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2025-07-22 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 UNPezHaz %=?cZfFqO ua5OGx 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 DA2}{ BNd^qB ? 任务 slg ]#Dy • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 S+'rG+NJ • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 +n<k)E@>J D8>enum qZ}P*+`Q 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 @J5Jpt*IE 连接建模技术:衍射光束分束器 ~4s'0 w^
fv`O4 |N}P(GF 通过配置助手和IFTA进行相位设计 s3]?8hXd 4hAl-8~Q6 Q$:![}[( 将传输函数转化为结构 EL8NZ%:v: 6B@CurgB AC;V
m: @{ 衍射光束分束器表面 ^5A
t?I8 jM$`(Y NPd%M 衍射光束求解器 - TEA & FMM *+uHQgn( zo[[>MA V5GW:QT 光栅级数 & 可编程光栅分析器 x.3J[=z=> x_c7R;C 94 e):
jS 设计与评估结果: c>/.
;p • 相位函数设计 G7)Fk%> • 结构设计 'Hi:
2Wh • TEA 评估 GrTulN? • FMM 评估 $KLD2BAL • 高度缩放检查(用于优化/容限) Nnk@h Ea?XT&, 仅相位传输设计 Qt,M!i, /F4pb]U!* _UT$,0u_i 结构设计 B*~5)}1op =xNv\e .Wq@gV 使用TEA进行性能评估 0 H0-U'l ^-rfvc jMbC Y07v 使用FMM进行性能评估 vjQb%/LWl Rb%%?*| M)+$wp 进一步的分析(优化后,容差分析) 52b*[tZ t9Y=m6 f m(e3] 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 =xsTDjH> 0b/ WpP A8q;q 2 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 <L{(Mj%Z bJYda) *dvDap|8W 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 w|CZ7|6
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