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infotek 2025-07-22 07:56

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 ,Aa|Bd]b  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 g,?\~8-c  
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任务 rF8 hr  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 g X/NtO %  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 fPE?hG<x  
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模拟与设置:工具简介与整体流程概览 46ChMTt  
连接建模技术:衍射光束分束器 0eA5zFU7  
  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 FE6C6dW{  
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将传输函数转化为结构 3:" &Z6t#  
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衍射光束分束器表面 q] ZSj J  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM 4 m $sJ  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 jNqVdP]d\  
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设计与评估结果 <|Iyt[s  
• 相位函数设计 TPqvp|~2  
• 结构设计 s?+fPOF  
• TEA 评估 !3?~#e{_  
• FMM 评估 ;r=?BbND?  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) TRCI\  
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仅相位传输设计 u m{e&5jk  
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结构设计 \3: L Nt  
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使用TEA进行性能评估 ~RCg.&[ou  
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使用FMM进行性能评估 tUrNp~ve,  
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进一步的分析(优化后,容差分析) `_ 0)kdu  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 0hb/`[Q  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 6VGo>b;  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 !&\meS{  
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