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infotek 2026-02-26 07:57

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 !t %j?\f  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 Xe'x[(l  
}[};IqVaK  
任务 }6}l7x  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 Co_A/  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 -M~:lK]n   
.fFCC`&T  
eRstD>r  
模拟与设置:工具简介与整体流程概览 Uq,^Wy  
连接建模技术:衍射光束分束器 5 +YH.4R  
  
7qLpZ/  
fZzoAzfv2  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 z'U1bMg  
[nG<[<0G;  
9y8&9<#  
将传输函数转化为结构 7Lc]HSZo,  
#7 $ H  
K?Nhi^f"L  
衍射光束分束器表面 ]G= L=D^cK  
o5O#vW2Il&  
z`}qkbvi  
衍射光束求解器 - TEA & FMM nFe<w  
EIAc@$4  
^4hO  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 ^Za-`8#`L  
EhvX)s  
XS{Qnx_#  
设计与评估结果 JPUW6e07o  
• 相位函数设计 2r4Uh1D~  
• 结构设计 }W8;=$jr  
• TEA 评估 (Q!}9K3  
• FMM 评估 W:nef<WH  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) +oML&g-g_  
~?Pw& K2  
仅相位传输设计 6]N;r5n  
fu ,}1Mq#  
(@VMH !3  
结构设计 `?@}>.  
,HV(l+k {|  
2(+2+ }  
使用TEA进行性能评估 'ya{9EdlT  
9YyLf;  
(gU!=F?#m  
使用FMM进行性能评估 NB#OCH1/9  
g2ixx+`?|:  
-20bPiM$A  
进一步的分析(优化后,容差分析) {9pZ)tB  
5d^sA;c  
_Y4` xv0/  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 OLGE!&!>  
O+]ZyHnB  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 -f^tE,-  
:\c ^*K(9  
a#k6&3m&  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 ZJJY8k `  
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