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用于光学检测的斐索干涉仪
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infotek
2025-10-29 08:08
用于光学检测的斐索干涉仪
摘要
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斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
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建模任务
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观测倾斜平面
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观测球面
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走进VirtualLab Fusion
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VirtualLab Fusion的工作流程
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设置输入场
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- 基本光源模型 [教学视频]
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使用表面构造真实元件
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定义元件的位置和方向
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- LPD II:位置和方向 [教学视频]
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为非序列场追迹设置合适的通道
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- 非序列场追迹的频道设置 [用例]
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VirtualLab Fusion技术
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