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2026-04-30 15:21 |
光·学堂｜基于 VirtualLab Fusion 的光学检测与精密成像（光学检测、精 密成像、显微镜系统）
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时间地点 i^j1 i
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） Q 6djfEN>
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） 61 |uvT X
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 *0 >![v
课程时长：2 天 pME17 af
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 O@;; GJ
课程讲师：讯技光电工程团队 z3!j>X_ w
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) ~ `'!nzP5H
课程简介： :s8^nEK
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 8S2sNpLi-g
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 0* Ox>O>
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 X 0<qG
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 ] IbX<
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 oRl~x^[%[-
观成像的一体化软件开发能力。 -# 0(Jm '
课程大纲： F?!P7 zW
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 %LBa; M
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光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 3vx5dUgl,
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VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 Rf *we+
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VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 0v N < 0
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 *'5 )CC
⚫ C:S*j u K
基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 NfG<!
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OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 :
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用于光学表面测量的菲索干涉仪 -$W#bqvz^
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切尔尼-特纳光谱仪的仿真 s"u6po.'
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Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 W+HiH`Qb]
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） D K' ? '
⚫ gc~nT/lfK
半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 #2*l"3.$.R
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晶圆两侧光栅图案的成像 9a\H+Y~
⚫ 0,1x-
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激光共聚焦扫描显微镜成像分析 r6
k/QZ T
⚫ _v~c3y).
大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 6T-h("t
⚫ Y"Y%JJ.J
晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 _=,\uIrk
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 _+c' z
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显微镜系统的设计 zK Rt\;PW
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通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 2x PkQOj3
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荧光显微镜的彩色效应分析 s
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高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 tX'`4!{@+
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高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF z L8Z8eh">
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显微镜系统中来自光圈的衍射 O|Sbe%[*wW
5. 光学系统的公差分析 ^?+qNbK
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考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 .>QzM >zO
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镜头粗糙度对 PSF 的影响 qV;E% XkkS
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衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 #@pgB:~lB
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
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