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2026-02-26 07:57 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 !t%j?\f ='sHj4hU ,I$`-$_' 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 Xe'x[(l }[};IqVaK 任务 }6}l7x • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 Co_A/ • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 -M~:lK]n .fFCC`&T eRstD>r 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 Uq,^Wy 连接建模技术:衍射光束分束器 5 +YH.4R 7qLpZ/ fZzoAzfv2 通过配置助手和IFTA进行相位设计 z'U1bMg [nG<[<0G; 9y8&9<# 将传输函数转化为结构 7Lc]HSZo, #7$
H K?Nhi^f"L 衍射光束分束器表面 ]G=L=D^cK o5O#vW2Il& z`}qkbvi 衍射光束求解器 - TEA & FMM nFe<w EIAc@$4 ^4hO 光栅级数 & 可编程光栅分析器 ^Za-`8#`L EhvX)s XS{Qnx_# 设计与评估结果: JPUW6e07o • 相位函数设计 2r4Uh1D~ • 结构设计 }W8;=$jr • TEA 评估 (Q!}9K3 • FMM 评估 W:nef<WH • 高度缩放检查(用于优化/容限) +oML&g-g_ ~?Pw& K2 仅相位传输设计 6]N;r5n fu ,}1Mq#
(@VMH !3 结构设计 `?@}>. ,HV(l+k {| 2(+2+} 使用TEA进行性能评估 'ya{9EdlT 9YyLf ; (gU!=F?#m 使用FMM进行性能评估 NB#OCH1/9 g2ixx+`?|: -20bPiM$A 进一步的分析(优化后,容差分析) {9pZ)tB 5d^sA;c _Y4` xv0/ 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 OLGE !&!> O+]ZyHnB 'KL0@l 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 -f^tE,- :\c ^*K(9 a#k6&3m& 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 ZJJY8k `
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