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2026-02-26 07:57 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 ~;eWQwD (X!/tw,. Ka_UVKwMro 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 @1]<LQ\\ S_bay8L1 任务 ~7 `x9MUc • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 ]`.
d%Vx • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 MT6kJDyLu !'{j"tv ~5!ukGK_ 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 i[\[xfk 连接建模技术:衍射光束分束器 22BJOh
M%B[>pONb7 $--PA$H27 通过配置助手和IFTA进行相位设计 NPoXz MxdfuFss izC>- 将传输函数转化为结构 QK? 5)[ J @\"*Z&]8z0 4|2$b:t 衍射光束分束器表面 3Aj_,&X.@( &\"fH+S .R
gfP'M 衍射光束求解器 - TEA & FMM !8L
Ql} &R5M&IwL |wLQ)y* 光栅级数 & 可编程光栅分析器 :mJM=FeJ ~qqtFjlG^ 8uT6Q C f 设计与评估结果: ?s?uoZ /2 • 相位函数设计 OeAPBhTmFj • 结构设计 bv+e'$U3 • TEA 评估 IL\mFjZ' • FMM 评估 A0]o/IBz • 高度缩放检查(用于优化/容限) kyjH~mK4 TdE_\gEo/R 仅相位传输设计 N|~&Q!A& F4&N;Zm2 rL
s6MY 结构设计 &*yve}su .lFSFJ ?? =
]@xXVf/ 使用TEA进行性能评估 19rUvgC{M F0JFx$AoD X3-1)|g !z 使用FMM进行性能评估 9@1W= sl ?oJ~3Kg dXDD/8E 进一步的分析(优化后,容差分析) *Vc=]Z2G^ @TprSd u#,]>; 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 yJL"uleRT {S}@P~H= MYPcH\K$h 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 GMNb;D(>K
KC(Ug4 C5M-MZaS 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 j<KC$[Kt
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