用于光学检测的斐索干涉仪

kxhsDD$@p   摘要 jUm-!SK}q      QH-CZ6M   斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备，通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下，我们建立了一个Fizeau干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，例如圆柱形和球形表面。结果表明，表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。 ;}+M2Ec51   ceG\Q2   NwF"Zh5eMW   U"7o;q   建模任务 |Ml~Pmpp   =c@hE'{   ;3/}"yG<p   ;JkIZ8!   测试表面 n0=]C%wr   ~5HT_B U=   s^zlBvr|.   B!Wp=9)G   非序列追迹 tKt}]KHV   :i!fPNn   `&A`&-nc=   $jMA(e`Ye0   通用探测器和探测器附加组件 ]ltCJq   :Vxt2@p{   hA ){>B<;   )3CM9P'0   总结-组件… t5E$u(&+'B   &^$@LH3   gg`{kN^r.a   rpiuFst   oSrA4g   观测下的倾斜平面 0G8@UJv6   'f{13-#X@   X}Q4;='C-   8~(,qU8-N   被观测圆柱面 =u2~=t=LV   ~+'f[!^   0cG[<\qT   2-'_Nwkl*   被观测球面 ~a_hOKU5   m^oG9&";

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