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infotek 2025-11-19 08:04

全场光学相干扫描干涉仪

摘要 U#XW}T=|  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 T]b&[?p|a[  
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建模任务 V!e*J,g  
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仿真干涉条纹 %>y!N!.F  
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走进VirtualLab Fusion Q trU_c2k  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 yBv4 xKMH  
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•设置输入场 3Gw*K-.  
基本光源模型[教程视频] 4FKgp|Y0  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 6Yqqq[#V/  
•定义元件的位置和方向 !MmbwB'  
LPD II:位置和方向[教程视频] GW%!?mJ  
•正确设置通道以进行非序列追迹 %0 U@k!lP  
非序列追迹的通道设置[用例] [DTe  
•使用参数运行检查影响/变化 zW.Ltz  
参数运行文档的使用[用例] 7~QAprwVS  
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VirtualLab Fusion技术 eQqCRXx  
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