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2026-02-26 07:57 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 vS5}OV >T[Y>] Z*q&^/N 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 u?SwGXi~8 ^u$=<66 任务 Wkk(6gS, • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 yc7b%T*Y • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 x{w|Hy "u~` ZV( *(r9c(x a 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 cL4Go,)w 连接建模技术:衍射光束分束器 :/][ n9J^ 3A"TpR4f` Jg'#IM 通过配置助手和IFTA进行相位设计 V!]|u ^4I 6 A]a@,PC qrw*?6mSQ 将传输函数转化为结构 TeZu*c NkGtZ.!pk ^2rj);{V 衍射光束分束器表面 *!`&+w F)eP55C6 *<
fJgc"3 衍射光束求解器 - TEA & FMM m !<FlEkN 4PS| q$v0sTk0Y 光栅级数 & 可编程光栅分析器 'Tqusr>lPY 16I[z+RG ti1R6oSn 设计与评估结果: M9Sj@ ww • 相位函数设计 G2!<C-T{2 • 结构设计 pQ7elv] • TEA 评估 N|)e {|k • FMM 评估 @zw&-b:qI • 高度缩放检查(用于优化/容限) ea$. + jb/C\2U4) 仅相位传输设计 d<=!*#q;o h'G _f>)G3p 结构设计 UjJ&P) K9ih(fh) e9:pS WA-n 使用TEA进行性能评估 +Gy9K =$^}"}$
X[w]aJnAr 使用FMM进行性能评估 _N|AI"sj. 438r]f?0|{ 9'|k@i: 进一步的分析(优化后,容差分析) .pl,ujv 9w&CHg7D
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 !]mo.zDSW5 4C:dkaDq] $'!n4}$} 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 Xooh00 Eoo[H2=^H q]!FFi{w; 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 I)*J,hs1
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