用于光学检测的斐索干涉仪

y x#ub-A8   摘要 l.  l)w      e 6>j gy   斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备，通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下，我们建立了一个Fizeau干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，例如圆柱形和球形表面。结果表明，表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。 bXXX-Xc   'X6Y!VDd   }opMf6`w   /Lm~GmPt   建模任务 2P@6Qe ?   CAom4Sp'   0_+ & [g}   %VR{< {3f   测试表面 *HGhm04F{   B|$o.$5   [E6ceX0   o.Y6(o   非序列追迹 qR?}i,_   lVd-{m )   d&Nji%Ej   IqsUtWSp   通用探测器和探测器附加组件 !dh:jPpKq   |r)QkxdU,   pBv,,d`   Yh@2m9   总结-组件… T:2f*!r   jAy2C&aP   "XLtrAu{   QUvSeNSp   PN<VqtW   观测下的倾斜平面 y^n T G   ~!g2+^G7+P   f5un7,m   xaoR\H   被观测圆柱面 .\ya   L+ XAbL)   xVX:kDX    (#O"   被观测球面 Kr1Y3[iNv   -{9mctt/gE

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