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infotek 2026-02-26 07:57

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 h~p>re  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 Mnz!nWhk  
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任务 VH(S=G5Yb  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 8:#rA*Y  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 rN%F) q#  
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]6{*^4kX  
模拟与设置:工具简介与整体流程概览 Y;e,Gq`  
连接建模技术:衍射光束分束器 @E-\ J7 yh  
  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 g*F'[Z."  
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e+j)~RBnu3  
将传输函数转化为结构 u&9 r2R959  
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qKE:3g35  
衍射光束分束器表面 n':!,a[  
*0}3t <5  
y8 KX<2s1  
衍射光束求解器 - TEA & FMM N*`b%XGn3  
Ga^Zb^y  
n f.wCtf].  
光栅级数 & 可编程光栅分析器  (:";i&  
J%jB?2 1:o  
2{Chu85   
设计与评估结果 (C\hVy2X?N  
• 相位函数设计  :Mcu  
• 结构设计 Hsihytdj  
• TEA 评估 p<&Xd}]"^W  
• FMM 评估 \/SQ,*O  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) J8"[6vId~  
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仅相位传输设计 eh,~F   
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结构设计 m "M("%  
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使用TEA进行性能评估 +R\vgE68  
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使用FMM进行性能评估 &tZG @  
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进一步的分析(优化后,容差分析) /\w)>0  
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;=9 >MS}  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 nZ_v/?O  
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e|rg;`AW  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 X/; p-KX  
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"iM~Hy  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 VN 'Wq7>6  
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