JCMsuite应用:孤立线栅
这是一个一维孤立线光栅的简单案例。设置与周期线光栅的案例相同,但代替周期性排列的线,现在使用单线。因此,二维计算域不再采用水平方向上的周期性边界条件,而是采用水平和垂直方向上的透明边界。 I?).D?o a0vg%Z@! rtl|zCst 光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 ZDmBuf
q 0>uMR{ #
S偏振光照明的近场强度 CS:"F) at  P偏振光照明的近场强度 rek89.p 后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。 3Mvm'T:[ {Jv m * 在实验中,远场通常由成像的光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。 G~oGBq6Gz 6cCC+*V{ PostProcess { T.1*32cX OpticalImaging { {8NnRnzU InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm" IF<?TYy=3B OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm" NJEubC? OpticalSystem { +V"t't7 SpotMagnification = 2.0 -t92! O } v&[Ff|> } S7tc _N4G[jQLJ 输出文件fourier_transform_image.jcm包含经过光学系统后的场的傅里叶变换。可以使用笛卡尔输出后处理来计算相干图像。下图显示了不同z方向切片的图像(图像平面沿z方向放置),用于S偏振照明。 &N{XLg> dtK[H+
线光栅通过光学系统后的相干图像(s偏振入射平面波) k79"xyXX <&n\)R4C1  线光栅通过光学系统后的相干图像(p偏振入射平面波)
|