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2025-07-22 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 cGNvEM(4AV _.{zpF=j 86%%n?"} 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 G}VDEC oV9z(!X/ 任务
:Hk_8J • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 DzC Df@TB" • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 n!G.At'JP y7z( &M@ rVH6QQF=\ 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 2ev*CX6. 连接建模技术:衍射光束分束器 8Atq,GcG xvmt.> f r?p[3JJ;mG 通过配置助手和IFTA进行相位设计 qbiK^gR D9BQID$R zBY~lNB 将传输函数转化为结构 fN)x#? ZIpD{ >/ D`pQ7 衍射光束分束器表面 IkDiT63]I XWUP= D~ o0ZBi|U\4 衍射光束求解器 - TEA & FMM Izn
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7+nm31,<O 光栅级数 & 可编程光栅分析器 I{ ryD -!
NF+<#*1 r\2vl8X~ 设计与评估结果: M0L&~p_F • 相位函数设计 53Yxz3v • 结构设计 uSN"vpc4D • TEA 评估 PLA#!$c7q • FMM 评估 gKo%(6{n~ • 高度缩放检查(用于优化/容限) c.%.\al8oW *fnvZw? 仅相位传输设计 rrqQCn9 B=n[)"5fBO <*(^{a.O 结构设计 ST
Z]8cw #HAC*n 8{0k0 &x 使用TEA进行性能评估 8 #}D
:( G.\l qYrXU hmC*^"C>U= 使用FMM进行性能评估 =\};it{u Ws I>n R)5n 8 进一步的分析(优化后,容差分析) ''H"^oS mchJmZ{A g(Yb^'X/ 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 < zOi4v0 S6xgiem MHi8E9_O 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 DM{ 4@*] <a(}kk} S($Su7g%_ 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 J2VTo: In
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