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infotek 2025-09-24 08:08

集成微透镜阵列的CMOS传感器分析

1. 摘要 ^XVa!s,d  
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在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。  
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2. 建模任务 ! +7ve[z  
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采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) [^f`D%8o  
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4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) }.zn:e  
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5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 7Wu2gky3  
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6. 3D仿真与结果对比 ):@B1 yR  
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7. 走进VirtualLab Fusion @ 2_&ti  
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Jo@9f(hq  
8. VirtualLab Fusion的工作流程 Lsdu:+-  
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n9^zAcUbAW  
 构造光栅结构 y8@!2O4  
- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] ;D:v@I$I  
- Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] mfvQ]tz_+  
 计算光栅结构内部的场分布 ITV}f#  
"x11 YM{F  
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~08v]j q  
9. VirtualLab Fusion技术 7Fp2=j  
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C0M{zGT>}  
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