微透镜阵列CMOS传感器分析

hHw1<! M   摘要 {3vm]   (ce)A,;   lKI]q<2   -=rGN"(M _   近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 @AG=Eq9<o   J=^5GfM)J   建模任务 3s:)CXO   .*EP$pc   2s 9U&   cP/(h   模拟&设置：单平台互操作性 g+.E=Ef8<4   建模技术的单平台互操作性 (o6u^#6   在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 z5:3.+M5   u_WW uo   Qw%0<~<   bg4VHT7?>)    平面波光源 @J@bD+Q+0    微透镜阵列 IfRrl/!nw    彩色滤光片(吸收介质) mn<ea&    通过基底传播 EjVB\6,    探测 9D%~~~ %b   ; zy;M5l5.   连接建模技术：微透镜 #@5 jOi   a~tBgy+9   ~}~ yR*K%   f'Xz4;   lgAE`Os   连接建模技术：彩色滤光片 NX+ eig</-   d<;XQ.Wo7   [qt^gy)   KRcg   连接建模技术：可编程介质 J_|>rfW   qn\>(&   IZ4jFgpR   / dn]`Ge)   连接建模技术：自由空间传播 wIbc8ze   ~u-`L+G"6   |om3*]7   \=~<I   连接建模技术：堆栈 CV7.hF<   在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 X_|} b[b   WUi7~Ei}   F{<rIR   ~RE`@/wQ]    微透镜阵列 sAc)X!}    彩色滤光片(吸收介质) Nb{oH+$b    通过基底传播 54LCoG/    探测 }`^<ZNkb/   N=L urXv   元件内场分析器：FMM *XzUqK   <~8W>Y\m   K<_H`k*x   @49^WY   模拟结果 WCWBvw4&"{   &q` =xF   像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) /ci.IT$Q^   Ap>n4~   pV-.r-P   ;j_#,Da9<   像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) EGM cU|yL   @o^sp|k !   j+ys&pDczm   %r,2ZLZ   像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) bFx?HM.AGW   >zhbipA   da^9Fb   {S&&X&A`v   3D仿真与结果比较 I5"=b}V5   >) :d38M   ?x/L"h&Kp   |)_<JAN   3D仿真与结果比较 #5I "M WA   ,^,J[F

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