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infotek 2025-07-22 07:56

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 Ka%u#};  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 )z zZYs&|  
{ }Q!./5  
任务 Cak `}J 2  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 <H03i"Z/S  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 us%dw&   
lR3`4bHA  
XRA RgWj  
模拟与设置:工具简介与整体流程概览 n]{sBI3  
连接建模技术:衍射光束分束器 olda't  
  
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^Y[.-MJt+  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 )nE=H,U?y  
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hilgl<UF  
将传输函数转化为结构 3msb"|DG  
h]W PWa)M  
}h{8i_R  
衍射光束分束器表面 E "9`  
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( $s%5|  
衍射光束求解器 - TEA & FMM 2E7vuFH4c  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 ,cj531.  
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设计与评估结果 p SMF1Oy  
• 相位函数设计 f0!i<9<  
• 结构设计 !g|)?XWc  
• TEA 评估 y(81| c#  
• FMM 评估 PqUjBP\  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) _TLB1T^/4  
vT1StOx<V  
仅相位传输设计 d-k`DJ!  
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结构设计 9Kl:3C  
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使用TEA进行性能评估 +q<G%PwbV  
ECW=865jL  
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使用FMM进行性能评估 >G#SfE$0  
NAg9EaWja{  
I j w{g%  
进一步的分析(优化后,容差分析) |!Ryl}Oi  
Q3h_4{w  
esh7*,7-z*  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 kMS&"/z  
Fi!BXngbd  
2wX4e0cOI4  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 r3;@  
Z(h.)$yH*=  
qp##>c31X  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 b@s6jNhVO^  
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