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infotek 2025-11-24 08:05

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 $Oa} U3  
(hTe53d<S?  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 4}B9y3W:v  
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r=[T5,L(s  
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建模任务 a5o&6_  
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0sW=;R2  
概述 _ 1[5~Pnh  
j`1% a]Bwc  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 |<&9_Aq_  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Q:$<`K4)  
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b`N0lH.V  
L2Ynv4llm  
光线追迹仿真 COJny/FT|  
VYj hU?I  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 } y@pAeS,  
•单击go! ]c,ttS _  
•获得了3D光线追迹结果。 .]`LR@qf  
t-gg,ttnA  
zSMN k AM  
uxF88$=!t  
光线追迹仿真 cA_77#<8  
e,/b&j*4th  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 `MFw2nu@t  
•单击go! [r%WVf.#d  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 :lQl;Q -e  
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v[VUX69  
Z+h^ ie"g  
场追迹仿真 Z_{`$nW  
k@nx+fO}P  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 sev^  
•单击go! G+?@4?` z  
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EMME?OW$  
场追迹仿真(相机探测器) Eyu]0+  
g#0h{%3A \  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 4Eh 2sI  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 +#~=QT9  
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场追迹仿真(电磁场探测器) Oo{+W 5[  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 /HR9(j6  
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VP^Yph 8R  
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场追迹仿真(电磁场探测器) Ek\f x*Lz  
Am=D kkP%  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。  5|2v6W!e  
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