微透镜阵列CMOS传感器分析

BULX*eOt   摘要 zO2Z\E'%.   &?/h#oF@\   Q,Hw@w<1   J(h=@cw   近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 f5Zx:g   RT8xU;    建模任务 kh 17   N|T%cdh:/   oKiBnj5J   2IqsBK`   模拟&设置：单平台互操作性 'i{kuTv   建模技术的单平台互操作性 m ,)4k&d   在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 s<xD$K~rM   Ej ip%m   G#8HY VF   "N"9PTX    平面波光源 .#6Dad=S*    微透镜阵列 P6zy<w    彩色滤光片(吸收介质) Y tc    通过基底传播 P8Fq %k    探测 t*<.^+Vd   MSoLx' <   连接建模技术：微透镜 t%n1TY,   s$:F^sxb   ioIUIp+B~u   *]p]mzc   T c4N\Cy   连接建模技术：彩色滤光片 d90B15]gv   YL=?Nk/   jnYFA[Ab   &p^S6h   连接建模技术：可编程介质 LXG,IG   _+S`[:;a   kV(}45i]s   0"kNn5   连接建模技术：自由空间传播 +g<2t,   z"u4t.KpL   &eG,CIT   mrX3/e   连接建模技术：堆栈 GNA:|x   在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 d Ayof=   07DpvhDQ   wLPL9   7KnZ    微透镜阵列 "~9 !o"    彩色滤光片(吸收介质) ((\s4-    通过基底传播 =2BGS\$#    探测 D:e9609   0 ML=]   元件内场分析器：FMM YBN@{P$   u{,e8. Z   0PI C|   EkgS*q_   模拟结果 DKAqQ?fS   v9(->X'   像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) mEmz nA   P}KN*Hn.   rJ4O_a5/   '^'vafs-/@   像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) IExo#\0'6   $*V:; -H   ZMy0iQ@   2i;G3"\   像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) X#j-Ld{j   rP>iPDf   n$g g$<   B?'`\q)UL   3D仿真与结果比较 K4YpE}]u   2--"@@   ya0L8`q   O6NgI2[O   3D仿真与结果比较 "~0m_brf   Q<3=s6@T

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