锥形相位掩模的Talbot图像

摘要

在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。

建模任务

structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)

系统建模块

特定位置的Talbot图案

特定位置的Talbot图案

不同位置的Talbot图案

不同位置的Talbot图案

沿 Z 轴的强度 p"\Z@c
y@Z@ eK3

VirtualLab Fusion技术 dZK/v
E<]O,z;F

文件信息 589hfET
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gangzi0801	2026-05-28 22:14
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