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infotek 2026-04-22 08:45

薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要 W,g0n=2V  
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薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 knPo"GQW  
                                                             uPp9 UW  
建模任务                                                         ~I_v {  
(I) e-1  
s-z*Lq*  
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光栅元件   gLH#UwfJ  
1l~(J:DT  
                                                    
c'678!r9 P  
通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: .ZB/!WiF  
• FMM/RCWA //ZYN2lT4  
• Diffractive Lens Component L'*P;z7<  
                                                             7Lv5@  
正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       3=SN;cn  
X`,]@c%C`  
                                                
N?7vcN+-t)  
p-6(>,+E[  
正弦光栅-传输相位形态     l5 FM>q  
] VN4;R  
                                                
RyxEZ7dC<y  
T\Zq/Z\  
正弦光栅-传输相位形态                                                         t]j4PNzn  
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+Yuy%VT  
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正弦光栅-衍射效率 q*h1=H52  
Gm]]Z_  
                                                        
v7L} I[f  
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正弦光栅-效率vs. 周期                                                       XyS|7#o  
'+ 8.nN  
  
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?^# h|aUp.  
正弦光栅—选定周期的相位形态   !A6l\_  
                                  
\[-z4Fxg|'  
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                                                             Rilr)$  
闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ]/_GHG9  
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闪耀光栅-传输相位形态                                                         f +#  
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OfR\8hAY  
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闪耀光栅-衍射效率                                                         'pUJlPGx  
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)< 6zbG  
                                                             owA0I'|V-A  
闪耀光栅-效率vs.周期                                                         A5lP%&tu(  
+UK".  
0P5!fXs*  
                                                             bi fi02  
闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         +3c!.] o;  
S+i .@N.^  
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                                                              9"@P.8_  
VirtualLab Fusion技术   zEQ<Q\"1  
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