新人镀膜问题求教

楼主是去年8月份接触光学镀膜行业的，从刚开始什么也不懂，到现在对镀膜设备和工艺有了一定的初步认识，年前在这里注册了账号，潜水看以往的帖子进行学习。
现在工作中遇到几个问题，想问下求助大家（使用磁控溅射，镀膜材料是NB2O5和SIO2）
1.我们生产AR有两种膜系，一个总膜厚在240nm左右，另一个总膜厚在260nm左右。都是7层。我们修组系数后产品打样测得离散数据和240nm
的膜系就是曲线趋势对的上的，而260nm膜系的产品打样就对不上，这是因为修组系数时镀的单层膜厚有关吗？
2.设备镀膜的氩气和氧气的最佳配比该如何找？
3.我们真空计是成都睿宝的，电离规的玻璃规管在网上买到后货不对板，不是成都睿宝的，这个能用吗？

ouyuu	2026-04-01 19:18
对不上有可能是薄层（敏感层）的问题。 "q'9-lk 薄层的折射率是个大问题，特别是你用离子源的情况下。 0'{`"QD\IW 2是工艺和经验问题，这个自己试吧。 1zz.`.R2U 3不知道 g;M\4o

剑雨剑芒	2026-04-01 19:37
ouyuu:对不上有可能是薄层（敏感层）的问题。 lB\"*K; 薄层的折射率是个大问题，特别是你用离子源的情况下。 n},~2 2是工艺和经验问题，这个自己试吧。 q5$z:'zE 3不知道 by {G{M`X (2026-04-01 19:18) X-Sso9/q. 4LU'E%vlC 好的，感谢指导。

ouyuu

2026-04-03 19:16

剑雨剑芒:好的，感谢指导。 (2026-04-01 19:37) ^zGgvFf>

刚刚发现你用的是磁控溅射。
Ar不是反应气体，Ar是用来轰击靶材，让靶材的材料溅射出来。
O2是反应气体，是让靶材的材料发生氧化反应，变成氧化物。
这个没有什么最佳配比，如果有问题，应该是你抽真空系统需要保养了。（抽速慢了）

磁控溅射照理来讲膜厚还是比较好控制的，有问题不一定是膜厚控制的问题。
你们不同膜层的氧气氩气变化大吗？会不会是真空度变化或者是气流波动造成的？

剑雨剑芒

2026-04-06 09:26

ouyuu:刚刚发现你用的是磁控溅射。 5]; 8
Ar不是反应气体，Ar是用来轰击靶材，让靶材的材料溅射出来。 6kT l(+
O2是反应气体，是让靶材的材料发生氧化反应，变成氧化物。 *^c4q|G.-
这个没有什么最佳配比，如果有问题，应该是你抽真空系统需要保养了。（抽速慢了） j1YE_U
....... (2026-04-03 19:16) q) /;|h

是的，镀硅和铌的气体比例是不一样的，刚开始生产时镀膜的气体比例在流量计上设置为
硅 Ar 190 O2 110 铌 Ar 200 O2 80
但是我们这样配比镀出来的产品时不时有吸收，玻璃盖板摞在一起颜色发黑，550单波段测试透过率在93%或92%。然后更改为现在的
硅 Ar 190 O2 120 铌 Ar 200 O2 100
现在做起来没有吸收了，但是感觉速度变慢了些。
最近了解到Ar充气多少影响分子的平均自由程从而影响镀膜速率，所以就想深入问下这方面的调试经验。

ouyuu	2026-04-07 23:08
应该说是充气多了，真空度差了，溅射出来材料的量就少了。 r'&9'rir2 这个只能是做真空保养。或者你们调整一下氧气充气的出气口位置看看。 UXQ{J5Ox+ 也许是因为出气口位置不好造成的充气不足（氧不够造成的吸收）。

ouyuu	2026-04-07 23:12
记录一下各材料镀膜时候的真空度，和之前的记录比较一下。看看是不是差异很大。 6{lWUr 如果以前的镀膜记录还保留的话，看看以前的充气量和真空度，和现在的比较一下。

剑雨剑芒	2026-04-20 15:17
ouyuu:记录一下各材料镀膜时候的真空度，和之前的记录比较一下。看看是不是差异很大。 &2xYG{Z 如果以前的镀膜记录还保留的话，看看以前的充气量和真空度，和现在的比较一下。 (2026-04-07 23:12) pHg8(ru\| VpVw:Rh> 我们设备镀膜时真空度大概在0.3到0.5pa左右。

ouyuu	2026-04-21 18:16
剑雨剑芒:我们设备镀膜时真空度大概在0.3到0.5pa左右。 (2026-04-20 15:17) 7J;.T%4l hy]AH)?pR 真空度太差了，一般镀膜应该-2左右，蒸镀要控制在1.5E-2Pa以下。真空度差的话射频容易打火

剑雨剑芒	2026-04-22 15:45
ouyuu:真空度太差了，一般镀膜应该-2左右，蒸镀要控制在1.5E-2Pa以下。真空度差的话射频容易打火 (2026-04-21 18:16) W!(Q_B xV6j6k 我们设备设定的镀膜真空是0.008pa，到达该真空通Ar和O2后，真空就到了0.3-0.5pa。

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