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infotek 2026-04-08 08:00

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 jKQP0 t-  
                                    
BzUx@,  
F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 &]c9}Ic  
xO@OkCue  
建模任务 q.X-2jjpx:  
Yr,1##u  
系统构建块-扫描源                                                
RGKJO_*J2  
 MU^Z*r  
How to Set Up a Scanning Source liB>~DVC  
                                                                               Y{'G2)e  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 K=>/(s Wiq  
\ a<Ye T  
系统构建块-参数耦合 Y+7v~/K=  
   5~? J  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion - |'wDf?H  
                                                                              
vNt2s)J$  
系统构建块-失真分析仪 ZtT`_G&  
                                                                      
K&h|r`W(  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 O#|E7;  
& Gt9a-ne  
虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               m ;vNA  
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通用探测器和探测器附加组件                                                    
5-QXvw(TH  
] 7O?c=  
'mM5l*{  
q.t5L=l^ r  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: ~}116K  
M>#{~zr  
Universal Detector h^)2:0#{I  
                                                                               :U> oW97l  
总结-组件 5%$#3LT|  
^eRuj)$5A  
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系统观感   ;D7jE+  
Sm,$~~iq}  
通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 ]=3O,\  
A.FI] K@  
Z-?9F`}  
性能评估-点位偏差 G!IQ<FuY  
)Fw)&5B!  
                              
G Xl?Zg  
性能评估-光斑直径测量                                                       XTJ>y@  
'9gI=/29D  
~83P09\T%  
(r4\dp&  
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此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 %ab79RS]C  
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VirtualLab Fusion技术 ihVQ,Cth  
                                                                
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