Meta-surface Lens（超表面透镜）

1. 直接光刻刻蚀：每片基板都要完成光刻、刻蚀，设备投入大，单片加工周期长，不适合大规模量产；
2. 微纳亚波长结构图形精度要求极高，模具形貌缺陷会直接转移到透镜，影响光学成像性能；
3. 介质层树脂材料需要同时满足高折射率、红外透过、低收缩、耐温、力学硬度多项指标，普通光学树脂无法兼顾；
4. 模具寿命、脱模性能直接决定良率，镍模表面处理、压印工艺参数对成品良率影响大。

1. 母版制备：使用玻璃光刻掩模，在硅 / 石英基底上通过半导体光刻工艺，曝光显影得到原始微纳图案母版；
2. Ni 电铸成型：对母版做导电化处理，采用电铸工艺沉积金属镍，剥离后得到负型 Ni 金属模具；镍模具备高硬度、高平整度，可反复用于压印复制；
3. 纳米压印图案复制：采用专属特种树脂材料，将 Ni 电铸模具压入液态树脂，UV 紫外光固化，脱模后，树脂层复刻出完整的亚波长介质图案；
4. 后处理：固化树脂介质图案层与基底结合，完成超表面透镜芯片制备。

1. 可大批量晶圆级复制：一套 Ni 电铸模具可以压印大量透镜器件，规避逐片光刻的高成本，适合批量生产；
2. 图形保真度高：从光刻母版到镍模再到树脂压印复制，亚波长微纳结构形貌转移精度高，保障超表面光学性能；
3. 材料方案灵活：特种功能树脂可调配折射率，适配红外、可见光等不同工作波段，可用于夜视 Meta 镜头；
4. 器件轻薄：树脂介质层厚度薄，最终得到平面超表面透镜，整体器件扁平化，利于小型化光电系统集成。

1. Ni 电铸母版制作前期开发成本高，适合中大批量；小批量样品不占优势；
2. UV 树脂存在固化收缩，会带来微小图形畸变，需要材料与工艺补偿；
3. 镍模具存在磨损，需要做表面抗粘镀层，管控模具使用寿命；
4. 树脂材料军用环境需要做高低温、湿热、盐雾可靠性验证。

1. 军用红外夜视超表面透镜（IR 夜视照相机）；
2. AR/MR 衍射光学、平面光学器件；
3. 微型成像、WLO 晶圆级光学镜片；
4. 多光谱侦察小型光电载荷。

1. 优化 Ni 电铸工艺，降低母版缺陷，提升模具寿命；
2. 开发更高折射率、红外高透过特种压印树脂，适配军用红外波段；
3. 压印‑封装一体化工艺，实现超表面透镜与探测器共贴装；
4. 完善军规可靠性工艺验证，推进树脂基超表面透镜军工装备落地。