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infotek 2026-04-22 08:45

薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要 + J{IRyBc  
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薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 g/_5unI}u  
                                                             2|y"!JqE1  
建模任务                                                         I|!OY`ko  
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光栅元件   j;Gtu  
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通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ~Cttzn]pR  
• FMM/RCWA qo~O|~  
• Diffractive Lens Component r6Dz;uz  
                                                             bs&43Ae  
正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       sdrfsrNvB-  
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正弦光栅-传输相位形态     P;no?  
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正弦光栅-传输相位形态                                                         ]0OR_'?,  
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正弦光栅-衍射效率 Q\vpqE! 9  
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正弦光栅-效率vs. 周期                                                       I][*j  
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正弦光栅—选定周期的相位形态   (,2S XV  
                                  
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闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) #X$\&,Yn"  
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闪耀光栅-传输相位形态                                                         Nx;~@  
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闪耀光栅-衍射效率                                                         Y@iS_lR  
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闪耀光栅-效率vs.周期                                                         kZ:ZtE  
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                                                             ,`Z1m o>n  
闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         I{2hfKUe`  
B6 ;|f'e!  
D_7,m%Z:  
                                                             =qIp2c}Rx  
VirtualLab Fusion技术   z<;HQX,  
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