α-BBOGlan Thompson Polarizer的设计和选型
格兰汤普森偏振器由两个α-BBO棱镜粘合而成。 有两种类型的格兰汤普森。 一种是标准格式,另一种是长格式。 它们的长度与孔径之比分别为2.5:1和3.0:1。 格兰汤普森棱镜的消光比往往比空偏光片高。 在紫外线光谱中,它们的传输受到双折射材料以及胶层吸收的限制。 α-BBO偏振器可以在约190-900nm范围内使用。α-BBO Glan-Thompson Polarizer的设计和选型。 QB
oZCLv 一、设计原理 J/H#d')c 1. 晶体基础 -6*OF.Ag` α-BBO 为负单轴晶体,透光范围190~3500nm,覆盖深紫外、可见光、近红外,双折射大,偏振分离能力强。 0n =9TmE 2. 结构构成 +5seT}h 由两块直角梯形 α-BBO 棱镜斜面贴合组成,两晶体光轴平行排布,光线垂直入射端面。 !S$oaCxM [attachment=135207] KD<; ?oN<O 3. 工作机理 ,T1XX2?: 入射自然光分解为 o 光、e 光;o 光在斜面发生全内反射被滤除,e 光直线透射输出,得到高纯度线偏振光。
G$cq 相较于格兰激光棱镜,通光口径更大、视场角更广,结构紧凑。 Bwi[qw 4. 关键判定条件 "m\UqQGX 依托临界角原理,设计斜面倾角大于 o 光临界入射角,实现杂偏振彻底拦截,保障出射偏振纯度。 bsmoLT 二、核心设计参数 [M zc^I& ·适用波段:190~3500nm,适配 193/266/355nm 紫外激光,低于 190nm 无法使用 OM#OPB
rB ·消光比:常规,精密级可达 EZa{C}NQ$2 ·损伤阈值:355nm 约,耐受中高功率紫外激光 ~6Ee=NaLzP ·视场角:典型 ±8°~±12°,广角入射兼容性好 d5Eee^Qu/ ·面形精度:常规,精密检测选用 cWy*K4O ·拼接工艺 R*c0NJF 光胶:无胶层,紫外、高功率场景首选,无吸收老化 _tR.RAaa" 胶合:低成本,仅用于 400nm 以上低功率光路 lpX p)r+ ·通光孔径:常用 Φ6/8/10/15/20mm,选型预留光束 1.2~1.5 倍余量 Z-;uzx 二、同类格兰棱镜对比 M,v@G$pW ;zxlwdfcr'
g!|E!\p 四、核心光学参数(福州呈欣光电有限公司) fkUH]CdaB 福州呈欣光电标准型号:GMP60系列 ]j#$. $q ·波长范围:190–3500 nm(覆盖 532/1064/1310/1550/2000 nm) })u}PQ ·消光比:<5×10⁻⁶(典型 10⁻⁶,200,000:1) eR
2T<7G ·半视场角:>15° _q 9lr8hx ·e 光透过率 Tp:>95%(镀膜后) t 6IaRD ·损伤阈值(脉冲):>500 MW/cm² @1064 nm, 20 ns z#
?w/NE ·损伤阈值(CW):>100 W/cm² @1064 nm l8d%hQVqT ·波前畸变:<λ/4 @633 nm(Laser 级) a} fS2He ·光束偏移:<3 arcmin i3WmD@ ·表面质量:20/10 S-D t>`LO 五、典型应用场景 jN[6JY1 1. 深紫外激光系统 KI QBY!N+ 紫外打标、刻蚀、倍频光路,作为起偏、检偏核心元件,规整光束偏振态。 i&G`ah> 2. 半导体光学检测 uV:uXQni`` 晶圆缺陷检测、掩模校验、薄膜椭偏测量,高消光比规避杂光干扰。 p$G3r0@ 3. 精密光谱与干涉仪器 5dEO_1q
% 偏振光谱分析、激光干涉测量,保证检测信号稳定性与精度。 +Y^F>/ 4=Y 4. 科研光学实验 Ip|^?uyrk 非线性光学、偏振调控实验,获取高纯线偏振光源。 ZV^J5wYE 5. 光学成像设备 )Is*-
W 偏振成像、形貌扫描,过滤无效偏振光,提升画面对比度。 :
MmXH&yR 六、选型要点 ?4?jG3p 1. 工作波长<190nm,替换为 MgF₂材质棱镜 /lok3J: 2. 大光斑、大角度入射光路,优先选格兰汤普森结构 l6U' 3. 高功率紫外工况,必须采用光胶贴合工艺 5GxM?%\ 4. 按需匹配波段增透膜,降低反射损耗 KKXb,/ 5. 窄光束超高功率场景,改用格兰激光型更适配
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