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infotek 2026-04-08 08:00

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 aT|SKb`  
                                    
p[oR4 HWr  
F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 {zzc/!|  
K/WnK:LU  
建模任务 = VIU  
VWhq +8z  
系统构建块-扫描源                                                
<"/b 5kc  
j IO2uTM~  
How to Set Up a Scanning Source g Va;!  
                                                                               03N|@Tu  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 1. A@5*Q  
D+4oV6}~  
系统构建块-参数耦合 +"J2k9E  
   Ln-UN$2~F  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion lU?8<X  
                                                                              
Z4ekBdmCL  
系统构建块-失真分析仪 !m]_tB  
                                                                      
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实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 F:$*0!  
ZG(.Q:1  
虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               #*;G8yV  
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通用探测器和探测器附加组件                                                    
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B1^9mV'O  
RnV#[bM{  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: r+%$0eB1^  
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Universal Detector ]v2%hX  
                                                                               \]Bwib%h  
总结-组件 shk yN  
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系统观感   _ASyGmO{  
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通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 6Pp3*O`/V  
$y$E1A6h+  
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性能评估-点位偏差 >mAi/TZC  
E$"`|Df  
                              
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性能评估-光斑直径测量                                                       5M v<8P~  
Cfr2 ~w  
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QnJd}(yN  
f]4j7K!e]  
此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。  u> @@  
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VirtualLab Fusion技术 SX)o0v+  
                                                                
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