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2026-08-31 11:50 |
衍射光学元件设计仿真与测量验证技术开放日第二期9.21日
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开放日活动概述 8=\}#F
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衍射光 学元件（DOE）作为现代光子学核心技术，正重塑半导体光刻、激光加工、AR/VR、车载激光雷达等关键领域。其通过微纳结构精准调控光场的能力，是光学系统小型化、轻量化与性能突破的核心支撑。然而，DOE 复杂的光场设计、严苛的制造公差要求、以及与实际光源的匹配难题，叠加设计仿真与实物验证脱节、试错成本高、迭代周期长等问题，一直是行业核心痛点。 kn9ul3c
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如何在研发阶段通过严格物理光学仿真，提前验证 DOE 的设计合理性、衍射性能与可制造性，大幅降低研发风险？VirtualLab Fusion 光之数字模型平台，以电磁场为通用交互语言，为 DOE 提供从概念到制造的端到端解决方案。不同于传统光线追迹工具，它可精准模拟衍射、干涉等核心物理效应，精确预测衍射效率、光场分布等关键性能，并在设计阶段定义可测量的微纳结构参数与公差标准。 M5\$+ Tu
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当 DOE 设计落地为实物，又该如何高效完成其微米级周期结构、纳米级台阶高度、全域面形均匀性等核心参数的精密表征，验证设计性能达成率？本次活动联合中科霖仪，通过 TOPOS 系列非接触式全自动化扫描白光干涉仪，捕捉近原子尺度表面形貌细节，精准测量台阶高度、周期、线宽、面形 PV/RMS 等参数，实现 DOE 从仿真设计到实物测量的无缝闭环。 {B|)!_M#
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PART2 ^6g^ Q* "
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活动安排 U4s)3jDw
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1.衍射光学元件设计概述 Z8 eB5!$
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衍射光学元件介绍（匀光器、分束器、扩散器） EnW}>XN
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DOE元件设计算法-IFTA g Z!q
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2.VirtualLab Fusion光之数字模型平台简介 7H=V|Btnc
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光学数字模型及对应的仿真算法 Um Ec")3
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跨尺度元件仿真能力 {wJ8%
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3.衍射光学元件设计实战 -HQ (t
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激光匀化衍射光学元件设计 (Y!{ UNq5
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分光/图案式衍射光学元件设计 % H/V
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4.衍射光学元件设计结果的测量验证 ,uo K'_
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白光干涉测量的核心验证能力 A r,fmq
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基于白光干涉仪的衍射光学元件设计-验证联动演示 )JA9bR
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5.技术答疑与现场检测服务件设计结果的测量验证 H3#rFO"C*
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有兴趣参与学习可联系作者18019382784
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