微透镜阵列CMOS传感器分析

.q;ED`G   摘要 jo98 jA<   Llz['"m   Q M1F?F   4]&<?"LSK   近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 Mkv|TyC   <@,$hso7:   建模任务 Hs0pW5oZ   BC/_:n8O   p!W[X%`)   )\0F7Z   模拟&设置：单平台互操作性 :q+N&j'3   建模技术的单平台互操作性 j"7 JLe*   在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 t\R; < x   cF+ X,]=6   'BqZOZw   ?S#\K^    平面波光源 z,f=}t[.Y    微透镜阵列 fCUT[d+H    彩色滤光片(吸收介质) NHaMo*xQ    通过基底传播 A7-r<s    探测 bEH de*q(   %:u[MBe,   连接建模技术：微透镜 FGanxv@15   xJ(:m<z   yTAvF\s$(   ffcLuXa   'K@0Wp   连接建模技术：彩色滤光片 Nhf~PO({&   \0*l,i1&   N:BL=}V   TZB+lj1   连接建模技术：可编程介质 /i M$Tb5   <8 o(CA\   UTk r.T+2X   >Hwc,j q   连接建模技术：自由空间传播 x8N|($1   ae`|ic   e>H:/24   Vb4;-?s_   连接建模技术：堆栈 Je7RrCz   在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 PEXq:TA   hU {-a`   Y& {|Sw7?   8k!6b\Imz    微透镜阵列 %FA@)?~    彩色滤光片(吸收介质) BGWAh2w6    通过基底传播 ;u-4KK    探测 .b>TK   %|IUqjg   元件内场分析器：FMM H5xzD9K;/C   b-<HXn_Fd   pj{\T?(   r/r:o XK   模拟结果 0!#;j{JQ   &7[[h+Lb   像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) b`~wGe   C7qYiSv   9f+RAN(   _m'ysCjA   像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) AXW!]=?X   ^%[F8\}XPJ   2@i;_ 3sv   La,QB3K/   像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) tYe:z:7l?<   8l)   A WJWtUa   Y;Y1+jt   3D仿真与结果比较 lOerrP6f(   =>LZm+P   oY3>UZ5\    TQ'E5^   3D仿真与结果比较 :pZ} *?\   l5J.A@0

kQIw/@WC

9([6d.`~