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infotek 2026-04-22 08:45

薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要 hnBX enT6  
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                                                     jT=fq'RK  
薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 fR>"d<;T  
                                                             z07Xj%zX9  
建模任务                                                         pc2;2^U_  
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H/}W_ h^^  
光栅元件   U(/8dCyyY  
U%)-_ *`z  
                                                     {H3B1*Dk  
通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: kX%vTl7F  
• FMM/RCWA P:%r3F  
• Diffractive Lens Component Y^tUcBm\  
                                                             .<4U2h  
正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       xSrjN  
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                                                 Y1G/1Z# 2  
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正弦光栅-传输相位形态     tUi@'%>=5  
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                                                 d <RJH  
m:6*4_!  
正弦光栅-传输相位形态                                                         |[!7^tU*  
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正弦光栅-衍射效率 _B0C]u3D  
SZvp %hS0  
                                                         tMH 2  
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正弦光栅-效率vs. 周期                                                       W`uq,r0Xsy  
%7[q%S  
   q $PO. #  
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正弦光栅—选定周期的相位形态   c#-*]6x  
                                   t;V^OGflv  
?[;>1+D  
                                                             Nq1YFI>W  
闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) yz"hU  
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                                                       Z7>Nd$E{  
闪耀光栅-传输相位形态                                                         Pkv+^[(4  
YJ|U| [  
5Q\ hd*+g  
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闪耀光栅-衍射效率                                                         Hk'R!X  
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 (8~D ^N6Z  
                                                             =]S,p7*7  
闪耀光栅-效率vs.周期                                                         +8Y|kC{9"  
Ehxu`>@N  
 v 6s]X*l?  
                                                             Tp|>(~;ai  
闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         1 @i/N  
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VirtualLab Fusion技术   qeb}~FL"o  
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