微透镜阵列CMOS传感器分析

`N}d}O8    摘要 4J5pXlzV   |f\D>Y%)   Mu{BUtkzG   iCP~ O   近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 Ow@v"L;jF!   F)SPaC4   建模任务 yzR=A%V8A   (Sv>NQp   =xL)$DTg)   px=]bALU   模拟&设置：单平台互操作性 "UG K8x   建模技术的单平台互操作性 bAEg$A   在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 )6-9)pH@)   ^2S# Uk   KxIyc7.   vN65T$g7    平面波光源 w2 dcH4&    微透镜阵列 A_R!uRD8-    彩色滤光片(吸收介质) zXZir7NfM    通过基底传播 &^!h}D%T/    探测 ;hHi@Z9   'c %S!$P   连接建模技术：微透镜 XN;&qR^j   wvN `R   BI/&dKM   X j@+{uvQB   X(Qu{HhI   连接建模技术：彩色滤光片 eg<pa'Hw   pK}=*y~$   D#Kuo$   O=}g4c   连接建模技术：可编程介质 jVWK0Zba   "35A/V   T%IK/"N|+   2eb1lJdS   连接建模技术：自由空间传播 taWqSq!   gb" 4B%Hm   )C~9E 5E   !wE}(0BTx   连接建模技术：堆栈 eE(b4RCM   在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 * F4UAQzYb   <RXwM6G2   &7>zURv   HrM$NRhu    微透镜阵列 FX}Gt=    彩色滤光片(吸收介质) 8b(!k FxD    通过基底传播 8sOQ 9    探测 *O~e T   G~,:2 o3   元件内场分析器：FMM 6'vbT~S!   |~0UM$OB^3   0~Gle:   5's~>up&   模拟结果 eWs&J24   Ib=x~za@n   像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) @N@F,~[RR2   p@ NaD=9   fmX!6Kv   `G9 l   像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) H`9Uf)   nh+l78   zp}eLm:=d   8' DW#%   像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) !69&Ld   I:98$r$   C1kYl0zR[   GL$De,V   3D仿真与结果比较 =c.5874A`   2,q}Nq   avQJPB)}Sb   g4p   3D仿真与结果比较 )kXhtjOl|   Qn@Pd*DR

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