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infotek 2025-07-22 07:56

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 a:QDBS2Llv  
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   S[WG$  
非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 23 ~ Sjr  
UTXSeNP  
任务 (}}S9 K  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 qucq,Yw  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 [l,Ei?  
As>_J=8} 3  
D_vbSF)  
模拟与设置:工具简介与整体流程概览 h: 9Zt0,  
连接建模技术:衍射光束分束器 _3ZYtmn.  
  
CHz+814  
t.;LnrY  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 Dc,I7F|%  
Cg(Y&Gxf.  
)= =Jfn y  
将传输函数转化为结构 Mxv;k%l|E|  
soQ1X@"0  
S_Wrw z  
衍射光束分束器表面 `^)jLuyu  
4q k9NK2 U  
dUhY\v oQ  
衍射光束求解器 - TEA & FMM ;XBI{CW  
3eF -8Z(f  
#~ )IJ  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 y2^Y/)   
4GX-ma,  
W>j!Q^?  
设计与评估结果  A|<jX}  
• 相位函数设计 ?k(7 LX0j  
• 结构设计 vbyH<LPz5  
• TEA 评估 5?]hd*8   
• FMM 评估 75XJL;W #  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) Gz,i~XX  
7+\+DujE$  
仅相位传输设计 e,W%uH>X  
ewctkI$,5  
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结构设计 K/IWH[  
i3 @)W4{  
CxwoBuG=?  
使用TEA进行性能评估 [YlKR'_  
xMTKf+7  
0jy2H2  
使用FMM进行性能评估 v+46 QK|I&  
s4A43i'g!h  
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进一步的分析(优化后,容差分析) ObVGV  
xS4w5i2  
_aGOb;h  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 p>RNPrT  
,J,/."Y  
n.'8A(,r3  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 @XLy7_}  
~ $Tkn_w#  
60P#,o@G  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 $$|rrG  
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