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2025-07-22 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 D-\WS^# 8}9|hT;
I;H6E 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 :U)>um34e 8Q&.S)hrN 任务 ?O(KmDH • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 #RAez:BI • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 "Y0:Y?Vz" zy\p, ;d$PQi 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 #v!(uuq, 连接建模技术:衍射光束分束器 ^2Sa_. [=M0%" v,t;!u,40 通过配置助手和IFTA进行相位设计 W:D'k^u 0"q_c-_Bg 62lG,y_L 将传输函数转化为结构 0sq?;~U fFP>$ YT7,=k _ 衍射光束分束器表面 KWtLrZ(j [U+6Tj, n+Ofbiz@ 衍射光束求解器 - TEA & FMM l{oAqTN p;Ezmz +~,
qb1aZ 光栅级数 & 可编程光栅分析器 *:t]|$;E\ hnWo.5;$ :M" NB+T 设计与评估结果: Z-(#}(HD • 相位函数设计 XrR@cDNx{ • 结构设计 m NkS!(L6 • TEA 评估 mXZOkx{ • FMM 评估 5Pmmt/Z • 高度缩放检查(用于优化/容限) p\lS)9 wI'8B{[ 仅相位传输设计 APxy%0Q hKq <e%oVH q~*3Bk~ 结构设计 c\GJfsVk vd7%#sHH& d>"t*>i]> 使用TEA进行性能评估 GE4d=;5 _r!''@B zrfE'C8O 使用FMM进行性能评估 v4]7"7GuW WBTdQG
Q6 Jej P91 进一步的分析(优化后,容差分析) @91Q=S GCx1lm n]&/?6} 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 C6Qnn@waYb MGn:Gj"d S0. 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 C~o6]'+F_ sW%U3,j ;u;Y fOr 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 oQJK}9QR
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