微透镜阵列CMOS传感器分析

nJ6bC^*)U   摘要 Pp}j=$&j\   k:c)|2   GI/g@RV   +VTMa9d   近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 d`Wd"LJ=   x1TB (^aX   建模任务 S3 &L   E*CY/F I_   :HwB+Bjy   2r1.,1   模拟&设置：单平台互操作性 W#ev   建模技术的单平台互操作性 7^ER?@:W   在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 &'R\yX<J)   dfk=%lZYd9   dC)@v]#h   _PJd1P.k    平面波光源 Zj$U_    微透镜阵列 8)T.[AP    彩色滤光片(吸收介质) M[SWMVN{    通过基底传播 h_H$+!Nzb    探测 `|Ih"EZ   ]81P<Y(7   连接建模技术：微透镜 6VIi nuOW   40mgB4I   @'dtlY5;   6tj +   , \ov$ biL   连接建模技术：彩色滤光片 *_@8v?   ]x?`&f8i   U@DIO/C,m`   G9d@vu   连接建模技术：可编程介质 A=Dzd/CUO   @=:( b"Sg   wU+-;C5e   u0\?aeg`   连接建模技术：自由空间传播 r6JdF!\d   %i$]S`A}   e0qU2   # sm>;+J   连接建模技术：堆栈 S}mqK|!   在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 K8f;AK   xV}-[W5sr'   $SA8$!:   SBZqO'}7    微透镜阵列 Y2HF    彩色滤光片(吸收介质) w7s+6,    通过基底传播 !-)Hog5\    探测 *+rO3% ;t   a;8q7nC   元件内场分析器：FMM DavpjwSn   M|6l   ,p {|f}0   ncjtv"2R   模拟结果 4At{(fwW   %dw@;IZ#8{   像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟)  ]Vuq )#   wak_^8x   <#k(g\/R   unY+/p $   像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) oF7o"NHaWa   Db3#;   B}Qpqa=_c   76Ho\}-U">   像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) ^`?2g[AA   86y)+h`   [Wf%iwB   ER-X1fD   3D仿真与结果比较 @|BaZq,g   g]%sX6T   $q%r}Cdg   VB=$D|Ll   3D仿真与结果比较 FX}kH]   LpN_s#

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