| infotek |
2026-04-30 15:21 |
光·学堂｜基于 VirtualLab Fusion 的光学检测与精密成像（光学检测、精 密成像、显微镜系统）
|GtTz&
时间地点 T>s~bIzL*e
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） tvynl;Y/
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） 0&2(1
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 o CdWf63D
课程时长：2 天 _eM\ /(v[
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 5 G cdz
课程讲师：讯技光电工程团队 )#z c$D^U
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) ?9nuL}m!a
课程简介： xal+ buOiP
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 vO!p8r
F
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 Ehu^_HZ
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 NL
3ri7n
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 :}}5TJ w G
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 N|5J-fR&
观成像的一体化软件开发能力。 9 o6ig>C
课程大纲： 7{=/rbZT?
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台
fy" q
⚫ -j dS8n4
光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 Yo3my>N&g
⚫ P: vAU8d>
VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 M eo(|U
⚫ oBiJiPE=`
VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 Nw[T P
G5
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 E}Q'Wz|k
⚫ u )PB@
基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 P2pdXNV
⚫ 9`Bmop
OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 9HrT>{@
⚫ G vMhgG=D
用于光学表面测量的菲索干涉仪 r18eu B%
⚫ U8 qb2'a8
切尔尼-特纳光谱仪的仿真 F )_ jW
⚫ ,%7>%*nhk
Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 HZC^Q7]hy
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） G(W/.*
⚫ >J!4x(;Yh
半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 IHHL. gT
⚫ 7{>mm$^|V
晶圆两侧光栅图案的成像 U o?g@D
⚫ QG
{KEj2V
激光共聚焦扫描显微镜成像分析 #&<>|m
⚫ jWk1FQte
大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 wb~B Y
⚫ ){^o"A?-:
晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 /W\@/b,
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 x9Um4!/t
⚫ ; :2]++G
显微镜系统的设计 v&Xsyb0CaM
⚫ T1AD(r\W5
通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 ieuq 9ah#
⚫ ?e( y/
荧光显微镜的彩色效应分析 A hl-EVIr<
⚫ 7u7`z%
高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 |j:"n3~6
⚫ B!{ vSBq
高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF yu3 : Hv}
⚫ DmzK* O{
显微镜系统中来自光圈的衍射 iY@wg 8ry
5. 光学系统的公差分析 $>^DkrOd
⚫ #o`y<1rN
考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 u~b ;m
⚫ pUbf]3 t
镜头粗糙度对 PSF 的影响 96G8B62
⚫ 2kukQj (n
衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 4-j3&(
HK}br!?
有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
|
|