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2026-04-30 15:21 |
光·学堂｜基于 VirtualLab Fusion 的光学检测与精密成像（光学检测、精 密成像、显微镜系统）
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时间地点 JL&ni]m
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） 5fud:k
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） ]\o E}7K%r
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 ;q" ,Bs
课程时长：2 天 U%_6'5s{^
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 r;OE6}L>
课程讲师：讯技光电工程团队 u3_AZ2-;
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) \DRYqLT`
课程简介： Gm'Ch}E
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 z;[Z'_B
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 v9vY#W
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 R86:1
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 -Khb
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 DwH=ln=
观成像的一体化软件开发能力。 d)jX%Z$LC
课程大纲： >`+-Yi$(\
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 px.]m-
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光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 sK`pV8&xq
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VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 6'vt
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VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 A49HYX-l
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 S h RkL<
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基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 B=J/HiwV)
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OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 LjA>H>8%[
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用于光学表面测量的菲索干涉仪 p3(&9 ~ s
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切尔尼-特纳光谱仪的仿真 <y5f[HjLy
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Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 S)d_A
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） >VWH
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⚫ haMt2S2_B:
半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 Uw5`zl
⚫ )0NE_AZ?
晶圆两侧光栅图案的成像 gA gP("
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激光共聚焦扫描显微镜成像分析 $N1UEvC%Q
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大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 $ I-i=:}g
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晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 v
J.sa&\H
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 l+1GA0'JP
⚫ p%6j2;D
显微镜系统的设计 )#l,RJ(
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通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 ]1<O [d
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荧光显微镜的彩色效应分析 <e&*Tx<8
⚫ h^KLqPBt{
高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 enG jom
⚫ #7A_p8
高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF W} U-u{Z
⚫ I5J9,j
显微镜系统中来自光圈的衍射
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5. 光学系统的公差分析 9}2E +
⚫ 4X &\/X
考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 s) vHLf4 T
⚫ 3yfq*\_uXw
镜头粗糙度对 PSF 的影响 ^#4?v^QNh
⚫ LGm>x
衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 DEw_dOJ(
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
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