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infotek 2026-04-22 08:45

薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要 Z z{[Al{  
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薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 fLf#2EA  
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建模任务                                                         ZC>`ca  
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光栅元件   i|:: v l  
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通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: je$R\7B<  
• FMM/RCWA S S7D1  
• Diffractive Lens Component 7cJO)cm0'  
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正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       7l4InR]  
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正弦光栅-传输相位形态     wt3Z?Pb  
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正弦光栅-传输相位形态                                                         tOp:e KN  
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正弦光栅-衍射效率 v{\n^|=])  
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正弦光栅-效率vs. 周期                                                       )U3 H1 5  
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正弦光栅—选定周期的相位形态   } (O D<  
                                  
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闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) <LOx.}fv  
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闪耀光栅-传输相位形态                                                         yScov)dp(  
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闪耀光栅-衍射效率                                                         9^[5!SMzCj  
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闪耀光栅-效率vs.周期                                                         @{$Cv"6769  
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闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         BD-c 0-+m  
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VirtualLab Fusion技术   ^Hhw(@`qf  
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