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2026-04-30 15:16 |
基于 VirtualLab Fusion 的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、 蛾眼结构的仿真与加工技术）
时间地点 {H>Tv ,v|
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） NiEz3ODSi
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） ]N,'3`&::
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） GDs/U1[*
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 7Le- f
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 x[fp7*TiG
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) Xg l
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课程简介： Bp5 %&T k
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 Lp3pJE
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 w#_7,*6 ]
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 QCG-CzJ9 l
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 :#\jx
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 JvEW0-B^l,
础即可参与学习。 N?8nlrDQ
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 3s RI 7g
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， eoFG$X/PO
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 WZjR^ 6
课程大纲： {MN6JGb|'
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 ,<C~DSAyZ
➢ 光之数字模型平台原理介绍 Bio QV47B
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 `9k\~D=D~
2. 衍射光学元件设计与优化 B
qIN U
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 @+_pj.D
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 ny!80I
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 ?v-!`J>EF#
➢ 衍射光学元件分束设计优化 <Fv7JPN%
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 Z"KrirZ
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 -;;m/QM
➢ 衍射光学元件加工文件导出 DZ $O%
3. 周期性微纳结构的优化设计 zo8&(XS
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 mwn$ey&QE
➢ 微透镜阵列仿真
z).&0K
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 \ [M4[Qlq
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 6(7dr?^eGT
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 o.Bbb=*rZ
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 0'Qvis[kt
4. 超表面微纳结构 bSQj= |h1
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 Z#l6BX K
➢ 超光栅的构建 zTl,VIa3p
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 |Bv,*7i&
➢ 设计和分析超透镜 qVO,sKQ{
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 1bDAi2 H
5. 微纳加工工艺方案 5Q:4 9S47
➢ 微纳加工完整流程概述 Kx BvL[/
➢ 灰度曝光/直写技术 +QOK]NJN
➢ 刻蚀类工艺 ~0o>B$xJ
➢ 其他辅助工艺 W6r3v)~
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 (=Oo=8\
6. 微纳结构的表征 fN21[Jv3
➢ 微纳结构面型检测 _PQk<QZ
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第一天 &T ^bv*P
第二天 PBcb*7W
上午 |oePB <N
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 _ /Eg_dQ~@
2. 衍射光学元件设计与优化 %sPq*w.
3. 周期性微纳结构的优化设计 h0A%K L
4.超表面微纳结构 \/nSRAk
下午 Q. '2 v%i
2. 衍射光学元件设计与优化 *y` (^kyS
3. 周期性微纳结构的优化设计 L s3r( Tf
5. 微纳加工工艺方案 yMmUOIxk\
6. 微纳结构的表征 (/ 9 erfuJ
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
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