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2026-05-19 15:00 |
非近轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 B6Wq/fl/ i_jax)m%
}]Gi@Nh|o VDb,$i.Z0 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 Mo?t[]L QTrlQH&p 设计任务 ZmYSi$B b}}1TnS)
D=q;+,Pc \r1kbf7? 光栅级次分析模块设置 T?p`Y| gl `lV 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 t^bdi}[ u]>>B>KOJ7
'o#J>a~!9L J4*:.8Ki 将传输函数转换为结构 Gn2bZ%l a2klOX{ 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 +|}K5q \ 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 JtrDZ;^@
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 3Q!J9t5dc 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 q|]0on~] |)72E[lL
bVAgul=__ =p&'_a^$ 衍射分束器表面 _:fO)gs|1 :+%h
0:B^ 9Qs"X7iH 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) vACsppa># VM V]TPks>
k,*#I<($ *|gs-<[#X 光栅级次和可编程光栅分析仪 ,Q /nS$ "<jEI /
,;=( )- 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 7)(`
~=AKX(Q dD.d?rnZq7 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。 rM
>V=|9, 例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 b]g&rwXYt 设计与评估结果 D8D!1 6_ - 相位功能设计 Jr>S/]" - 结构设计 $qUta<o2@ - TEA评价 h@m n
GE - FMM评估 5q_OuZ/6 - 高度标度(公差) 3!oQmG_T vb"dX0)< 纯相位传输设计 .dKRIFo )D@n?qbG
D"] [&m C"Y]W-Mgg 结构设计 ,I&0#+}n <
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xm10 X-N$+[# 进一步分析 hpz*jyh8 •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 0-~6}
r$ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 aEqI51I •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 !|:q@|-
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PSQ:' >wS:3$Q 使用TEA进行性能评估 =Wy`X0h o(>-:l i0
V&+$Vq yDyeP{ 使用FMM进行性能评估 FqUt uN
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6j"I5,-~! !>2\OSp! 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 \;:@=9` Is6']bYh
AB&wn>q PLD'Q,R 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 2SPFjpG8n U:4Og8
KJ^GUqVl r=H\4%P4 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 [`-O-?= kq.h\[
n25tr'= p,u<gJUL VirtualLab Fusion技术 ;6 qdOD6 7C?mD75j
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