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2025-07-22 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 04JT@s"o dR[o|r I'InZ0J2 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 c@OP5L>{ pxplWP, 任务 RVF F6N^ • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 _*`q(dYcf • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 A{`]&K1u hqW$kw $u5.!{Wq? 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 'Y)/~\FI 连接建模技术:衍射光束分束器 8=4^Lm a4by^ yN:>!SQ 通过配置助手和IFTA进行相位设计 [%~NM/xu< l1RlYl5 0/Q5d,'Y[2 将传输函数转化为结构 wE2x:Ge: A- 0m8< _85E=
衍射光束分束器表面 3"tg+DncC zJ_My&~ gA+YtU{z 衍射光束求解器 - TEA & FMM Cyf]`* "m>};.lj Xz* tbW# 光栅级数 & 可编程光栅分析器 |"\lL9CT ca}S{" ~UW{)]_jox 设计与评估结果: Wa/geQE1< • 相位函数设计 6jtTT%>y • 结构设计 =n)#!i • TEA 评估 9OZ>y0)K~ • FMM 评估 Gx|Dql • 高度缩放检查(用于优化/容限) Z@nmjj i b,vL8* 仅相位传输设计 u[J7Y @`2ozi~lO Iq@IUFpc7~ 结构设计 d!!3"{' ,s81rJ- 9BurjG1k? 使用TEA进行性能评估 d-i&k(M g4T3?"xMB_ c0hdLl;5 使用FMM进行性能评估 =ZrjK=K #nDL 98 ayA$ 进一步的分析(优化后,容差分析) l58l EKJH_!% BDnBBbBrz 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 z22N7W=7 5I_hh?N4Z fl!1AKSn@N 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 roL]v\tr 6yi/YM {AtfK>D 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 @US '{hO1p
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