用于光学检测的斐索干涉仪

;X<Ez5v3   摘要 PY7H0\S)      KF+r25uy[+   斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备，通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下，我们建立了一个Fizeau干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，例如圆柱形和球形表面。结果表明，表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。 @,.D]43   mA$y$73=T   |;~=^a3?q   W.[!Q`   建模任务 \;~Nj#   Pz0Ma fF|T   ;L P3   d%0Gsga}   测试表面 vO2WZ7E!   <`pNdy4   !xck ~EAS   U$gR}8\e   非序列追迹 b-VtQ%Q   zTB&Wlt   (+(@P*c1   |D-[M_T5   通用探测器和探测器附加组件 )S+fc=   ph5{i2U0   ]$L5}pE3   7BU7sQjs   总结-组件… tE=09J%z   q }L`8(a   37kFbR@x   Wx]Xa]-   g?"QahHG   观测下的倾斜平面 2mzn{S)nV   SZe55mK`   vc"!3x-G*   kqih`E9P7B   被观测圆柱面 *t| !xO   $T3_~7N   wO%lM   .kU^)H"l   被观测球面 C`_/aR6   yR|2><A

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