用于光学检测的斐索干涉仪

V*?c MJ_G   摘要 8V:;HY#      uxfh?gsL   斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备，通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下，我们建立了一个Fizeau干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，例如圆柱形和球形表面。结果表明，表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。 o~LJ+m6-)   -xtT,^<B   !l[;,l   [ws _ g,/   建模任务 im>(^{{r&   KIF9[/P   7H Har'=T   Sdq}?-&Sa   测试表面 *Soi   ('&lAn   gVG^R02#<k   o#qdgZ   非序列追迹 "| '~y}v_   "| nXR8t.r   kvbZx{s   nb_/1{F   通用探测器和探测器附加组件 qk& F>6<9*   v-8>@s jy8   _pdKcE\X   @ m`C%7<   总结-组件… L.;b(bFe   A?YYR%o%'   t&U9Z $LS   i%i~qTN   ^|/mn!7wD   观测下的倾斜平面 wv\X    Ca |}i+   SdH=1zBc   DGFSD Py[   被观测圆柱面 j7!u;K^c   ZKi&f,:   4%0s p   1<!P:@(   被观测球面 i c{I   $0Y`>3

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