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福州呈欣光电 2026-06-16 14:16

α-BBOGlan Thompson Polarizer的设计和选型

格兰汤普森偏振器由两个α-BBO棱镜粘合而成。 有两种类型的格兰汤普森。 一种是标准格式,另一种是长格式。 它们的长度与孔径之比分别为2.5:1和3.0:1。 格兰汤普森棱镜的消光比往往比空偏光片高。 在紫外线光谱中,它们的传输受到双折射材料以及胶层吸收的限制。 α-BBO偏振器可以在约190-900nm范围内使用。α-BBO Glan-Thompson Polarizer的设计和选型。 9aD6mp  
一、设计原理 k[R/RhHQ,  
1. 晶体基础 oJVpNE[3]  
α-BBO 为负单轴晶体,透光范围190~3500nm,覆盖深紫外、可见光、近红外,双折射大,偏振分离能力强。 "Nj(0&  
2. 结构构成 jb$sIZ%i  
由两块直角梯形 α-BBO 棱镜斜面贴合组成,两晶体光轴平行排布,光线垂直入射端面。 )/PvaL  
[attachment=135207] c Bb!7?6(  
3. 工作机理 m{`O.6#O  
入射自然光分解为 o 光、e 光;o 光在斜面发生全内反射被滤除,e 光直线透射输出,得到高纯度线偏振光。 3M8P%  
相较于格兰激光棱镜,通光口径更大、视场角更广,结构紧凑。 #M&rmKv)g  
4. 关键判定条件 }P#%aE&-  
依托临界角原理,设计斜面倾角大于 o 光临界入射角,实现杂偏振彻底拦截,保障出射偏振纯度。 Na=9 ju  
二、核心设计参数 6* cm  
·适用波段:190~3500nm,适配 193/266/355nm 紫外激光,低于 190nm 无法使用 3}= .7qm  
·消光比:常规,精密级可达 Gy.<gyK9  
·损伤阈值:355nm 约,耐受中高功率紫外激光 %+|k>?&z7  
·视场角:典型 ±8°~±12°,广角入射兼容性好 )TJz'J\*  
·面形精度:常规,精密检测选用 2/sD#vC  
·拼接工艺 f/H rO6~k%  
光胶:无胶层,紫外、高功率场景首选,无吸收老化 ?t$sju(\  
胶合:低成本,仅用于 400nm 以上低功率光路 @=h%;"  
·通光孔径:常用 Φ6/8/10/15/20mm,选型预留光束 1.2~1.5 倍余量 .%+'Ts#ie  
二、同类格兰棱镜对比 [bUM x  
h']R P  
-20o%t  
品类
 4%LG9hS  
透光区间
\O/" F;  
消光比
 g2L  
损伤阈值
K20n355uE  
视场角
oD4NQR  
适用特点
x=Qy{eIe  
α-BBO 格兰汤普森
8jd<|nYnfc  
190~3500nm
U2 <*BRJ  
^+oi|y  
较高
iN8?~T}w  
大口径、广角
+"Ih'bb`j  
偏振起偏检偏、大光斑光路
eW"i'\`0  
α-BBO 格兰激光
U8]L3&~  
190~3500nm
w(8q qU+\  
%E?:9. :NJ  
更高
m8n!<_NFt(  
偏小
it=L_zu}  
超高功率窄光束激光
GK)3a 9;  
石英格兰棱镜
V.)y7B  
200~2300nm
qF`;xa%,}  
中等
>aW|W!.  
偏低
>F8&wh'BjY  
中等
k(C?6Gfj  
经济型常规偏振光路
z}.!q{Q  
MgF₂格兰棱镜
)MZ]c)JD^  
110~7000nm
EJjTf:  
"Ol;0>$  
极高
TP{lt6wws(  
中等
MG>g?s'!  
极深紫外超高功率场景
Kv:UQdnU[  
四、核心光学参数(福州呈欣光电有限公司) %}%D8-d}G  
  福州呈欣光电标准型号:GMP60系列 6?Q&>V26Y  
·波长范围:190–3500 nm(覆盖 532/1064/1310/1550/2000 nm) Fe.Y4\xz  
·消光比:<5×10⁻⁶(典型 10⁻⁶,200,000:1) <89@k(\ /  
·半视场角:>15° ?=jmyDXH!  
·e 光透过率 Tp:>95%(镀膜后) LeO ))  
·损伤阈值(脉冲):>500 MW/cm² @1064   nm, 20 ns 1B'i7  
·损伤阈值(CW):>100 W/cm² @1064   nm {k1s@KXtd  
·波前畸变:<λ/4 @633 nm(Laser 级) cE 8vSQ%  
·光束偏移:<3 arcmin Y:&1;`FBZ  
·表面质量:20/10 S-D aQCbRS6  
五、典型应用场景 ]w]Swt2n  
1. 深紫外激光系统 O}NR{B0B3&  
紫外打标、刻蚀、倍频光路,作为起偏、检偏核心元件,规整光束偏振态。 aw/Y#  
2. 半导体光学检测 -))>7skc  
晶圆缺陷检测、掩模校验、薄膜椭偏测量,高消光比规避杂光干扰。 THJ KuWy  
3. 精密光谱与干涉仪器 _Jk-nZgn  
偏振光谱分析、激光干涉测量,保证检测信号稳定性与精度。 -kZz,pNQ,  
4. 科研光学实验 ABNsi$]r0  
非线性光学、偏振调控实验,获取高纯线偏振光源。 CEc& G  
5. 光学成像设备 Z%Y=Lx  
偏振成像、形貌扫描,过滤无效偏振光,提升画面对比度。 F) {f{-@)  
六、选型要点 b;]'Bo0K  
1. 工作波长<190nm,替换为 MgF₂材质棱镜 CWE jX-  
2. 大光斑、大角度入射光路,优先选格兰汤普森结构 }E]`ly<Z  
3. 高功率紫外工况,必须采用光胶贴合工艺 reM%GU  
4. 按需匹配波段增透膜,降低反射损耗 Y((z9-`  
5. 窄光束超高功率场景,改用格兰激光型更适配

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