微透镜阵列CMOS传感器分析

qF m=(J%   摘要 XJl2_ #   (J(JB}[X,   deR2l(0%yr   u(B0X=B   近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 E5.3 wOE   3dG[dYj   建模任务 1<RB}M   z}v6!u|iZu   juPW!u   *6%!i7kr   模拟&设置：单平台互操作性 f6x}M9xS%   建模技术的单平台互操作性 pj.}VF!d   在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 +qsNz*@p"   _idTsd:\   5tMp@$F\{[   y=)Cid    平面波光源 VmM?KlC    微透镜阵列 c?;~Z    彩色滤光片(吸收介质) )h-Q i#{    通过基底传播 `~'yy q    探测 5\Sm^t|Tx   8 ;oU{   连接建模技术：微透镜 epa)~/sA   IHCEuK   5}FPqyK"   MM8r*T4g/   k^-HY[Q9   连接建模技术：彩色滤光片 ~Aul 7[IH   0`:B#ten   rJ)O(   m'&^\7;D   连接建模技术：可编程介质 SS;[{u!   Jsf-t   :=u Ku'~   U  JO   连接建模技术：自由空间传播 $y~!ePKh   Gz)]1Z{%$   m{itMZ@   r:u,   连接建模技术：堆栈 um V5Y`   在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 A%S6&!I:(   u`Kjs}F'   nDLr17   03aa>IO    微透镜阵列 fyat-wbb    彩色滤光片(吸收介质) C]{:>= K    通过基底传播 ^|KX)g    探测 Se nDJv00   ^3*k6h[(   元件内场分析器：FMM %G!BbXlz   W~sP7 &sp   m}Z=m8   KrNu7/H   模拟结果 $ 7%e|0jC   xf/ SUO F   像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) G5~ Jp#uA   D&KD5_Sw   *G|w#-\.c   e-vwve   像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 4f+R}Ee7   }r`m(z$z   ^Y"c1f2   Ms8&$   像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) (h;4irfX   jcNYW_G   R<>ptwy   /DPD,bA   3D仿真与结果比较 9\F:<Bf$#   I8=p_Ie   Z["[^=EP   E:,V{&tLK   3D仿真与结果比较 6J3:[7k=&   Na8%TT>

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