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infotek 2026-04-22 08:45

薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要 h$_5)d~  
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                                                     h%+6 y  
薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 -XMWN$Ah  
                                                             HE.YfD)  
建模任务                                                         =BVBCh  
4u+4LB*  
 AEO7I f@  
M0Vs9K=  
光栅元件   Mx_O'D  
=DLVWz/<  
                                                     h$2lO^  
通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: pGT?=/=*  
• FMM/RCWA Cy2)M(RW  
• Diffractive Lens Component c^ W \0  
                                                             [;,Xp/  
正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       Qm5Sf=E7Q  
QNxY`  
                                                 bd[%=5  
rlP?Uh  
正弦光栅-传输相位形态     L/7YI\C2  
 ;)ji3M  
                                                 qJ%AbdOI8  
||o :A  
正弦光栅-传输相位形态                                                         jQ&82X%m  
{"n=t`E)3  
 D !5 {CQl  
R,f"2 k  
正弦光栅-衍射效率 dH_g:ocA  
-YJ4-]Z  
                                                         Jx3fS2  
(^mpb  
正弦光栅-效率vs. 周期                                                       Rr"D)|Y;C(  
#-9@*FFL,  
   K3-Cuku  
,l7',@6Y  
正弦光栅—选定周期的相位形态   Gf\u%S!%  
                                   P^J#;{R  
' i<}/l  
                                                             s8|F e_  
闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) CA5q(ID_  
ix!4s613w  
                                                       Wj"GS!5  
闪耀光栅-传输相位形态                                                         XO,gEn&6V  
}Sv\$h  
y vo4 .u  
 $Fik]TbQp  
闪耀光栅-衍射效率                                                         <= Aqi91  
I_3{i`g  
 X].Igb)2  
                                                             Yu_` >so  
闪耀光栅-效率vs.周期                                                         q :-1ul  
kJK:1;CM?.  
 _ Y8j l,J  
                                                             xY$@^(Q\  
闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         [$FiXH J  
/Q\|u:oO,  
 JsV-:J  
                                                             4$MV]ldUI  
VirtualLab Fusion技术   #1<Jwt+  
NK$BF(HBi  
       +MvO+\/  
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