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2026-04-30 15:16 |
基于 VirtualLab Fusion 的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、 蛾眼结构的仿真与加工技术）
时间地点 YHO;IQ5
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） ~}$\B^z+
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） N
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课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） ! c4)pMd
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 1#> &p%P!
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 N#RD:"RS!
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) \'; t*
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课程简介： )BF \!sTn
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 JNxW6 cK
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 }>{ L#JW
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 <ELziE~>V
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 :cXIO
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 &Rt+LN0qB0
础即可参与学习。 6K4`;
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 x 1m8~F
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， Kf05<J!
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 u Q:ut(
课程大纲： G}=`V YK
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 |'U,/
➢ 光之数字模型平台原理介绍 `d}W;&c
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 VO . -.
2. 衍射光学元件设计与优化 o{{:|%m3Q
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 < -Hs<T|tW
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 hi ;WFyJTu
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 E/wQ+rv
➢ 衍射光学元件分束设计优化 ERp:EZ'
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 q3c*<n g#
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 (MgL"8TS
➢ 衍射光学元件加工文件导出 kF(Ce{;z
3. 周期性微纳结构的优化设计 `"xk,fVYd
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 9nng}em>.
➢ 微透镜阵列仿真 Y H<$ +U
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 _L * f8e8
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 xNC* ]8d
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 _-@ZOhw&
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 C+/E qq^(
4. 超表面微纳结构 9USrgY6_
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 *oEv ,I_
➢ 超光栅的构建 Q?*
n u E
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 u{g]gA8s
➢ 设计和分析超透镜 * T JBPM,
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 5"1!p3`\D{
5. 微纳加工工艺方案 `xISkW4 %
➢ 微纳加工完整流程概述 /\ TQc-k?2
➢ 灰度曝光/直写技术 'is ,^q:@
➢ 刻蚀类工艺 nnfY$&3A
➢ 其他辅助工艺 MS{Hz,I,
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 H,(F1+~d
6. 微纳结构的表征 l*QIoRYFW
➢ 微纳结构面型检测 536^PcJlN
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第一天 G+ :bL S#:
第二天 | d~B]65t
上午 G{ F6
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 6eD(dZ
2. 衍射光学元件设计与优化 PASuf.U$"
3. 周期性微纳结构的优化设计 ?O!]8k`1$
4.超表面微纳结构 ` !zQ
下午 Bp &6x;MJf
2. 衍射光学元件设计与优化 B`LD7]ew
3. 周期性微纳结构的优化设计 vz6SCGg,
5. 微纳加工工艺方案 HvAE,0N
6. 微纳结构的表征 =ZG<BG_
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
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