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infotek 2025-07-22 07:56

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 v[\GhVb  
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   2t;3_C  
非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 "9#hk3*GqX  
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任务 m>^vr7  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 zXW;W$7V4  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 [ e#[j{  
XG!^[ZDs  
+fN2%aC  
模拟与设置:工具简介与整体流程概览 lE8(BWzw  
连接建模技术:衍射光束分束器 )Vo%}g?6!  
  
JYnyo$m/  
&-L9ws  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 Q">wl  
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@o6!  
将传输函数转化为结构 Z~K} @  
R(s[JH(&  
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衍射光束分束器表面 mGo NT  
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rX22%~1  
衍射光束求解器 - TEA & FMM XEUS)X)  
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*G[` T%g  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 w{riXOjS4  
L7"<a2J  
]/|DCxQ  
设计与评估结果 v 8TNBsEL  
• 相位函数设计 wj8\eK)]L  
• 结构设计 @9lGU#  
• TEA 评估 (!a\23  
• FMM 评估 ypNeTR$4  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) w+{{4<+cd  
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仅相位传输设计 9t7 e~&R  
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结构设计 !iAZEOkRR  
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使用TEA进行性能评估 [OFT!=.y &  
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使用FMM进行性能评估 \}Kad\)  
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进一步的分析(优化后,容差分析) _k5$.f:Yj<  
u@aM8Na  
&VxK AQMxN  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 jRp @-S#V  
#+^l3h MK  
NM1TFs2Y*  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 Lve$H(GHT  
5;[0Q  
p+2uK|T9  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 yCv"(fNQ  
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