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2025-07-22 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 a:QDBS2Llv P(F+f`T S[WG$ 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 23~Sjr
UTXSeNP 任务 (}}S9 K • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 qucq,Yw • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 [l,Ei? As>_J=8} 3 D_vbSF) 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 h:9Zt0, 连接建模技术:衍射光束分束器 _3ZYtmn. CHz+814 t. ;LnrY 通过配置助手和IFTA进行相位设计 Dc,I7F|% Cg(Y&Gxf. )==Jfn y 将传输函数转化为结构 Mxv;k%l|E| soQ1X@"0 S_Wrw z 衍射光束分束器表面 `^)jLuyu
4qk9NK2 U dUhY\v oQ 衍射光束求解器 - TEA & FMM ;XBI{CW 3eF-8Z(f #~
)IJ 光栅级数 & 可编程光栅分析器 y2^Y/)
4GX-ma, W>j !Q^? 设计与评估结果: A|<jX} • 相位函数设计 ?k(7 LX0j • 结构设计 vbyH<LPz5 • TEA 评估 5?]hd*8 • FMM 评估 75XJL;W # • 高度缩放检查(用于优化/容限) Gz,i~XX 7+\+DujE$ 仅相位传输设计 e,W%uH>X ewctkI$,5
EK6:~ 结构设计 K/IWH[ i3@)W4{ CxwoBuG=? 使用TEA进行性能评估 [YlKR'_ xMTKf+7 0jy2H2 使用FMM进行性能评估 v+46QK|I& s4A43i'g!h {< )1q ; 进一步的分析(优化后,容差分析) ObVGV xS4w5i2 _aGOb;h 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 p>RNPrT ,J,/."Y n.'8A(,r3 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 @XLy7_} ~$Tkn_w# 60P#,o@G 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 $$|rr G
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