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infotek 2026-02-26 07:57

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 ~;eWQwD  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 @1]<LQ\\  
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任务 ~7 `x9MUc  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 ]`. d%Vx  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 MT6kJDyLu  
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模拟与设置:工具简介与整体流程概览 i[\[xfk  
连接建模技术:衍射光束分束器 22BJOh   
  
M%B[>pONb7  
$--PA$H27  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 NPoXz  
Mxd fuFss  
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将传输函数转化为结构 QK?5)[ J  
@\"*Z&]8z0  
4|2$b:t  
衍射光束分束器表面 3Aj_,&X.@(  
&\"fH+S  
.R gfP'M  
衍射光束求解器 - TEA & FMM !8L Ql}  
&R5M&IwL  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 :mJM=FeJ  
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设计与评估结果 ?s?uoZ /2  
• 相位函数设计 OeAPBhTmFj  
• 结构设计 bv+e'$U3  
• TEA 评估 I L\mFjZ'  
• FMM 评估 A0]o/IBz  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) kyjH~mK4  
TdE_\gEo/R  
仅相位传输设计 N |~&Q!A&  
F4&N;Zm2  
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结构设计 &*y ve}su  
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使用TEA进行性能评估 19rUvgC{M  
F0JFx$AoD  
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使用FMM进行性能评估 9@1W=sl  
?oJ~3K g  
dXDD/8E  
进一步的分析(优化后,容差分析) *Vc=]Z2G^  
@TprS d  
u#,]>;  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 yJL"uleRT  
{S}@P~H =  
MYPcH\K$h  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 GMNb;D(>K  
 KC(Ug4  
C5M-MZaS  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 j<KC$[Kt  
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