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2026-02-04 08:01 |
构造二维周期性光栅结构
复杂光栅结构被广泛应用于光谱仪、近眼显示系统等领域。VirtualLab Fusion 软件用傅立叶模态法(FMM,或者RCWA)一种简易的仿真方法来严格分析任意的光栅结构。使用图形用户界面,可以设置堆栈的几何图形,从而生成复杂的光栅结构。 此例程主要用于构建具有二维周期性特征的光栅。• 光栅工具箱中构建二维光栅的方法 − 基于介质定义的类型 − 基于界面定义的类型 j-@kW'K • 计算之前修改高级选项和检查定义的结构的方法。 5X.ebd;PT • 提示:在VirtualLab软件中的光栅结构中,表现为二维周期性的被称作 三维光栅。同样的,层状光栅(一维周期性)被称作二维光栅。 RSfM]w}Hq# 4p`XG1Pt 初始化光栅工具箱 D|bBu • 初始化 G`h+l< − 开始菜单栏 (Start) +YY8h>hj 光栅菜单栏(Grating) lU]un&[N 通用光栅光路图(三维光栅) General Grating Light Path Diagram(3D Gratings) J:dof:q • 提示:对于特殊类型的光栅,例如柱形光栅, =v~1qWX 可以在光栅工具箱中直接点击柱形光栅光路 _;9! 图(三维光栅)(Pillar Grating Light |[xi/Q^7 Path Diagram(3D Gratings)) %y[1H5)3< \{\MxXW 设置光栅结构 V ~MiO.B bUy,5gk- • 首先,需要定义基底(Base Block)的厚度和介质。 .\3`2 • VirtualLab中光栅结构在堆栈(stack) 中定义。 -cF'2Sfr • 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同时添加堆栈(stack)。 ?9MVM~$ • 例如,图中在前表面添加了堆栈(stack)。 LE^G&<! 基于材料定义光栅的类型(例程: 柱形光栅) FyL_xu\e 堆栈编辑器 M(q'%XL^ kYwb -; Iry 在堆栈编辑器(Stack Editor)中,界面和材料可以从中目录(catalog) 中添加。 ;oOv/3 • 为了用一种特殊的介质定义光栅,需要添加两个平面界面,作为介质的边界。 *ZSdl0e 6R UrF 两个平面之间的介质类型可以是均匀介质(homogenous)或者调制介质(modulated)。 .aOnGp • 使用调制介质,就可以非常有效地描述复杂光栅结构,如柱形光栅。柱形光栅介质 (P|~>k K ?$#ntp ,1{Ep` • 在目录类别中LightTrans预设(LightTrans Defined)下柱形介质类(pillar media)中可以添加铬柱(Chromium Pillars)。 er.L7 • 这种介质可以仿真柱形结构或者在基底表面打孔的结构。 ybdd;t}&1 • 此例程中,矩形排布的金属铬圆柱位于熔融石英基底表面。 &p
UZDjo? • 在堆栈编辑器的视图中,不同材料根据折射率的高低表示为不同深浅的颜色 X<OSN&d
(颜色越深,折射率越高)。 Px@/Q • 注意:堆栈编辑器固定显示x-z平面的横截面视图。 I8Vb-YeS #_
C • 请注意:界面添加的顺序固定由基底表面开始算起。 NF$\^WvYSP • 选中的界面会以红色突出显示。 iX{G]< n • 此外,无法在此处定义光栅前面的介质(指 ]<uQ.~ 最后一个界面后的介质)。它会自动从光栅部件前面的材料中提取。 '(&%O8Yi • 可以在光学参数设置编辑器(Optical Setup Editor)中更改这处材料。 f3*?MXxb16
xFv;1Q • 堆栈周期(Stack Period)可以控制整个结构的周期。 1M3%fW • 对于二维周期性光栅,必须在x和y方向分别定义周期。 1YxgR}7 • 该周期也是FMM算法的周期边界条件。 E
.6HpIx • 对于简单的光栅结构,建议选择与介质周期一致 (Dependent from the Period of Medium) 选项,并选择合适的周期性介质的序号。 +A_J1iJ<
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