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infotek 2026-02-11 16:06

倾斜光栅的鲁棒性优化

摘要                                                                             r;>*_Oc7g  
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由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             7s"< 'cx_F  
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仿真任务                                                                             bA= |_Wt  
   R>,:A%?^b5  
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+6UVn\9Q  
连接建模技术:倾斜光栅 cs T2B[f9D  
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f` :i.Sr  
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可用的微结构建模技术: D<8HZ%o  
+|bmT  
T32+3wb"I  
                                                                                 V6t,BJjS  
光栅阶数分析仪 Z-E`>  
Hu.t 3:w  
0@G")L Ue0  
S|apw7C  
参数变化分析仪                                                                            
G2t;DN(  
   2kdC]|H2?  
                                                                             5QPM t^  
BYs-V:  
参数优化                                                                             w4W_iaU  
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优化结果-平均效率 2WtRJi?b|  
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优化结果-对比度 Kl2lbe7  
K?s+3  
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