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2026-04-30 15:16 |
基于 VirtualLab Fusion 的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、 蛾眼结构的仿真与加工技术）
时间地点 h^_^) P+;
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） T 59FRX
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） pY-!NoES
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） -~aG_Bp!($
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 J~xm[^0
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 Xp| 4 WM
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) kP}l"CN4
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课程简介： ViyG%Sm
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 =$+0p3[r
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 "9d Z
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各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 ;hODzfNkS
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 y`8U0TE3R
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 A(uo%QE|
础即可参与学习。 0 FE_><e
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 6w? GeJ
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， ;F*^c
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呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 lK /4" &
课程大纲： %QrO Es
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 kCEo */,
➢ 光之数字模型平台原理介绍 o/
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➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 aCH;l~+U
2. 衍射光学元件设计与优化 3QKB uo
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 @aN~97
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➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 cAGM|%
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 S&-F(#CF^
➢ 衍射光学元件分束设计优化 w2V:x[
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 nu:l;+,VY
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 O"|d~VQ
➢ 衍射光学元件加工文件导出 Mv/ SU">F
3. 周期性微纳结构的优化设计 h?;03>6A&]
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 ^i8biOSZu
➢ 微透镜阵列仿真 K@DFu5
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 Ac{Tq iIv
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 g18zo~LZ
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 6Ad UlPM
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 OGLA1}k4
4. 超表面微纳结构 82+2 PE{
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 ">_|!B&wb^
➢ 超光栅的构建 ~`Vo0Z*S
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 nv+miyvvm
➢ 设计和分析超透镜 jj ;TS%
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 h+!R)q8M
5. 微纳加工工艺方案 M6 quPj
➢ 微纳加工完整流程概述 Het>G{
➢ 灰度曝光/直写技术 6Y6t.j0vN.
➢ 刻蚀类工艺 gBWr)R
➢ 其他辅助工艺 a%a0/!U[
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 !mWm@ }Ujg
6. 微纳结构的表征 R>~I8k9mM
➢ 微纳结构面型检测 v5e*R8/
6vTnm4
第一天 IO7gq+
第二天 jA2%kX\6//
上午 ge%QbU1J
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 -Vb5d !(
2. 衍射光学元件设计与优化 Isvb;VT9L
3. 周期性微纳结构的优化设计 eJn_gKWb
4.超表面微纳结构 @`nG & U
下午 9 `bLQd
2. 衍射光学元件设计与优化 ?IS[2 v$
3. 周期性微纳结构的优化设计 _-#o[ >2[
5. 微纳加工工艺方案 J4 j:nd
6. 微纳结构的表征 c;(Fz^&_
{ ,6J*v"o
有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
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