| infotek |
2026-04-30 15:16 |
基于 VirtualLab Fusion 的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、 蛾眼结构的仿真与加工技术）
时间地点 /@wm?ft6Gk
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） ^1Yx'ua'
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） pM#:OlqC
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） " jeJV,%
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 %djx0sy
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 gcv,]v 8
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) %<
W1y
Kjf#uU.7
课程简介： 'm2,7]
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 cA/2,i
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 ^ g4)aaBZ
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 s#d# *pgzh
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 8"<!8Img
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 Q]|+Y0y}X
础即可参与学习。 y !v $5wi
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 g:2/!tujL
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， x%(!+
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 MiSFT5$v6
课程大纲： 9s7B1Pf
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 Y/$SriC_+'
➢ 光之数字模型平台原理介绍 tX p)o >"
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 o<g (%ncr
2. 衍射光学元件设计与优化 X`aED\#\h
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 w1KQ9H*
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 ,]cd%w9
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 (=P nLP
➢ 衍射光学元件分束设计优化 ;ib~c,
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 ZR#UoYjupb
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 p [/n[@<8=
➢ 衍射光学元件加工文件导出 f
a\cLC
3. 周期性微纳结构的优化设计 yqBu7E$X
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真
k,@1rOf
➢ 微透镜阵列仿真 qkBnEPWZy
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 QWxQD'L'
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 6Edqg
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 1 9=Dd#Nf
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 ~z'0~3
4. 超表面微纳结构 H~$|y9>qI
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 &G"]v]V
➢ 超光栅的构建 9<YB &:<
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 3{_+dE"9
➢ 设计和分析超透镜 t)m4"p7
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 ?_^9e
5. 微纳加工工艺方案 N&GcWcq
➢ 微纳加工完整流程概述 h T
Xc0
➢ 灰度曝光/直写技术 H{ }6`;W
➢ 刻蚀类工艺 WI6er;D
➢ 其他辅助工艺 jG^~{7#
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 Z6 *RIdD>
6. 微纳结构的表征 zCQv:.0L
➢ 微纳结构面型检测 cbteNA!>
s =d?}.E$
第一天 S4(I YnwN
第二天 1";~"p2(
上午 $_ NaxV
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 bc"{ZL!C
2. 衍射光学元件设计与优化 @%TQ/L^|
3. 周期性微纳结构的优化设计 #2MwmIeA
4.超表面微纳结构 dKMuo'H'%
下午 YW 'Y=*
2. 衍射光学元件设计与优化 'v,W
gPe
3. 周期性微纳结构的优化设计 ydFY<Mb(o
5. 微纳加工工艺方案 rvG qUmSUs
6. 微纳结构的表征 ~W#f,mf
dn5v|[ dJ
有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
|
|