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infotek 2025-07-22 07:56

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 (Ef2 w[ '  
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   m/hi~. D9  
非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 T]#,R|)d  
%rDmW?T  
任务 frmqBCVJ:  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 5<O61Lgx  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 / }XsuH  
RUk<=! U  
<a+eF}*2  
模拟与设置:工具简介与整体流程概览 Naf`hE9  
连接建模技术:衍射光束分束器 5&HT$"H :  
  
c7g.|R  
Ukx/jNyYv  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 7"n1it[RJ8  
c. TB8Ol  
otz_nF;E  
将传输函数转化为结构 >2lAy:B5  
QypiF*fSU  
u3M` 'YCb  
衍射光束分束器表面 <RoX|zJw  
V+=*2?1  
sm2p$3v  
衍射光束求解器 - TEA & FMM UN*dU  
@0vC v  
* >GIk`!wM  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 ]@/^_f>D  
TOco({/_/  
E+m]aYu"  
设计与评估结果 I|F~HUzA"  
• 相位函数设计 `rz`3:ZH  
• 结构设计 h/1nm U]  
• TEA 评估 m]0^  
• FMM 评估 Siz!/O!'  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) foFg((tS  
O^X[9vrW  
仅相位传输设计 V#gF*]q  
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结构设计 Sv~YFS :oy  
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b`h%W"|2L  
使用TEA进行性能评估 ~T>jBYI0  
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W(uP`M%][0  
使用FMM进行性能评估 VY+(,\ )U  
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进一步的分析(优化后,容差分析) 'a;ini  
;[TljcbS  
1z})mfsh  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 %rpR-}j  
!j!Z%]7  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 '2|1%NSW9  
!lQ#sL`  
H$~M`Y9I~  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 WF ?/GN  
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