用于光学检测的斐索干涉仪

vTsMq>%,<   摘要 >1  %|T      2|\WaH9P   斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备，通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下，我们建立了一个Fizeau干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，例如圆柱形和球形表面。结果表明，表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。 <i~=-Z(   31&;3?3>   h$l`)AH^   4Is Wp!`W   建模任务 f<y-{.VnN$   T6nc/|Ot   AwtiV-w   ;Z.sK-NJ4   测试表面 e4LJ3y&z"   3<O=,F   }uiD8b{I   J b?x-%Za   非序列追迹 }fZ~HqS2w   Aaug0X   zK>}x=   .2V?G]u   通用探测器和探测器附加组件 'OI(MuSn   oS^g "hQ`\   h{T{3   BG_6$9y   总结-组件… dR!x)oO=   kgP6'`}E[   vD76IG jm   nhy:5eSK   uaqV)H   观测下的倾斜平面 ${{[g16X   2$b JMx>   dlH&8   z:oi@q   被观测圆柱面 8Om4G]*|,   ($Q|9>5,   y7vA[us   #xh M&X   被观测球面 nT9Hw~f<j   S;j"@'gz9

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