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2025-07-22 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 NNutpA}s EPI mh |Uy hH^ 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 ;^}cZ AyNl,Xyc4 任务 :@_CQc*yB • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 H|F>BjXn5 • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 I=f1kr
pR @[zPN[z. lqqY5l6j 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 BEPDyy 连接建模技术:衍射光束分束器 ('
`) m :Iwe> ;} y+Q!4A 通过配置助手和IFTA进行相位设计 E_WiQ?p
"5XD+qi 5[I> l 将传输函数转化为结构 Jd1eOeS JEY%(UR8 sdS<-!
%u4 衍射光束分束器表面 z(1h ^.
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nr 衍射光束求解器 - TEA & FMM M P0ww$( ?Dd2k%o zCO5`%14 光栅级数 & 可编程光栅分析器 w'M0Rd] A!iH g__/t J[LGa:`` 设计与评估结果: -Rjn<bTIy • 相位函数设计 zRvYN • 结构设计 J9poqp@`MG • TEA 评估 9IMRWtZWT • FMM 评估 22tY%Y9 • 高度缩放检查(用于优化/容限) ;1{S"UY IA8kq =W 仅相位传输设计 z_JZx]*/ JEJ]'3 wZfR>|f 结构设计 &e,xN; |r0j>F Kn\Oj=4 使用TEA进行性能评估 rQisk8% PJkMn J|6aa 使用FMM进行性能评估 ml?+JbLg0 9Eg'=YJ '^Sa|WXq 进一步的分析(优化后,容差分析) y"@~5e477$ A
FfgGO ,8$;|#d 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 <YJU?G:@ P7u5Ykc* /jj}.X7yH 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 9QY)<K~a qY14LdC}~ CUxSmN2[ 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 7;|6g8=
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