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infotek 2025-12-03 08:18

倾斜光栅的参数优化与容差分析

摘要 $rZ:$d.C  
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对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 rQncW~  
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结果-容差分析 u@`)u#  
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在VirtualLab Fusion中查看 SL;\S74  
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VirtualLab Fusion的工作流程 K_V44f1f  
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•构造光栅结构 UarU.~Uqi  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] }2Lh'0 xY  
- 倾斜光栅的高级配置[用例] S9Fg0E+J  
•分析光栅衍射效率 "y>\ mC  
- 光栅级次分析器[用例] 8#%p[TLj  
•使用参数优化优化光栅参数 \TG!M]D:  
•使用参数运行进行容差分析 +#5nk,1c>  
- 参数运行文档的用法[用例] e`Xy!@`_  
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VirtualLab Fusion技术 47_4`rzy;  
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