微透镜阵列CMOS传感器分析

`<9>X9.+   摘要 ~&RTLr#\*M   hC2Fup1@   dJR[9T_OF   "0HUaU, e   近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 r,;ca6>5H   ZPZh6^cc   建模任务 aDdxR:   ;MN$.x+   <IR #W$[   h]<S0/   模拟&设置：单平台互操作性 G[KjK$.Ts?   建模技术的单平台互操作性 2u$-(JfoS   在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 %}@iz(*}>   -m@c{&r   9[qOfIny   $!O@Z8B    平面波光源 qA[lL(    微透镜阵列 mI8EeMa{    彩色滤光片(吸收介质) ( e Kgc    通过基底传播 _^FC9    探测 W'4/cO   n=!T(Hk    连接建模技术：微透镜 4o#]hB';ni   k3bQ32()   B''yW{   r(r(&NU   TKnWhB/J   连接建模技术：彩色滤光片 O?OAXPK2   ins(RWO   [~N;d9H+*1   htB7 j(   连接建模技术：可编程介质 )|*Qs${tF   CA#g(SiZ   llZU: bs   hw GK),?"+   连接建模技术：自由空间传播 z)T-<zWO;   v\ @qMaPY   PMP{|yEx"   StJb-K/_cL   连接建模技术：堆栈 w Q[|D2;   在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 UC+Qn   ; $rQ   oEX,\@+u   OH@"]Nc~    微透镜阵列 !l*A 3qA    彩色滤光片(吸收介质) 3uYLA4[-B    通过基底传播 SNqSp.>-U"    探测 Ubu&$4a   [R4#bl   元件内场分析器：FMM x/<ow4C   >n,_Aj c   PzPNvV/o   k^oSG1F   模拟结果 .OJGo<#$f   ]-t)wGr   像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) uUfw"*D   r $S9/   0'd@8]|H   ()6%1zCO   像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) eY3:Nl^   j#f/M3   3.YH7rN   4PVg?   像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) $2Wk#F2c=   f tY&Q#[   D:9^^uVp   b_Y+XXb<   3D仿真与结果比较 a >fA-@   KJFQ)#SW!   gp9O%g3'   DAq H   3D仿真与结果比较 |Kd6.Mx   lSR\wz*Fk

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