薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比

摘要 c#"t.j<E}  
9j
X_Eoxy
 
薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 "tl$JbRTY  
b GI){0A  

建模任务 s,8zj<dUv  
;^0rY)&  

r 1jt~0&K  

正弦光栅—透射相位曲线 =-X-${/  
s.Bb@Jq  

正弦光栅—透射相位曲线 rF"p7
 
# Q,EL73;  

正弦光栅—衍射效率 zxCx
2.7  
.(.
<  

正弦光栅—效率与周期 ujSoWs  
(.V),NKG  

正弦光栅—特定周期下的相位曲线 h_S>
Q  
vr'cR2  

闪耀光栅—效率与高度（TEA） t(-,mw  
X(MS!RV  

闪耀光栅—透射相位曲线 *wj5(B<y  
 e
]1Zey  

闪耀光栅—衍射效率 JHvev,#4  
cPNc$^Y  

闪耀光栅—效率与周期 BR@m*JGajz  
ceJi|`F  

Z9+fTT  
pC>h"Hy  

VirtualLab Fusion一瞥 ZDbe]9#Xh  
LrbD%2U$j5  

5HV+7zU5  
• 设置光栅结构 ,Q7;(&x~  
−使用界面配置光栅结构[用户案例] @|DQZt  
• 分析光栅衍射效率 3yKmuu!  
−光栅阶次分析器[用户案例] Tgr,1)T  
• 通过参数运行检查不同参数的影响 %8tE*3iUF  
− 利用参数运行文档[用户案例] > ]^'h  
q -8G  

VirtualLab Fusion技术
wqF?o  
3wq<@dRv4