微透镜阵列CMOS传感器分析

q9dplEe5   摘要 !u'xdV+bf   +HPcvu?1   41]a{A 7q   L2p?]:-   近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 'pT13RFD   {?Nm"#   建模任务 2WDe34    [-VK!9pQ   ">G*hS   4 ob?M:S   模拟&设置：单平台互操作性 O\ _ro.   建模技术的单平台互操作性 }AA">FF'y4   在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 E}KGZSj   z"T+J?V/   (6B;   mI5J]hk    平面波光源 5'NNwc\    微透镜阵列 'YB[4Q /0    彩色滤光片(吸收介质) tT!'qL.*    通过基底传播 vQ*RrHG?c    探测 8HFCmY#   P JATRJ1.   连接建模技术：微透镜 xxyc^\$   PDPK|FU   m5i CvOP   z bYv}q   &9^4-5]   连接建模技术：彩色滤光片 .CnZMw{'   YHO}z}f[!   "5L?RkFi\   ~Ni   连接建模技术：可编程介质 y%ij)vQY   -N% V5 TN    u.|%@   NuPlrCy;   连接建模技术：自由空间传播 +Eh.PWEe   nKzm.D gt_   z?<B@\~   FJDC^@Ne   连接建模技术：堆栈 |YsR;=6wT   在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ;YR/7   [:.wCG5   {N >ju   u{_,S3Aa    微透镜阵列 d_d&su E    彩色滤光片(吸收介质)  u&#>)h    通过基底传播 >({qgzV`    探测 -'g>i   1R3,Z8j'   元件内场分析器：FMM `v!. ,Yr   +Ps.HW#NY   U!o7Nw@z   |J,zU6t   模拟结果 I{OizBom   ~*7$aj   像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) QZ l#^-on   g}v](Q   !{r2`d09n)   udqrHR5   像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 9tJ0O5   !nSa4U,$w<   >9!J?HA   @KK6JyOTQ   像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 3T8d?%.l   ~jL%l   {lWVH   k}v`UiGM   3D仿真与结果比较 fr/EkL1Dl   ;:D-}t;   Q"dq_8\`U   &Gjpc>d   3D仿真与结果比较 yuZLsH   UqI #F

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