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infotek 2026-02-26 07:57

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 vS5}OV  
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   Z*q&^/N  
非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 u?SwGXi~8  
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任务 Wkk(6gS,  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 yc7b%T*Y  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 x{w|Hy  
"u~` ZV(  
*(r9c(xa  
模拟与设置:工具简介与整体流程概览 cL4Go,)w  
连接建模技术:衍射光束分束器 :/][ n9J^  
  
3A"TpR4f`  
Jg'#IM  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 V!]|u ^4I  
6 A]a@,PC  
qrw*?6mSQ  
将传输函数转化为结构 TeZu*c  
NkGtZ.!pk  
^2rj);{V  
衍射光束分束器表面 *!`&+w  
F)eP55C6  
*< fJgc"3  
衍射光束求解器 - TEA & FMM m!<FlEkN  
4PS|  
q$v0sTk0Y  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 'Tqusr>lPY  
16I[z+RG  
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设计与评估结果: M9Sj@ww  
• 相位函数设计 G2!<C-T{2  
• 结构设计 pQ7elv]  
• TEA 评估 N|)e {|k  
• FMM 评估 @zw&-b:qI  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) ea$. +  
jb/C\2U4)  
仅相位传输设计 d<=!*#q;o  
h'G  
_f>)G3p  
结构设计 UjJ&P)  
K9ih(fh)  
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使用TEA进行性能评估 +Gy9K  
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X[w]aJnAr  
使用FMM进行性能评估 _N|A I"sj.  
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9'|k@i:  
进一步的分析(优化后,容差分析) .pl,ujv  
9w&CHg7D i  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 !]mo.zDSW5  
4C:dkaDq]  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 Xooh00  
Eoo[H2=^H  
q]!FFi{w;  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 I) *J,hs1  
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