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剑雨剑芒	2026-04-20 15:15
镀膜新人问题第二弹 1.中频反应磁控溅射中Ar气和O2气的配比不同，会影响折射率和消光系数吗？ $A;jl`ng 目前我知道O2气不足会有吸收，是因为镀膜的材料从SIO2变成SIO1.5这样，里面是SIO2与SIO混合体，那如果O2气过量的话，会形成SI2O3与SIO2这样的混合体吗？ ]i(tou-[i

ouyuu	2026-04-21 18:20
Ar和O不是讲配比的，两个功能不一样。 [CL.Xil= Ar是必须的，没有Ar你无法溅射出材料来。 B7zyMh 做氧化物才需要用O，也不存在气体过多，多了就自己被抽走了。 Cc/h\|4 还是你抽真空能力太差了，所以没法充足够的气。

剑雨剑芒

2026-04-22 15:38

ouyuu:Ar和O不是讲配比的，两个功能不一样。 KYE)#<V}@
Ar是必须的，没有Ar你无法溅射出材料来。 rPhx^ QKH2
做氧化物才需要用O，也不存在气体过多，多了就自己被抽走了。 qE B3Y54+
还是你抽真空能力太差了，所以没法充足够的气。 (2026-04-21 18:20) "NEg]LB5

抽真空能力太差，那抽气不就慢了吗？气充的不是更足了？

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