用于光学检测的斐索干涉仪

sMm/4AY]   摘要 t:=k)B      d=y0yq{L   斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备，通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下，我们建立了一个Fizeau干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，例如圆柱形和球形表面。结果表明，表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。 $/paEn"   #k9<   z, x"a    ,1 P[   建模任务 <s}|ZnGE   x'qWM/   .=XD)>$   (a }J$:   测试表面 |1l&@#j!2   ` 8UWE {   j#VIHCzlr   E:w:4[neh   非序列追迹 9U^$.Lb   DjwQ`MA   c 0-w6   7~b!4x|Z   通用探测器和探测器附加组件 "OL~ul5   x2k*|=$   ^i'y6J   d0 -~|`5   总结-组件… O R #7"   6>,# 6{?jl   6^E`Sa!s   nU/;2=f<   OJ/SYZ.r   观测下的倾斜平面 *Hs*,}M S   7tgFDLA   JMlV@t7y<   *vnXlV4L   被观测圆柱面 yN\e{;z`   U-EhPAB@   ia4k:\   O k7zpq   被观测球面 QU/3X 1W   eOnTW4

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