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倾斜光栅的参数优化及公差分析
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infotek
2026-04-22 09:44
倾斜光栅的参数优化及公差分析
摘要
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对于背光系统、光内连器和近眼显示器等许多应用来说,将光高效地耦合到引导结构中是一个重要的问题。对于这种应用,倾斜光栅以能够高效地耦合单色光而闻名。在本例中,提出了利用严格傅里叶模态方法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅的优化方法。优化后的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了其对光栅的倾角偏差和圆角边缘的影响。
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为了为倾斜光栅找到一组优化的参数,优化文档允许为目标值定义参数约束和权重值。更多信息请参见:
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参数优化文档的介绍
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第一级次的参数优化
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结果——公差分析
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VirtualLab Fusion技术
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文档信息
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