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infotek 2026-02-11 16:06

倾斜光栅的鲁棒性优化

摘要                                                                             unr`.}A2>  
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(62Sc]  
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由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             hS^8/]E={  
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仿真任务                                                                             C`8.8  
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连接建模技术:倾斜光栅 I"D}amuv  
d\tA1&k71  
                                                                    
9CZ EP0i7  
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可用的微结构建模技术: S AKIFNE  
A=np ?wc  
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                                                                                 Bey9P)_Of  
光栅阶数分析仪 C0&ZQvvy1:  
 X$_z"t  
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参数变化分析仪                                                                            
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   RuOse9  
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参数优化                                                                             :7s2M  
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                   2Xv$  
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优化结果-平均效率 V:lKF')  
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48.4GwL7  
优化结果-对比度 es\Fn#?O  
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