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2026-04-30 15:16 |
基于 VirtualLab Fusion 的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、 蛾眼结构的仿真与加工技术）
时间地点 O _ `VV*
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） B<5 R
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） A)bWcB}U
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） ZP@
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课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 _K]_
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课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 B
Wk/DVue
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) 4 ezEW|S
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课程简介： e7 ^mmm
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 Q-_N2W ?
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 A,JmX
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 E{XH? _xo
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 t h
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 8E W_V$>R
础即可参与学习。 @:+8?qcP
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 uxXBEq;
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， a z Cf
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 ;rF\kX&Jh
课程大纲： x-$&g*<
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 00(on28b
➢ 光之数字模型平台原理介绍
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➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 s2h@~y
2. 衍射光学元件设计与优化 (up~ [
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 A
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➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 fT;s-v[`k
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 um jt]Gu[
➢ 衍射光学元件分束设计优化 2GP=&K/A
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 f86XkECZ;`
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 j]{_s"O
➢ 衍射光学元件加工文件导出 F0GxH?
3. 周期性微纳结构的优化设计 p)`{Sos
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 2<i!{;u$qL
➢ 微透镜阵列仿真 bWH& P/>
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 RiDJ> 6S
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 C^O
VB-
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 sZjQ3*<-r
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 +[M6X}
TQ
4. 超表面微纳结构 o*-)Tq8GHE
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 J=\HO8E6>
➢ 超光栅的构建 #*D)Q/k
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 C_(
*>!Z%
➢ 设计和分析超透镜 E%y Na]\P
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 Q 8T]\6)m
5. 微纳加工工艺方案 T/b6f;t-s
➢ 微纳加工完整流程概述 B;M?,<%FRU
➢ 灰度曝光/直写技术 (jnQ
-
➢ 刻蚀类工艺 X.OD`.!>
➢ 其他辅助工艺 {>}!+k
-`
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 B}n,b#,*
6. 微纳结构的表征 ;ic3).H
➢ 微纳结构面型检测 CnU*Jb
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第一天 Tl%`P_J)-S
第二天 ^ UciW
上午 w^?>e;/\
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 hW%TM3l}
2. 衍射光学元件设计与优化 y0Fb_"}
3. 周期性微纳结构的优化设计 Dl<bnx;0
4.超表面微纳结构 Ghu#X JB?
下午 riUwBiVa?2
2. 衍射光学元件设计与优化 rx'RSo#1O
3. 周期性微纳结构的优化设计 {ME2ImD
5. 微纳加工工艺方案 4-? C>
6. 微纳结构的表征 ?h3Y)5x T
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
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