用于光学检测的斐索干涉仪

's>./Pf   摘要 qQ/<\6Sl      LPRvzlY=   斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备，通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下，我们建立了一个Fizeau干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，例如圆柱形和球形表面。结果表明，表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。 VS\+"TPuH   *$Tz g!/   "/~KB~bB   t91z<Y|   建模任务 tDQo1,(oY   zir?13N7   h)o5j-M>4   7W7yjG3g   测试表面 _C&XwCIm   6z3`*B   &~MM\,KML   G1?m}{D)   非序列追迹 -n#fj;.2_   }P(<]UF   5@/hqOiu   tsys</E&   通用探测器和探测器附加组件 v9K=\ j   yM`QVO!;   ig}H7U2q@   rIRkXO)   总结-组件… xC^|S0B   &3~_9+   MWHzrqCA   _uQxrB"9   \1[v-hv K   观测下的倾斜平面 Nxr%xTD   *{1]b_<   !IAd.<,   gg+!e#-X   被观测圆柱面 r(i!".Z   ZD`p$:pT   &$<7]a\dM   UkzLUok]U   被观测球面 Bm:N@wg   #Ab,h#f*7

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