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ouyuu 2025-08-10 23:06

随便聊聊离子源

近几年国内兴起来很多镀膜机制造厂家,老牌的国外镀膜机厂家日渐衰微。 Hg(%g T  
国外厂家以前值得夸耀的离子源系统和光控系统国内也基本攻克了,也就是稳定性上有点优势。 wiKUs0|  
D|lp3\`%  
国内镀膜机上常见的离子源应该是霍尔源和射频源。 kXK D>."E*  
这两种源都利用了磁场--电子在磁场做圆周(螺旋)运动, VX0q!Q  
从而增加了电子在空间的行程,增加了和工作气体碰撞的几率。 ANh7`AUuO  
不同的是霍尔源一般是永磁铁,磁场没有变化; zXWf($^&E  
而射频源是震荡磁场,磁场会周期变化,电子也会周期振荡。 u hW @ Y+  
霍尔源一般没有栅极,所以离子的能量(电压)比较小,但是数量(电流)可以很大; YTP6m9hA+  
射频源有栅极,所以离子能量(电压)可以加的很高,但是数量(电流)有限制。 s @\UZ C  
一般镀膜时候离子电压在1kv水平就够了; X&R ,-^  
离子能量增大到10kv水平,这个能量能把基材表面的颗粒打飞,一般用于离子溅射; fR[kjwX)<1  
离子能量加大到几百万电子伏特时,能把离子直接打进基材里面,这个就用在离子注入机上。 RS'!>9I  
OtK=UtVI  
射频源的难点在于栅网和射频匹配, yU'Fyul  
栅网受热会膨胀变形,而栅网之间通常离得很近,受热变形后就容易接触打火。 0RmQfD>  
新的栅网还好说,随着栅网越用越薄,变形的几率就越来越大。 N0TEVDsk  
进口栅网一般是整块钼块掏制的,就是为了克服受热变形。 [AgS@^"sf5  
用钼板旋压则制作成本较低,但是变形量比掏制的要大很多。 F#d`nZ=M  
{Yp>h5nwM_  
射频匹配就是调整可变电容来匹配射频震荡回路,使得反射电流最小化。 ?VVtEmIN  
一般只要接触良好,线圈不发生变形,LC震荡回路的匹配值只和真空度和气体有关, Ps=OL\i  
离子源本体因为会要切换气体(一般是Ar和O2),所以必须自动匹配, 1C) l) pV  
中和器只用Ar,所以匹配好了基本上不会变化。 <Sw>5M!j  
如果发生反射很高的情况,要么就是接触产生问题了,要么就是线圈变形了, ZmM/YPy  
或者就是哪里对地短路了。
quan6658 2025-08-16 13:54
那如果射频离子源报加速电流异常一般是什么原因造成的?栅网也没有发现有破损或掉渣,但是栅网中间部分会有局部出现与其它地方不一致颜色的扭曲线条,像个W %C}TdG(C  
ouyuu 2025-08-23 17:57
是哪家的离子源,不同厂家的离子源加速极位置不一样。 N pu#.)G  
有照片最好发一下,有可能是打火。 6%N.'wf  
栅网之间位置过近或者孔位偏差会造成打火。 o1I8l7  
(vL-Z[M!  
有可能是没装好,也有可能是本身栅网的问题。
囊中蓄乾坤 2025-08-27 17:12
学习了。之前有个一直反射电流高,后面就是换了那个电容才OK。今天看了这个好像明白了一点。谢谢分享。
quan6658 2025-08-30 16:40
ouyuu:是哪家的离子源,不同厂家的离子源加速极位置不一样。 5G$sP,n  
有照片最好发一下,有可能是打火。 M}jF-z  
栅网之间位置过近或者孔位偏差会造成打火。 "Q{)H8,E)x  
有可能是没装好,也有可能是本身栅网的问题。 (2025-08-23 17:57)  tXlo27J  
H);O.m  
没有拍照,网子已经打磨了
quan6658 2025-08-30 16:44
镀红外膜用霍尔源是比射频源更好吗?我们用霍尔源镀红外膜料,怕膜料氧化,离子源充气都是氩气,结果气体分配片消耗好大,感觉气体分配片的金属都镀到膜里面去了,气体分配片用不了40小时就穿孔了,这个该怎么去设置气体?是不是还是要充一些氧或者改用特殊材质的气体分配片,现在用的气体分配片是不锈钢的
ouyuu 2025-09-03 01:30
quan6658:镀红外膜用霍尔源是比射频源更好吗?我们用霍尔源镀红外膜料,怕膜料氧化,离子源充气都是氩气,结果气体分配片消耗好大,感觉气体分配片的金属都镀到膜里面去了,气体分配片用不了40小时就穿孔了,这个该怎么去设置气体?是不是还是要充一些氧或者改用特殊材质的气体分配片,现在 .. (2025-08-30 16:44)  B^;G3+}  
+-s$Htx  
射频源因为离子速度高(加速电压高),所以对折射率的提高比较大, iZ^tLnc  
也就是说折射率的稳定性来讲,射频源不如霍尔源。(因为霍尔源提高不多) MXVQ90  
红外膜因为厚度大,如果没有直控的话,确实霍尔源要比射频源更容易控制。 xZMQ+OW2i  
因为折射率来讲霍尔源更稳定。 .el&\Jt  
N9 SC\  
红外膜料是硫化锌吗?硫化锌只能用氩气。 ]U4)2s  
气体分配片你可以选用一些高熔点的金属做,不过成本会很高。 C[4{\3\Va  
比如说钨、钼、石墨……
quan6658 2025-09-09 14:54
ouyuu:射频源因为离子速度高(加速电压高),所以对折射率的提高比较大, .='hYe.  
也就是说折射率的稳定性来讲,射频源不如霍尔源。(因为霍尔源提高不多) j,Vir"-)  
红外膜因为厚度大,如果没有直控的话,确实霍尔源要比射频源更容易控制。 _u] S/X-  
因为折射率来讲霍尔源更稳定。 ,q".d =6  
....... (2025-09-03 01:30)  ,zP.ch0K  
tK0Ksnl^  
谢谢版主解答
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