两膜系整合镀出来偏窄是为什么啊？

我用的长波通做了个膜系，然后短波通做了一个，最后复合在一个里面再去做的优化，为什么这个最后两边镀出来会收缩啊
然后之前做的100半波宽，现在我设置的110半波宽，相反这个表现出来半波宽还更窄了，从原来设计的90到87nm

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cheng71244	2026-05-29 16:34
请问有后续了吗？

仙溪谷	2026-06-03 15:05
cheng71244:请问有后续了吗？ (2026-05-29 16:34) +L\|?~p`V %@ODs6 R0 没后续，但是我自己找到原因了，跟膜系设计没关系，跟实际机台有关，换用光控会表现更加稳定

仙溪谷	2026-06-03 15:05
cheng71244:请问有后续了吗？ (2026-05-29 16:34) Ugt/rf5n UiP"Ixg6 还有就是工具因子

quan6658	2026-06-05 18:45
就是镀不了那么准，镀成这样已经很不错了，可以在设计的时候根据这个调整下半高宽度

quan6658	2026-06-05 18:46
有没有试过长波通加短波通然后优化镀在一个面上啊 #PW9:_BE

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