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infotek 2026-02-26 07:57

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 /ce;-3+  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 6^wI^`NI  
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任务 RpQeQM=  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 .eR1\IAm  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 @-'a{hBR  
L"qJZU  
x b"z%.j  
模拟与设置:工具简介与整体流程概览 :V(LBH0  
连接建模技术:衍射光束分束器 qq/>E*~  
  
#ES[),+|mB  
Vr1}Zv3K'  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 cb|+6m~  
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EtKq.<SJ  
将传输函数转化为结构 RbAl_xKI  
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衍射光束分束器表面 MJ|tfQwhx  
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HwUaaK   
衍射光束求解器 - TEA & FMM um.ZAS_kmc  
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U.e!:f4{  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 YThVG0I =  
'J,UKK\5  
L4>14D\  
设计与评估结果 o,*m,Qc  
• 相位函数设计 aZN?V}^+  
• 结构设计 >)kKP8l7  
• TEA 评估 DYf QlA  
• FMM 评估 Lce,]z\ _  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) y, l[v39  
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仅相位传输设计 6}^x#9\  
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结构设计 1bFZyD"  
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使用TEA进行性能评估 kR<sSLEb  
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使用FMM进行性能评估 yKML{N1D  
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进一步的分析(优化后,容差分析) q8{Bx03m6  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 ;jzJ6~<  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 56pj(}eq  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 G8repY  
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