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infotek 2025-07-22 07:56

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 UNPezHaz  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 DA2}{  
BNd^qB ?  
任务 slg ]#Dy  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 S+'rG+NJ  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 +n<k)E@>J  
D8>enum  
qZ}P*+`Q  
模拟与设置:工具简介与整体流程概览 @J5Jpt*IE  
连接建模技术:衍射光束分束器 ~4s'0 w^  
  
fv`O4  
|N}P(GF  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 s3]?8hXd  
4hAl-8~Q6  
Q$:![}[(  
将传输函数转化为结构 EL8NZ%:v:  
6B@CurgB  
AC;V m: @{  
衍射光束分束器表面 ^5A t?I8  
jM$`(Y  
NPd%M  
衍射光束求解器 - TEA & FMM *+uHQgn(  
zo[[>MA  
V5GW:QT  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 x.3J[=z=>  
x_c7R;C  
94 e): jS  
设计与评估结果 c>/. ;p  
• 相位函数设计 G7)Fk%>  
• 结构设计 ' Hi : 2Wh  
• TEA 评估 GrTulN?  
• FMM 评估 $KLD2BAL  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) N nk@h  
Ea?XT&,  
仅相位传输设计 Qt,M!i,  
/F4pb]U!*  
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结构设计 B*~5)}1op  
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使用TEA进行性能评估 0H0-U'l  
^-rfvc  
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使用FMM进行性能评估 vjQb%/LWl  
Rb%%?*|  
M)+$wp  
进一步的分析(优化后,容差分析) 52b*[tZ  
t9Y=m6  
fm(e3]  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 =xsTDjH>  
0b/WpP  
A8q;q2  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 <L{(Mj%Z  
bJYda)  
*dvDap|8W  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 w|CZ7|6  
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