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2026-04-30 15:21 |
光·学堂｜基于 VirtualLab Fusion 的光学检测与精密成像（光学检测、精 密成像、显微镜系统）
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时间地点 >xV<nLf/
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） \1mM5r~
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） mERrcY Y{
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 QHs:=i~VH
课程时长：2 天 Uc_`Eh3y
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 b^,Mw8 KsO
课程讲师：讯技光电工程团队 `)=A !x y
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) 4nII/cPG
课程简介： FW)^O%2s
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 KtU GI.X
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 mE^ tzyh
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 {nPkb5xbW
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 ()C^ta_]
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 $]%<r?MUb-
观成像的一体化软件开发能力。 Me I 2i
课程大纲： X4 } `>
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 1( ?CNW[
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光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 ~w 1{ zxs
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VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 ^3WIl ]
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VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 =nvAOvP{?
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 jTd4 H)
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基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 -B *<Q[_
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OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 GP{$v:RG
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用于光学表面测量的菲索干涉仪 ,5 eH2W
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切尔尼-特纳光谱仪的仿真 YQ 8j
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Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 /<(*/P,>
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） r/CEYEJ &X
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半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 ).0V%}>
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晶圆两侧光栅图案的成像 z:Xj_ `p
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激光共聚焦扫描显微镜成像分析 [2GXAvXsT
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大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 fKL'/?LD]
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晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 8 A2if 9E3
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 gCv"9j<j
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显微镜系统的设计 |7rR99
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通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 E4Y "X
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荧光显微镜的彩色效应分析 yB-.sGu
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高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 h6g=$8E
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高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF e W c_ N
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显微镜系统中来自光圈的衍射 "hW(S
5. 光学系统的公差分析 y
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考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化
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镜头粗糙度对 PSF 的影响 +i+tp8T+7
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衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 (Q'U@{s
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
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