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infotek 2025-10-29 08:08

用于光学检测的斐索干涉仪

摘要 n:;2Z  
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斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 LM<OYRB(  
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建模任务 9ft7  
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观测倾斜平面 ~>+}(%<,  
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观测柱面 s8 3_Bd  
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观测球面 Xhi9\wteYw  
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走进VirtualLab Fusion i7Y 96]  
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VirtualLab Fusion的工作流程 I~#'76L[  
 设置输入场 1C'lT,twl  
- 基本光源模型 [教学视频] QT?fp >'  
 使用表面构造真实元件 &]uhPx/  
lq+FH&  
 定义元件的位置和方向 X}g!Lp  
- LPD II:位置和方向 [教学视频] ~Kt.%K5lgt  
 为非序列场追迹设置合适的通道 8 =J6{{E  
- 非序列场追迹的频道设置 [用例] J[]YG+r  
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VirtualLab Fusion技术 vek9. 4! ]  
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