微透镜阵列CMOS传感器分析

ia7<AwV   摘要 #MKM.T,\t   ;-6-DEL   u<Y#J,p`e   hTa(^   近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 R*:>h8   f. "\~   建模任务 B2e"   T5 (|{-   4qE95THB   } vmRm*8z   模拟&设置：单平台互操作性 )rq |t9kix   建模技术的单平台互操作性 C,An\lsT   在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 PD)"od   ^Jp,&   #,%7tXOLR   L.Qz29\    平面波光源 X/yq<_ g    微透镜阵列 G q^vto    彩色滤光片(吸收介质) fes s6=k    通过基底传播 X*QS/\    探测 ]3rVULU"K-   G18w3BFx   连接建模技术：微透镜 O2?C *   Ttt'X<9   D7;9D*o\   m[^lu1\wn   y3zP`^   连接建模技术：彩色滤光片 xWxc1tT`   Mf1(4F   TaN{xpo   z3Q&O$5\   连接建模技术：可编程介质 wT4@X[5$   bC/":+s& p   @1MnJP   7;s#QqG`I   连接建模技术：自由空间传播 `gX@b^   !y= R)k   iRzFA!wH   |_V(^b}   连接建模技术：堆栈 T3X'73M   在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 j*jUcD*   ?, S/>SP   !sb r!Qt   cCe~OlXQ    微透镜阵列 9;E=w+    彩色滤光片(吸收介质) "8xAe0-4    通过基底传播 Y@UkP+{f=    探测 zx3gz7>k;   Bqq=2lj   元件内场分析器：FMM #c^V%   Y;"k5+ q   MUO<o   F5h/>   模拟结果 2cR[~\_9.   KK){/I=z   像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) /Mqhx_)>A   K^Awf6%   3Q=^&o0fl   Zxa.x?:?n   像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 2 !s&|lI   CXa[%{[n   M/zO|-j&   E}@C4pS   像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 6':iW~iI   a.Ho>(V/4   3k Ci5C   d*gAL<M7E   3D仿真与结果比较 1Kg0y71"   !"rPS GK*   #z\ub5um   o NtFYY   3D仿真与结果比较 _BczR:D*   s]arNaaA

kv+%

]Bhy=1