用于光学检测的斐索干涉仪

SGu`vN]   摘要 /7x1Z*Hg      a\&g;n8jA   斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备，通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下，我们建立了一个Fizeau干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，例如圆柱形和球形表面。结果表明，表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。 )r?-_qj=   ?in)kL   Kl<NAv%j   }ld^zyL   建模任务 6Ad=#MM   t9)S^: 0    HlEHk'   ;vy<!@Y;8   测试表面 :*s@L2D6   @2;cv?i)   H4$f+   ja6V*CWb   非序列追迹 45&Rl,2   / }*}r   sKk+^.K}|   ^PUB~P/   通用探测器和探测器附加组件 BN~ndWRK   4W}mPeEeV   @9R78Zra   $hMD6<e   总结-组件… 1 J}ML}h)   zO@>)@~   AH_qZTv0{Q   i.\ e/9]f   zrf tF2U   观测下的倾斜平面 G#M0 C>n   BWNI|pq)v   3W{!\   `jVRabZ0   被观测圆柱面 2[qoqd(   a$Hq<~46   4-I7"pW5   =T\=,B   被观测球面 _EJPI   M8/:PmR<

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