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infotek 2026-02-11 16:06

倾斜光栅的鲁棒性优化

摘要                                                                             NCh(-E  
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g|*eN{g]uE  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             af5`ktx  
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仿真任务                                                                             %'g-%2C?  
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GP k Cgb(  
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连接建模技术:倾斜光栅 ^+l\YB7pD  
w*R-E4S?2  
                                                                     zNTu j p  
h+d;`7Z>  
可用的微结构建模技术: bB :X<  
P!&CH4+  
WHk/mAI-s  
                                                                                 F!cAaL1  
光栅阶数分析仪 Br$PL&e~  
U[ungvU1U  
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Y>m=cqR  
参数变化分析仪                                                                             [<I `slK  
   2%yJo7f$[  
                                                                             J7] 60H#P  
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参数优化                                                                             %>U*A  
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优化结果-平均效率 ^<Tp-,J$EN  
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优化结果-对比度 dct#E CT  
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