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infotek 2025-07-22 07:56

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 D-\WS^#  
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   I;H6E  
非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 :U)>um34e  
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任务 ?O(KmDH  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 #RAez:BI  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 "Y0:Y?Vz"  
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模拟与设置:工具简介与整体流程概览 #v!(uuq,  
连接建模技术:衍射光束分束器 ^2Sa_.  
  
[=M0%"  
v,t;!u,40  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 W:D'k^u  
0"q_c-_Bg  
62lG,y_L  
将传输函数转化为结构 0sq?;~U  
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衍射光束分束器表面 KWtLrZ(j  
[U+6Tj,  
n+Ofbiz@  
衍射光束求解器 - TEA & FMM l{oAqTN  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 *:t]|$;E\  
hnWo.5;$  
:M" NB+T  
设计与评估结果: Z-(#}(HD  
• 相位函数设计 XrR@cDNx{  
• 结构设计 mNkS!(L6  
• TEA 评估 mXZOkx{  
• FMM 评估 5Pmmt&#/Z  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) p\lS ) 9  
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仅相位传输设计 APxy %0Q  
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结构设计 c\GJfsVk  
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使用TEA进行性能评估 GE4d=;5  
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使用FMM进行性能评估 v4]7"7GuW  
WBTdQG Q6  
Jej P91  
进一步的分析(优化后,容差分析) @91Q=S  
GCx1lm  
n]&/?6}  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 C6Qnn@waYb  
MGn:Gj"d  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 C~o6]'+F_  
sW%U3,j  
;u;YfOr  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 oQJK}9QR  
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