| infotek |
2025-07-22 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 cE]z Tu?! +0pI}a\ 2Vx4"fHP#N 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 o1.~g'!^ d51lTGH7Z 任务 y]j.PT`Cw • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 O?e9wI=H • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 jrib"Bh3, pbVL|\oB} @{y'_fw 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 / Q1*Vh4 连接建模技术:衍射光束分束器 TA[%eMvA 1q}LO2 ")Fd'&58 通过配置助手和IFTA进行相位设计 cbJgeif "V|Rq]_+% LDlYLsF9 将传输函数转化为结构 @Q74 J>Ar(p AFAg3/ 衍射光束分束器表面 M)bQvjj \dk1a @;/Pl>$|'G 衍射光束求解器 - TEA & FMM !nBbt?* f8Hq&_Pn cE\w6uBR1 光栅级数 & 可编程光栅分析器 ^j<v~GTx+ WyO*8b_
D v
vErzUxN 设计与评估结果: (?qCtLZ • 相位函数设计 ;(NTzBq!1 • 结构设计 fCY|iO0.t • TEA 评估 s%jBIeh • FMM 评估 '.Y,VJaL
• 高度缩放检查(用于优化/容限) 1w>[ w S 仅相位传输设计 :\;9y3 "hyfo,r cC*WZ] 结构设计 xQFRM aQE l#0zHBc n_QuuUB 使用TEA进行性能评估 3qWrSziD 5U?O1}P qYoW8e 使用FMM进行性能评估 <-`bWz=+ a
,mgM&yD (PpY*jKR 进一步的分析(优化后,容差分析) Q6
*n'6 | R,dsBd 8{4'G$6 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 st w@@GQ Q YA4C1h' k=)U 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 :DH@zR ^A ]4 ~A0AB
`7 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 ?qQ{]_q1&.
|
|