| infotek |
2026-04-30 15:16 |
基于 VirtualLab Fusion 的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、 蛾眼结构的仿真与加工技术）
时间地点 Fcp8RBq
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） $q p,7RW
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） HLruZyN4
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） xRiWg/Z~
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 &pk&8_=f
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 ;zp Syyp@
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) >cdxe3I\
^{l^Z
+b.
课程简介： 97L|IZ s)
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 15)y]N={^
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 U%qE=u -
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 ?*K{1Ghf
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 6~O9|s^38w
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 4r+s"
|
础即可参与学习。 49Y_ze6L}
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 o
00(\ -eb
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， c
0/vB
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 <5 fb, @YN
课程大纲：
]$=\zL
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 gd=gc<z YP
➢ 光之数字模型平台原理介绍 BJ$\Mb##3@
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 +T,Yf/^Fn
2. 衍射光学元件设计与优化 ))xyaYIZkk
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 NW
AT"
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 Oh]RIWL
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 m R|;}u;d
➢ 衍射光学元件分束设计优化 9cMQ51k)E
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 lq[o2\
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 or)v:4P XW
➢ 衍射光学元件加工文件导出 3;t {V$
3. 周期性微纳结构的优化设计 wx]r {
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 W5c?f,
➢ 微透镜阵列仿真 !STa}wl
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 ("!P_Q#
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 k&M9Hn2
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 KO''B or
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 J 6%CF2
4. 超表面微纳结构 c1>:|D7w
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 *41
2)zEy
➢ 超光栅的构建 ) h>H}wDs
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 =o? Q0
➢ 设计和分析超透镜 /j B 0
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像
+.Cx.Nf(
5. 微纳加工工艺方案 .`;
bQh'!
➢ 微纳加工完整流程概述 : l&g5
➢ 灰度曝光/直写技术 |u5Xi5q.f
➢ 刻蚀类工艺 M>m+VsJV
➢ 其他辅助工艺 Ku3/xcu:My
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 Ak=|wY{
6. 微纳结构的表征 '}pe$=
➢ 微纳结构面型检测 A
KjCm*K(q
T:?01?m
第一天 8-clL \bm
第二天 sQ05wA v
上午 \'[C_+;X
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 G~$[(Fhk
2. 衍射光学元件设计与优化 -q6d&D'B+
3. 周期性微纳结构的优化设计 M
s 5L 7S
4.超表面微纳结构 AhauNS^"{R
下午 FKpyD
2. 衍射光学元件设计与优化 '|~L9t
3. 周期性微纳结构的优化设计 )&$p?kF
5. 微纳加工工艺方案 vf-cx\y7
6. 微纳结构的表征 @+EO3-X5
{DVu* %|
有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
|
|