用于光学检测的斐索干涉仪

Vn@A]Jx^   摘要 <\+Po<)3j      H&w(]PDh   斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备，通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下，我们建立了一个Fizeau干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，例如圆柱形和球形表面。结果表明，表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。 3Gj(z:)b   z9I1RXV   t; h+Cf4   ]aREQ?ma&z   建模任务 zwKg   )hePN4edj   /DK*yS   ?Ozk^#H[   测试表面 P0a>+^:%   =7*oC   oZ?IR#^   [O.LUR;   非序列追迹 6'S5sRA   I|GV :D   pHq{S;R2G   @\#'oIc|   通用探测器和探测器附加组件  s$K@X `   UDhwnGTq(l   u?F7L8q]   Dh*~U:6$g   总结-组件… Wh#os,U$   kxcgOjrmI   ---Ks0\V   1"mnzbf8*   jB}_Slh1j   观测下的倾斜平面 \r:m({G   de3yP,   3(oZZz   ZE5-i@1   被观测圆柱面 CUAg{]   K8e4ax   -MVNXAKnZ   \c5#\1<   被观测球面 )Mm;9 UA   S jC)6mo

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