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2026-02-26 07:57 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 O%haaL\ #on ,;QN 7|GSs= 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 &I%E8E IW-|"5?9' 任务 oB~V~c}8x • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 K}2G4*8S_G • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 [HL>Lp&A? M?GkHJ %! p#_5w 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 DIJmISk 连接建模技术:衍射光束分束器 y,bDi9*| 7_jlNr7uk %wI)uJ2 通过配置助手和IFTA进行相位设计 $15H_X*! Rjv;[
[;4;.V 将传输函数转化为结构 <q>d@Foi W/}_ y8q \ 9iiS(e 衍射光束分束器表面 nh"dPE7^ hQlyqTP|2 E!BzE_|i 衍射光束求解器 - TEA & FMM uG +ZR:
_ &Yc'X+'4 5 jUy[w @ 光栅级数 & 可编程光栅分析器 =N8_S$nx( r-*6#
" yn_. 设计与评估结果: -ZyY95E< • 相位函数设计 e9tb]sAG • 结构设计 vxLr034 • TEA 评估 Nu\<Xr8 • FMM 评估 }`%ks • 高度缩放检查(用于优化/容限) O&yAFiCd &I(\:|`o 仅相位传输设计 /wl]kGF ~8"oH5 <RZqs 结构设计 xUCq%r_ 8 H3u" RA;/ ?l 使用TEA进行性能评估 6}!1a?X
S~E@A.7 E^br-{|{ 使用FMM进行性能评估 41s\^'^& \nPf\6;M eU,FYJt9 进一步的分析(优化后,容差分析) 4d}=g]P Xo]2iQy S' kgpF"bm 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 ?6hd(^ G6}&k[d5% ",J&UTUh 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 k0#s{<I]E u[Si=)`VPk G2?#MO 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 vt^7:!r
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