倾斜光栅的鲁棒性优化

摘要

由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。

仿真任务

连接建模技术:倾斜光栅 M?o{STt
B}*V%}:)

可用的微结构建模技术:

光栅阶数分析仪

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参数变化分析仪

参数优化

优化结果-平均效率

优化结果-对比度 4%bTj,H#
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