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2026-04-30 15:16 |
基于 VirtualLab Fusion 的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、 蛾眼结构的仿真与加工技术）
时间地点 1}`LTPW9
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） D? +
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苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） T2Z[AvNXFk
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） n'64;J5
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 (@ea|Fd#4
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 K a r~I
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) 5Fu K \y
+
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课程简介： d0C8*ifFO
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 U= o Z.\
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 x|apQ 6
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 Z[,`"}}hv=
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 .Y/-8H-3v
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 GMFc K=
础即可参与学习。 iA z UaF
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 &9ki O
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， ] EyeBF)$
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 f
L k"tW
课程大纲： TSyzdnMvz
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 V}`M<A6:
➢ 光之数字模型平台原理介绍 wd`R4CKhP]
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 PbUI!Xqe`
2. 衍射光学元件设计与优化 Nz]aaoO4
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 ti;%BS
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 rZ866\0
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 w?a i,Pw
➢ 衍射光学元件分束设计优化 G(i\'#5+
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 [u\CD sX
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 <jL#>L%%
➢ 衍射光学元件加工文件导出 h 2}am:%mC
3. 周期性微纳结构的优化设计 "X ?LAo
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 F> Mr<k=@;
➢ 微透镜阵列仿真 Z)v)\l9d
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 zlX! xqHj
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 WRMz]|+ }4
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 lIy/;hIc
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 &kq7g Cd
4. 超表面微纳结构 7dhn' TW
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 S^g]:Xh&
➢ 超光栅的构建 (j`l5r#X#/
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 'Fzuc^G(d
➢ 设计和分析超透镜 }@4| 7
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 v j@V
!j?
5. 微纳加工工艺方案 >\-3P $
➢ 微纳加工完整流程概述 G +Ei#:W,
➢ 灰度曝光/直写技术 }` @?X "r
➢ 刻蚀类工艺 NQ3|\<Wt
➢ 其他辅助工艺 InX{V|CW?
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 ^k9rDn/AW
6. 微纳结构的表征 G\IocZ3Gz
➢ 微纳结构面型检测 NFM-)Z57
B #H2RTc
第一天 ][ N) 2_^M
第二天 v*gLNB,ZH
上午 a j_:|]j
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 .kzms
2. 衍射光学元件设计与优化 x_pMG!2
3. 周期性微纳结构的优化设计 S&`O\!NF
4.超表面微纳结构 9/Q S0
下午 c; d"XiA
2. 衍射光学元件设计与优化 YmA) @1@U
3. 周期性微纳结构的优化设计 IM|Se4;x
5. 微纳加工工艺方案 ;C6O3 @Q
6. 微纳结构的表征 +" G(
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
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