微透镜阵列CMOS传感器分析

~`tJvUo0   摘要 Q-H=wJ4R   gs^UR6 D,   9RbGa Y&   >'BU*   近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 bdNY7|j`   ]l9,t5Y   建模任务 PprQq_j   1o"y%*"   LRfFn^FPM   0KNH=;d}   模拟&设置：单平台互操作性 W0p#Y h:{_   建模技术的单平台互操作性 ?];~N5<'   在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 {H~8'K-   :BC<+T=   61t-   * wQZ'    平面波光源 Vj9`[1}1Z    微透镜阵列 'T#<OR    彩色滤光片(吸收介质) ;mM\, {Z    通过基底传播 )%nt61P\W    探测 C {H'   #I*ht0++   连接建模技术：微透镜 3XYIbXnk   x1 R!   2={K-s20   oPCIlH   PgGrk5;   连接建模技术：彩色滤光片 HY%6eUhj   Bm2}\KOI   "' i [~   Z_hBd['!   连接建模技术：可编程介质 fmT3Afl5c   ]#WX|0''^   FSXKH{Z   s$3eJ|   连接建模技术：自由空间传播 `G:qtHn"Q<   gE]a*TOZk   LRLhS<9   7\|NYT4   连接建模技术：堆栈 y:(C=*^<t   在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 1v8:,!C   S+bWD7   p-i]l.mT5   P^d.,    微透镜阵列 d}6AHS[    彩色滤光片(吸收介质) QKuc21    通过基底传播 C[/ Uy    探测 mc[_ >[m   ^FpiQF   元件内场分析器：FMM 'yAoZ P\|   D9pxe qf+=   ]jT[dX|?   \T#(rt\j   模拟结果 c)P%O   +~v3D^L15   像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) .ubbNp_LU   My43\p   2%No>w}/2   JKu6+V jO   像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) UY?]\4Om   7n3x19T   qI/r_   '| Q*~Lh   像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) (? #U&   '/]Aaf@U8   ThiPT|5u   m{=~|I   3D仿真与结果比较 ;@; ie8H   RBp(dKxM$w   o dQ&0d   sN \}Q#:8   3D仿真与结果比较 sp]y!zb"5   ]NhWhJ:

\crb&EgID

)T~ +>+t