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福州呈欣光电 2026-06-16 14:16

α-BBOGlan Thompson Polarizer的设计和选型

格兰汤普森偏振器由两个α-BBO棱镜粘合而成。 有两种类型的格兰汤普森。 一种是标准格式,另一种是长格式。 它们的长度与孔径之比分别为2.5:1和3.0:1。 格兰汤普森棱镜的消光比往往比空偏光片高。 在紫外线光谱中,它们的传输受到双折射材料以及胶层吸收的限制。 α-BBO偏振器可以在约190-900nm范围内使用。α-BBO Glan-Thompson Polarizer的设计和选型。 YLx4qE  
一、设计原理 9tMaOm  
1. 晶体基础 =hP7 Hea(N  
α-BBO 为负单轴晶体,透光范围190~3500nm,覆盖深紫外、可见光、近红外,双折射大,偏振分离能力强。 Bp7`W:?# "  
2. 结构构成 &(Yv&j X  
由两块直角梯形 α-BBO 棱镜斜面贴合组成,两晶体光轴平行排布,光线垂直入射端面。 xk#q_!(j  
[attachment=135207] ]RvFn~E!s  
3. 工作机理 mr 6~8 I  
入射自然光分解为 o 光、e 光;o 光在斜面发生全内反射被滤除,e 光直线透射输出,得到高纯度线偏振光。 PX} ~  
相较于格兰激光棱镜,通光口径更大、视场角更广,结构紧凑。 S.I3m-  
4. 关键判定条件 2m*g,J?ql  
依托临界角原理,设计斜面倾角大于 o 光临界入射角,实现杂偏振彻底拦截,保障出射偏振纯度。 #hQ#_7  
二、核心设计参数 Rs +),  
·适用波段:190~3500nm,适配 193/266/355nm 紫外激光,低于 190nm 无法使用 qDV t  
·消光比:常规,精密级可达 UGb<&)  
·损伤阈值:355nm 约,耐受中高功率紫外激光 B&M-em=  
·视场角:典型 ±8°~±12°,广角入射兼容性好 38 -vt,|  
·面形精度:常规,精密检测选用 5Y3L  
·拼接工艺 N,4. %|1  
光胶:无胶层,紫外、高功率场景首选,无吸收老化 QMz6syn4u  
胶合:低成本,仅用于 400nm 以上低功率光路 DD?zbN0X  
·通光孔径:常用 Φ6/8/10/15/20mm,选型预留光束 1.2~1.5 倍余量 k$ORVU  
二、同类格兰棱镜对比 MmbS ["A  
:;g7T-_q  
*B3 4  
品类
4%GwCEnS  
透光区间
-Gyj]v5y`c  
消光比
YjR`}rdwo  
损伤阈值
SJJ[y"GvD  
视场角
S=@bb$4-T  
适用特点
,O'#7Dj  
α-BBO 格兰汤普森
#3_t}<fX  
190~3500nm
y!kU0  
JS^QfT,zE  
较高
mWP1mc:M(  
大口径、广角
i[#XYX'\  
偏振起偏检偏、大光斑光路
' O+)[D  
α-BBO 格兰激光
>* )fmfY  
190~3500nm
Gm.sl},  
I;g>r8N-Bu  
更高
#1z/rUh`Cr  
偏小
{@7xOOAw  
超高功率窄光束激光
\+T U{vr  
石英格兰棱镜
7/969h^s  
200~2300nm
tYk!Y/O}  
中等
;]PP +h  
偏低
QE Q/  
中等
unB`n'L  
经济型常规偏振光路
>3qfo2K 0  
MgF₂格兰棱镜
9{cpxJ  
110~7000nm
2e<u/M21>  
{u (( y D  
极高
A?+0Ce&qL  
中等
EZee kxs  
极深紫外超高功率场景
"2=v:\~=  
四、核心光学参数(福州呈欣光电有限公司) >|1$Pv?  
  福州呈欣光电标准型号:GMP60系列 8fSY@  
·波长范围:190–3500 nm(覆盖 532/1064/1310/1550/2000 nm) R8%%EEB  
·消光比:<5×10⁻⁶(典型 10⁻⁶,200,000:1) bP)( 4+t~  
·半视场角:>15° 1$#1  
·e 光透过率 Tp:>95%(镀膜后) ak"W/"2:  
·损伤阈值(脉冲):>500 MW/cm² @1064   nm, 20 ns dI?x&#(vw  
·损伤阈值(CW):>100 W/cm² @1064   nm L:_GpZ_  
·波前畸变:<λ/4 @633 nm(Laser 级) WdZ_^  
·光束偏移:<3 arcmin w\zNn4B})A  
·表面质量:20/10 S-D rT"3^,,  
五、典型应用场景 <5]ufv  
1. 深紫外激光系统 EpU}~vC9C  
紫外打标、刻蚀、倍频光路,作为起偏、检偏核心元件,规整光束偏振态。 %5 ovW<E:  
2. 半导体光学检测 rX}FhBl5  
晶圆缺陷检测、掩模校验、薄膜椭偏测量,高消光比规避杂光干扰。 ^:u-wr8?{  
3. 精密光谱与干涉仪器 $z[@DB[  
偏振光谱分析、激光干涉测量,保证检测信号稳定性与精度。 Q.MbzSgXL  
4. 科研光学实验 ]RxJ^'a63  
非线性光学、偏振调控实验,获取高纯线偏振光源。 ey@{Ng#  
5. 光学成像设备 +:kMYL3  
偏振成像、形貌扫描,过滤无效偏振光,提升画面对比度。 &hcD/*_Z  
六、选型要点 Lyq[gQjr  
1. 工作波长<190nm,替换为 MgF₂材质棱镜 {l9gYA  
2. 大光斑、大角度入射光路,优先选格兰汤普森结构 E"zC6iYZ;  
3. 高功率紫外工况,必须采用光胶贴合工艺 9U4 D$M  
4. 按需匹配波段增透膜,降低反射损耗 :ggXVwpe  
5. 窄光束超高功率场景,改用格兰激光型更适配

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