zns表面破损/脱膜

使用阻蒸在GE基底镀一层ZNS的单层膜，镀膜温度170℃。
超声清洗后对ZNS膜层进行检测，发现存在白点和破损（如图），尺寸都是um量级。

对白点进行了成分分析，是ZNS膜料。破损是什么原因造成的？破损的位置是否是大颗粒的ZNS点在超声过程中脱膜导致？如何改善？
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飞奔的牛	2026-07-17 14:24
emmm，这个我这镀膜也有，咱们的异常一模一样，我现在也在想解决这个，目前只能做到减少，不能完全消除掉，还是得去找大佬问问。 n^<3E; a 我怀疑溅料、底部脏污，腔体环境，但不知道对不对 c"qaULY

nailiang

2026-07-17 15:33

飞奔的牛:emmm，这个我这镀膜也有，咱们的异常一模一样，我现在也在想解决这个，目前只能做到减少，不能完全消除掉，还是得去找大佬问问。 CPRv"T;?
我怀疑溅料、底部脏污，腔体环境，但不知道对不对 =n $@
(2026-07-17 14:24) *"rgK|CM$

底部脏污导致的脱膜是从基底开始的吧。我们切片分析，发现一部分是基底脱膜，又有一部份是膜层中间脱落。
另外对白点切片分析，有部分白点是膜层中间存在空鼓，导致突起。
调整zns膜料装舟时的排列紧密度会不会对溅料产生改善

飞奔的牛

2026-07-20 14:01

nailiang:底部脏污导致的脱膜是从基底开始的吧。我们切片分析，发现一部分是基底脱膜，又有一部份是膜层中间脱落。 oOk.Fq
另外对白点切片分析，有部分白点是膜层中间存在空鼓，导致突起。 2A3;#v
调整zns膜料装舟时的排列紧密度会不会对溅料产生改善 G~ZDXQ>5CP
....... (2026-07-17 15:33) eqbxf#H!

调整装料方式可以验证一下，我在其他途径了解到的方法：
1.有的老师傅是压成块状的ZNS放在钼舟里，他们的缺陷就少
2.底层用ZNS旧料，然后在上面铺设新料
3.降低速率，防止蒸发过快
前两条没试过，最后一条刚验证，确实可以减少这种节瘤缺陷
你可以先验证一下，或者有其他思路也可以说一下，咱们一起验证

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