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infotek 2026-04-08 08:00

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 >bLhCgF:"  
                                    
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F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 * ^+]`S  
I2&R+~ktR  
建模任务 >z"\l  
0XSMby?t`  
系统构建块-扫描源                                                
|7$Q'3V  
j*6>{_[  
How to Set Up a Scanning Source CVAX?c{   
                                                                               -$A >b8  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 !*\ J4bJe  
ja-,6*"k  
系统构建块-参数耦合 )` ^/Dj;  
   9OS~;9YR  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion Y 9SaYSX  
                                                                              
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系统构建块-失真分析仪 L!c.1Rf_  
                                                                      
VE $Kdo^  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 H "; !A=0  
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虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               1C5~GI`  
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通用探测器和探测器附加组件                                                    
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N?{.}-Q  
U&'Xs z  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: =e"RE/q2  
x,fX mgE  
Universal Detector O4g2s8k  
                                                                               Jwtt&" c0.  
总结-组件 2)\g IMt%  
n|'}W+  
KX^!t3l6  
系统观感   cl{kCSZo.z  
k++"  
通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 f5`q9w_c  
T!2gOe  
-\[&<o@/D  
性能评估-点位偏差 2~ y<l  
#GfM!<q<  
                              
89YG `  
性能评估-光斑直径测量                                                       jV.9d@EC  
]^6r7nfR6|  
=KW~k7TaN  
nhLw&V3y  
y;VmA#k`  
此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 w?JM;'<AYQ  
7.nNz&UG]5  
VirtualLab Fusion技术 7Ml OBPh  
                                                                
HXP/2&|JY  
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