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infotek 2025-07-22 07:56

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 5l-mW0,MK  
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   zjL.Bhiud  
非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 `~UZU@/x  
RE$`YCs5  
任务 y7i%W4  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 iJxQB\x  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 )QagS.L{z  
Si 9Z>MR  
L(>=BK*  
模拟与设置:工具简介与整体流程概览 +|Hioq* ,t  
连接建模技术:衍射光束分束器 g42)7  
  
39F O f  
!  Z`0(d  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 Z4$cyL'$P  
%ows BO+  
/"H`.LD.?  
将传输函数转化为结构 j/T>2|dA&  
p R dk>Ph  
./j,Z$|  
衍射光束分束器表面 MF3b{|Z  
Rd7_~.Bo  
7+TiyY]K  
衍射光束求解器 - TEA & FMM qjAWeS/  
_sE#)@p  
 O|A_PyW  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 kc'pN&]r:  
l&VjUPz_  
x6afI<dm  
设计与评估结果 '$As<LOEd/  
• 相位函数设计 qzw'zV  
• 结构设计 GSoZx0  
• TEA 评估 H+}"q$  
• FMM 评估 MC((M,3L  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) vkS)E0s  
aKUS5jDu  
仅相位传输设计 a9zw)A  
CSbI85F  
I]Tsz'T!9  
结构设计 Ee1LO#^_6  
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0U/K7sZ  
使用TEA进行性能评估 =&0wr6  
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使用FMM进行性能评估 1CPjil*eb  
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RO0>I8c1c  
进一步的分析(优化后,容差分析) p_ Fy >j  
M'`;{^<  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 :{'k@J"| a  
E| YdcS  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 {:c]|^w6  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 2 nb:)  
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