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infotek 2026-04-14 07:55

JCMsuite应用:孤立线栅

这是一个一维孤立线光栅的简单案例。设置与周期线光栅的案例相同,但代替周期性排列的线,现在使用单线。因此,二维计算域不再采用水平方向上的周期性边界条件,而是采用水平和垂直方向上的透明边界。 <K:?<F  
@8C^[fDL  
(u85$_C  
光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 Taxi79cH  
 A$ %5l  
S偏振光照明的近场强度
m s\:^a  
P偏振光照明的近场强度 iQ*JU2;7 t  
后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。 0TU~Q  
D h]+HF  
在实验中,远场通常由成像的光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。 hZI9*= `,"  
K,tmh1  
PostProcess { ;&e5.K+.Z  
  OpticalImaging { &Th/Qv}[  
  InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm" 6}R^L(^M  
  OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm" //KTEAYyy#  
  OpticalSystem { VA4vAF  
    SpotMagnification = 2.0 ]7zDdI|  
  } KrVF>bq+  
} isHa4 D0  
VY<v?Of i-  
输出文件fourier_transform_image.jcm包含经过光学系统后的场的傅里叶变换。可以使用笛卡尔输出后处理来计算相干图像。下图显示了不同z方向切片的图像(图像平面沿z方向放置),用于S偏振照明。 l3n* b6  
z_!P0`  
线光栅通过光学系统后的相干图像(s偏振入射平面波) 7^Uv1ezDR  
! Qrlb>1z-  
线光栅通过光学系统后的相干图像(p偏振入射平面波)
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