集成微透镜阵列的CMOS传感器分析
1. 摘要 ^XVa!s,d @oNrR$7 在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。 # 95/,k .*"IJD9 2. 建模任务 !
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采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010) ]du~V?N
Nl _Jp:8s 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010) "o^zOU CuNHDYQ&3 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) [^f`D%8o 6}$cDk`dz
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tG-MC&;= Jo@9f(hq 8. VirtualLab Fusion的工作流程 Lsdu:+- 6BnjT n9^zAcUbAW 构造光栅结构 y8@!2O4 - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] ;D:v@I$I - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] mfvQ]tz_+ 计算光栅结构内部的场分布 ITV}f# "x11 YM{F
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