α-BBOGlan-laser Polarizer的设计和选型
格兰激光棱镜偏振镜由两个相同的双折射材料棱镜制成。 格兰激光棱镜偏振镜是格兰泰勒(Glan Taylor)型的改进,旨在减少棱镜界面处的反射损耗。 具有两个逸出窗口的偏振器允许被截止的光束从偏振器中逸出,这使其更适合于高能激光器。逸出窗口的表面质量与入射面和出射面相比,相对低一级。α-BBO Glan-Laser 格兰激光偏振棱镜 AvhmN5O= [attachment=135225] zYF'XB]4 一、设计原理 ~/
"aD 1. 晶体属性 U9kt7#@FDK α-BBO 负单轴晶体,,透光190~3500nm,适配 193/266/355nm 紫外激光,双折射大、偏振性能优异。 Hn:%(Rg=aW 2. 结构形式 Q +qN` 两块等腰直角 α-BBO 棱镜斜面贴合,光轴相互平行,垂直端面入射。 {8b6A~/ 3. 分光滤光原理 5a-8/.}cP 自然光分解为 o 光、e 光;利用全反射临界角设计,o 光斜面全反射被滤除,仅 e 光直线透射输出高纯线偏振光。 5Ss=z 结构通光截面窄、光程短,专为高功率激光光路设计。 `} Q+: 4. 结构特点 ~"{Kjr#R 入射视场角偏小,抗激光损伤能力强,端面反射低,可承受高峰值功率激光。 4l[f}Z 二、核心设计参数 @lBR;B" ·工作波段:190~3500nm,190nm 以下无法使用 dH?;!sJ ·消光比:标准,高精款可达 `P"-9Ue= ·损伤阈值:355nm 约,同材质里抗损最优 b\H~Ot[i ·视场角:典型 ±3°~±5°,窄角度入射适配 5(TI2,4 ·面形精度:常规,精密光路 BL,YJM(y ·贴合工艺 [+>$'Du 光胶:无胶层,高功率、紫外光路标配,无吸收老化 !d%OoRSU' 胶合:仅 400nm 以上低功率场景使用 kXv
-B-wOj ·通光孔径:常规 Φ6/8/10/15mm,光束预留 1.2 倍余量 Jg|/*Or 三、同系列棱镜对比 x1?p+ 四、核心光学参数(福州呈欣光电有限公司) x-(?^g 福州呈欣光电标准型号:GLP60系列 4|7L26,]5 ·波长范围:190–3500 nm(覆盖 532/1064/1310/1550/2000 nm) }=;N3Q" #y ·消光比:<5×10⁻⁶(典型 10⁻⁶,200,000:1) Vad(PS0 ·半视场角:>6° -9vAY+s. ·e 光透过率 Tp:>95%(镀膜后) /Y%) Y ·损伤阈值(脉冲):>500 MW/cm² @1064 nm, 20 ns `L7 cS ·损伤阈值(CW):>100 W/cm² @1064 nm XOVZ'V ·波前畸变:<λ/4 @633 nm(Laser 级) +#,t ·光束偏移:<3 arcmin Z9 }qds6 y ·表面质量:20/10 S-D A&)P_B1| 五、主要应用场景 1m|1eAGS{ 1. 高功率紫外激光系统 dV.)+X7< 倍频、和频、激光刻蚀、精密打标,腔内偏振锁定与光束净化。 Su6ZO'[) 2. 半导体高端检测 hFyN|Dqhds 光刻光路、掩模精密检测、激光散射缺陷扫描。 c[@>#7p`o 3. 非线性光学实验 6D_4o&N 偏振选频、光参量振荡、强光偏振控制。 bP(V#6IJ8 4. 激光测距与精密干涉 uWv l<{2 抑制偏振杂光,提升测量稳定性与精度。 D?8t'3no 5. 激光隔离防护光路 o!wz:|\S 阻挡反向回光,保护激光器谐振腔。 a(BWV?A 六、选型准则 W;Ox H"eC 1. 波长<190nm,更换 MgF₂格兰激光棱镜 82efqzT 2. 高峰值功率、窄光束优先选用本型号 2gb49y~ 3. 紫外强光工况必须选用光胶结构 3eFD[c%mN 4. 大光斑、大角度入射改用格兰汤普森型
> ")%4@ 5. 匹配对应波段增透镀膜,降低端面反射损耗
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