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2026-02-26 07:57 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 h~p>re #%D_Y33; CMCO}# 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 Mnz!nWhk B';6r4I- 任务 VH(S=G5Yb • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 8:#rA*Y • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 rN%F)
q# baP^<w^ ]6{*^4kX 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 Y;e,Gq` 连接建模技术:衍射光束分束器 @E-\ J7 yh =Apxdnz, V0%V5> 通过配置助手和IFTA进行相位设计 g*F '[Z." >TP7 }u| e+j)~RBnu3 将传输函数转化为结构 u&9 r2R959 ]_8qn'7 qKE:3g35 衍射光束分束器表面 n':! ,a[ *0}3t<5 y8 KX<2s1 衍射光束求解器 - TEA & FMM N*`b%XGn3 Ga^Zb^y n f.wCtf]. 光栅级数 & 可编程光栅分析器
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1:o 2{Chu85 设计与评估结果: (C\hVy2X?N • 相位函数设计 :Mcu • 结构设计 Hsihytdj • TEA 评估 p<&Xd}]"^W • FMM 评估 \/SQ,*O • 高度缩放检查(用于优化/容限) J8"[6vI d~ qBQ`~4s 仅相位传输设计 eh ,~F 9Li%KOY 1$2D O 结构设计 m "M("% I`w4Xrd 8NU`^L:1 使用TEA进行性能评估 +R\vgE68 p[@5&_u(z b-Z4
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@ xy<`# r&2~~_d3y 进一步的分析(优化后,容差分析) /\w)>0 N~ ?{UOZd ;=9
>MS} 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 nZ_v/?O `g_"GE e|rg;`AW 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 X/;p-KX
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"iM~Hy 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 VN'Wq7>6
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