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infotek 2025-07-22 07:56

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 (}jYi*B  
Rfuq(DwD6  
   *RpBKm&^7  
非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 gs?=yNL  
eq<giHJM  
任务 PRo;NE  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 >^\}"dEvr  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 <XAW-m9SC  
E/[<} ./  
/-_<RQ  
模拟与设置:工具简介与整体流程概览 RXZ}aX[h  
连接建模技术:衍射光束分束器 %8N=4vTJ  
  
VUD ?iv7  
T+9#&  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 .&R j2d  
sh|@X\EZO  
`_*NFv1_  
将传输函数转化为结构 qDzd_E@aR  
Ln2dD>{2  
`VB]4i}u  
衍射光束分束器表面 p~h)@  
 <m7T`5+  
beN(7jo  
衍射光束求解器 - TEA & FMM a*fUMhIi  
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K/OE;;<IA  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 AnUOv 2  
{8YNmxF#  
liuF;*  
设计与评估结果 E$w2S Q  
• 相位函数设计 /N'|Vs,X  
• 结构设计 k;AV  'r  
• TEA 评估 `!t+sX- n  
• FMM 评估 yhBf%m  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) /%'>?8/  
w&F/P]1  
仅相位传输设计 8D[,z 7n  
.@(+.G  
X9lh@`3  
结构设计 E(l'\q'.  
qxR7;/@j)  
Z6Owxqfht  
使用TEA进行性能评估 6N^sUc0s  
$d[xSwang  
< mb.F-8  
使用FMM进行性能评估 $xWebz0  
jZ;dY~fE  
j |N8"8"  
进一步的分析(优化后,容差分析) 0d%p<c  
DV,rh83.ip  
0."TSe83\  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 6jGPmOM/  
~BSE8M+r  
y].vll8R  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 quvdm68  
RH=Tu6i  
;T6x$e  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 ?2#v`Z=L;  
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