率、光场分布等关键性能，并在设计阶段定义可测量的微纳结构参数与公差标准。 TD-d5P^Kek
8kih81tx"U
当 DOE 设计落地为实物，又该如何高效完成其微米级周期结构、纳米级台阶高度、全域面形均匀性等核心参数的精密表征，验证设计性能达成率？本次活动联合中科霖仪，通过 TOPOS 系列非接触式全自动化扫描白光干涉仪，捕捉近原子尺度表面形貌细节，精准测量台阶高度、周期、线宽、面形 PV/RMS 等参数，实现 DOE 从仿真设计到实物测量的无缝闭环。 X9nt;A2TU+
zVs_|x="
PART2 8=7u,t
yg "u^*r&
活动安排 X u$xO(
SMQuJ_
1.衍射光学元件设计概述 2 C %{A
J[ UL
f7:
衍射光学元件介绍（匀光器、分束器、扩散器） QzIK580%t
Um\Nd#=:
DOE元件设计算法-IFTA 8^zI
v'.?:S&m
2.VirtualLab Fusion光之数字模型平台简介 GD|uU
pN&D pz^
光学数字模型及对应的仿真算法 '= x
KMznl=LF
跨尺度元件仿真能力 E`>-+~ZUsk
Wn24eld"x
3.衍射光学元件设计实战 q+t*3;X.
/Z>#lMg\.
激光匀化衍射光学元件设计 Qg?^%O'
lMp)T**
分光/图案式衍射光学元件设计 pr/yDG ia
A75IG4]
4.衍射光学元件设计结果的测量验证 i}RxTmG<
&oYX093di
白光干涉测量的核心验证能力 Te2XQU 2,F
}MrR svN
基于白光干涉仪的衍射光学元件设计-验证联动演示 g!D?Yj4
G F,/<R #
5.技术答疑与现场检测服务件设计结果的测量验证 T eG5|`t],
$t-HJ<!
有兴趣参与学习可联系作者18019382784
|
|