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infotek 2026-02-26 07:57

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 O%haaL\  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 &I%E8E  
IW-|"5?9'  
任务 oB~V~c}8x  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 K}2G4*8S_G  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 [HL>Lp&A?  
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模拟与设置:工具简介与整体流程概览 DIJmISk  
连接建模技术:衍射光束分束器 y,bD i9*|  
  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 $15H_X*!  
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[;4;. V  
将传输函数转化为结构 <q>d@Foi  
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衍射光束分束器表面 nh"dPE7^  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM uG +ZR: _  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 =N8_S$nx(  
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设计与评估结果 - ZyY95E<  
• 相位函数设计 e9tb]sAG  
• 结构设计 vxLr034  
• TEA 评估 N u\<Xr8  
• FMM 评估 }`%ks  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) O&yAFiCd  
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仅相位传输设计 /wl]kGF  
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结构设计 xUCq%r_  
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使用TEA进行性能评估 6}!1a?X  
 S~E@A.7  
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使用FMM进行性能评估 41s\^'^&  
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进一步的分析(优化后,容差分析) 4d}=g]P  
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S'kgpF"bm  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 ?6hd(^  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 k0#s{<I]E  
u[Si=)`VPk  
G2?#MO  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 vt^7:! r  
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