用于光学检测的斐索干涉仪

摘要 D,J's(wd
8(ZQD+U(9F

斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器，常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术，我们建立了斐索干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，如柱面和球面，可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。

建模任务 ] Li(E:
8 2_3|T

观测倾斜平面 6W~F nJI
Iy"

观测柱面 2p@S-Lp
{y :/9

观测球面 dGZVWEaPfx
PF4Cs3m/

走进VirtualLab Fusion GXa-g-d
k~:B3p

VirtualLab Fusion的工作流程
 设置输入场
- 基本光源模型 [教学视频]
 使用表面构造真实元件

 定义元件的位置和方向
- LPD II：位置和方向 [教学视频]
 为非序列场追迹设置合适的通道
- 非序列场追迹的频道设置 [用例]

VirtualLab Fusion技术

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