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2026-04-30 15:16 |
基于 VirtualLab Fusion 的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、 蛾眼结构的仿真与加工技术）
时间地点 Z>/
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主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） a&kt!%p:
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） tJ7tZ~Ak
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） p")"t`k7
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 _/ 5
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 H7drDw
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) +s7w@
ES(qu] CjI
课程简介： ?hr z@k|
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 hVz]' ,
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 > `yRL[c;
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 {QN 5QGvK
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 %LqT>HXJ
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 2/F8kVx{
础即可参与学习。 Aj/E aIq
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 zII^Ny8D
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， Fo0s<YlS-
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 V<}chLd,
课程大纲： Q 4L7{^[X
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 EKuLt*a/
➢ 光之数字模型平台原理介绍 VV[Fb9W ;
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 8X? EB6=c
2. 衍射光学元件设计与优化 ;eW)&qzK
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 t,A=B(W
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 T' Jl,)"
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 Ofb&W
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➢ 衍射光学元件分束设计优化 8"[{[<-
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 +'w6=qI
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 150x$~{/
➢ 衍射光学元件加工文件导出 !F Zg'
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3. 周期性微纳结构的优化设计 %Yg|QBm|
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 }dU!PZ9N)
➢ 微透镜阵列仿真 7pyaHe
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 y\:Ma 7V
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 L| 'B*
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 #op0|:/N
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 #g2&x sU
4. 超表面微纳结构 O sy _C<O
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 s? Gv/&
➢ 超光栅的构建 o>]z~^c
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 !@arPN$
➢ 设计和分析超透镜 r0pwK RE~t
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 5CfD/}{:#I
5. 微纳加工工艺方案 w)R5@
@C*
➢ 微纳加工完整流程概述 }P\6}cK
➢ 灰度曝光/直写技术 L{XW2 c$h
➢ 刻蚀类工艺 S`TQWWQo;
➢ 其他辅助工艺 rodqa
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 Ml bcJo3
6. 微纳结构的表征 sQ[N 3
➢ 微纳结构面型检测 q(2ZJn13f
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第一天 hdmKD0
第二天 (bB"6
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上午 e;|$nw-
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 *dC&*6Rx
2. 衍射光学元件设计与优化 )tS;g n
3. 周期性微纳结构的优化设计 :FmH=pI!=
4.超表面微纳结构 /*M3Ns1@2
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2. 衍射光学元件设计与优化 | GP&!]
3. 周期性微纳结构的优化设计 rJRg4Rog
5. 微纳加工工艺方案 `9T5Dem|#
6. 微纳结构的表征 /wP2Wnq$
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
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