用于光学检测的斐索干涉仪

~#~Kxh   摘要 )Nq$~aAm      FCmS3KIa,   斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备，通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下，我们建立了一个Fizeau干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，例如圆柱形和球形表面。结果表明，表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。 0?j+d8*   UIv 2wA2   ',* 6vbII   7"y"%+*/   建模任务 Wc_Ph40C<_   Lp/]iZ@   akQtre`5sd   ^Q_0Zq^H   测试表面 IV:Knh+ ?   T3{qn$t8   [H)p#x   18!0Hl>   非序列追迹 Wcn^IQ   SR S~s   Z;i^h,j?$1   G";yqG   通用探测器和探测器附加组件 U=%S6uL\bx   413r3/   n/UyMO3=   4 ITSDx   总结-组件… #tBbvs+%   NzRL(A6V   p2 y h   >UuLSF}   W#0pFofXw   观测下的倾斜平面 /^0Hi4+\   {{=7mbc   !=0N38wA   Y6fU;   被观测圆柱面 G0//P .#   3!CI=(^IY   Q_1EAxt   }`   被观测球面 ]]%CO$`T[   |)IN20

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