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liang231929	2026-07-07 15:11
磁控溅射基片前清洁也称前期反溅，顺序：抽本底真空--冲氩气--闭靶挡板--关靶电源--开基板偏压（基板反溅）--关闭偏压--开挡板--开启靶进行沉积镀膜

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