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infotek 2025-10-29 08:08

用于光学检测的斐索干涉仪

摘要 w|lA%H7`J  
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Y HSdaocp  
斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 N`,ppj  
BE>^;`K  
建模任务 % 8u97f W  
@{n"/6t  
4AW-'W  
5e1;m6  
观测倾斜平面 {8p<iY- %  
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eO%w i.Q  
q#D-}R_RN  
观测柱面 FWC\(f  
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观测球面 l/xpAx  
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走进VirtualLab Fusion ^ruz-N^Y!  
\RT3#X+  
Nb3uDA5R  
dp}s]`x+  
VirtualLab Fusion的工作流程 yOTC>?p%  
 设置输入场 #=uV, dw  
- 基本光源模型 [教学视频] D]=V6l=  
 使用表面构造真实元件 U%rEW[j  
^#gJf*'UE  
 定义元件的位置和方向 ;UpdkY 1  
- LPD II:位置和方向 [教学视频] {[ pzqzL6  
 为非序列场追迹设置合适的通道 Suo%uD  
- 非序列场追迹的频道设置 [用例] {F=`IE3)w  
#;0F-pt  
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VirtualLab Fusion技术 ~K@p`CRbV  
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