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infotek 2026-04-08 08:00

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 /(iFcMT  
                                    
DP3PYJ%+B  
F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 (H ->IV  
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建模任务 H[S%J3JI  
T~Gvp0r}h  
系统构建块-扫描源                                                
RLLTw ?]$  
vvKEv/pN7  
How to Set Up a Scanning Source iZM+JqfU|D  
                                                                               %k'!Iq+  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 yF"1#{*y  
QWzB6H]  
系统构建块-参数耦合 TrLu~4  
   @>W(1mRi  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion uf&myV7  
                                                                              
w+1 |9Y  
系统构建块-失真分析仪 @wE5S6! B\  
                                                                      
z@B=:tf  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 z7Q?D^miy  
MLRK74D  
虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               IW@PF7  
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通用探测器和探测器附加组件                                                    
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gx\&_) w N  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: N4L|;?  
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Universal Detector A-T]9f9  
                                                                               "CUty"R 8  
总结-组件 5[* qi?w=  
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系统观感   ni<A3OB  
$!8-? ?ML  
通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 x)rM/Kq  
W!?7D0q  
YRh  B RE  
性能评估-点位偏差 #ZYVc|sT+  
RV5n,J  
                              
6y6<JR-V2k  
性能评估-光斑直径测量                                                       }T%}wdj  
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Y0_),OaY  
HmiJ~C_v`:  
S%yd5<%_  
此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 IFDZfx  
Yx eOI#L  
VirtualLab Fusion技术 $aN&nhoO<  
                                                                
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