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仙溪谷 2026-05-21 20:10

两膜系整合镀出来偏窄是为什么啊？

我用的长波通做了个膜系，然后短波通做了一个，最后复合在一个里面再去做的优化，为什么这个最后两边镀出来会收缩啊 2j%=o?me^p  
然后之前做的100半波宽，现在我设置的110半波宽，相反这个表现出来半波宽还更窄了，从原来设计的90到87nm @^UgdD,BS,  
Lxp}o7>K  
[attachment=134975]
cheng71244 2026-05-29 16:34
请问有后续了吗？
仙溪谷 2026-06-03 15:05
cheng71244:请问有后续了吗？ (2026-05-29 16:34)  6NX#=A  
r5~ W/eE  
没后续，但是我自己找到原因了，跟膜系设计没关系，跟实际机台有关，换用光控会表现更加稳定
仙溪谷 2026-06-03 15:05
cheng71244:请问有后续了吗？ (2026-05-29 16:34)  R)66qRf  
U/enq,-F^  
还有就是工具因子
quan6658 2026-06-05 18:45
就是镀不了那么准，镀成这样已经很不错了，可以在设计的时候根据这个调整下半高宽度
quan6658 2026-06-05 18:46
有没有试过长波通加短波通然后优化镀在一个面上啊 Sh!c]r>\Q  
仙溪谷 2026-06-08 14:33
quan6658:有没有试过长波通加短波通然后优化镀在一个面上啊 /^xv1F{  
 (2026-06-05 18:46)  4N,[Gs<7  
Hes!uy  
哈哈，就是这样弄的，一个长波通设计好和短波通设计好然后凑成一个膜堆进行简单优化出来
仙溪谷 2026-06-08 14:34
quan6658:就是镀不了那么准，镀成这样已经很不错了，可以在设计的时候根据这个调整下半高宽度 (2026-06-05 18:45)  sd\}M{U  
c<_1o!68  
好的我试试谢谢大佬
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