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2025-07-22 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 (}jYi*B Rfuq(DwD6 *RpBKm&^7 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 gs?=yNL eq<giHJM 任务 PRo;NE • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 >^\}"dEvr • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 <XAW-m9SC E/[<} ./ /-_<RQ 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 RXZ}aX[h 连接建模技术:衍射光束分束器 %8N=4vTJ VUD ?iv7 T+9#& 通过配置助手和IFTA进行相位设计 .&Rj2d sh|@X\EZO `_*NFv1_ 将传输函数转化为结构 qDzd_E@aR Ln2dD> {2 `VB]4i}u 衍射光束分束器表面 p~h)@ <m7T`5+ beN(7jo 衍射光束求解器 - TEA & FMM a*fUMhIi ,m^@S K/OE;;<IA 光栅级数 & 可编程光栅分析器 AnUOv2 {8YNmxF# liuF;* 设计与评估结果: E$w2SQ • 相位函数设计 /N'|Vs,X • 结构设计 k;AV'r • TEA 评估 `!t+sX-n • FMM 评估 yhBf %m • 高度缩放检查(用于优化/容限) /%'>?8/ w&F/P]1 仅相位传输设计 8D[,z 7n .@(+.G X 9lh@`3 结构设计 E(l'\q'. qxR7;/@j ) Z6Owxqfht 使用TEA进行性能评估 6N^sUc0s $d[ xSwang < mb.F -8 使用FMM进行性能评估 $xWebz0 jZ;dY~fE j|N8"8" 进一步的分析(优化后,容差分析) 0d%p<c DV,rh83.ip 0."TSe83\ 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 6jGPmOM/ ~BSE8M+r y].vll8R 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 quvdm68 RH=Tu6i ;T6x$e 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 ?2#v`Z=L;
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