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2026-02-26 07:57 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 /ce;-3+ ^_;'9YD j#1G?MF 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 6^ wI^`NI @up,5` 任务 RpQeQM= • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 .eR1\IAm • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 @-'a{hBR L"qJZU x
b"z%.j 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 :V(LBH0 连接建模技术:衍射光束分束器 qq/>E*~ #ES[),+|mB Vr1}Zv3K' 通过配置助手和IFTA进行相位设计 cb|+6m~ ~U0%}Bbh EtKq.<SJ 将传输函数转化为结构 RbAl_xKI /jG?PZ=m Q":_\inF 衍射光束分束器表面 MJ|tfQwhx ]n!V HwUaaK
衍射光束求解器 - TEA & FMM um.ZAS_kmc E#$Jg|e U.e!:f4{ 光栅级数 & 可编程光栅分析器 YThVG0I = 'J,UKK\5 L4>14D\ 设计与评估结果: o,*m,Qc • 相位函数设计 aZN?V}^+ • 结构设计 >)kKP8l7 • TEA 评估 DYf QlA • FMM 评估 Lce,]z\_ • 高度缩放检查(用于优化/容限) y, l[v39 AxH;psj 仅相位传输设计 6}^x#9\ q+?&w'8 ZISIW! 结构设计 1bFZyD" %;[DMc/ K4Q{U@ZJ 使用TEA进行性能评估 kR<sSLEb aTvyzr1 !> sA.L&= 使用FMM进行性能评估 yKML{N1D `% 9Y)a/e /5,6{R9 进一步的分析(优化后,容差分析) q8{Bx03m6 xV>
.] [k7(t|Q{ 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 ;jzJ6~< LIDi0jbrq 'V&g"Pb 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 56pj(}eq ]Jswxw $DDO9 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 G8repY
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