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infotek 2026-02-26 07:57

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 wLp t2b8S  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 5K-)X9z?  
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任务 1EPOYvf%U  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 *^5,7}9Qo  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 ~,65/O  
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y$Noo)Z  
模拟与设置:工具简介与整体流程概览 _Cs}&Bic_  
连接建模技术:衍射光束分束器 qiryC7.E  
  
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#E@i@'T  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 h4i $z-!  
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将传输函数转化为结构 vaZZzv{H  
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衍射光束分束器表面 9o'6es..@Z  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM kw}1CXD  
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X&8,.=kt"  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 .4(f0RG  
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设计与评估结果 1 *CWHs  
• 相位函数设计 3) 0~:  
• 结构设计 AAY UXY!  
• TEA 评估 gI3rF=  
• FMM 评估 W-QPO  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) _=x_"rz x  
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仅相位传输设计 9X` QlJ2|  
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结构设计 fMaNv6(  
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使用TEA进行性能评估 elB 8   
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使用FMM进行性能评估 ;)a9Y?  
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进一步的分析(优化后,容差分析) H\bIO!vb  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 3Q)>gh*  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 RY< b]|  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 w%n]~w=8  
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