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2025-07-22 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 v[\GhVb )tx2lyY: 2t;3_C 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 "9#hk3*GqX 8I7JsCj 任务 m>^vr7 • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 zXW;W$7V4 • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 [
e#[j{ XG!^[ZDs +fN2%aC 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 lE8(BWzw 连接建模技术:衍射光束分束器 )Vo%}g?6! JYnyo$m/ &-L9ws 通过配置助手和IFTA进行相位设计
Q">wl GA"vJFQ @o6! 将传输函数转化为结构 Z~ K} @ R(s[JH(& ybv]wBpM: 衍射光束分束器表面 mGoNT `o0ISJeKp rX22%~1 衍射光束求解器 - TEA & FMM XEUS)X) \j4!dOGZ *G[` T%g 光栅级数 & 可编程光栅分析器 w{riXOjS4 L7"<a2J ]/|DCxQ 设计与评估结果: v8TNBsEL • 相位函数设计 wj8\eK)]L • 结构设计 @9lGU# • TEA 评估 (!a\23 • FMM 评估 ypNeTR$4 • 高度缩放检查(用于优化/容限) w+{{4<+cd p7L6~IN 仅相位传输设计 9t7 e~&R !Pu7%nV. -|P7e 结构设计 !iAZEOkRR ]UrlFiR $#_^uWN-M 使用TEA进行性能评估 [OFT!=.y & UMH~Q`" 'i;ofJ[.c 使用FMM进行性能评估 \}Kad\) w$`u_P|@E: *7qa]i^] 进一步的分析(优化后,容差分析) _k5$.f:Yj< u@aM8Na &VxK
AQMxN 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 jRp @-S#V #+^l3hMK NM1TFs2Y* 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 Lve$H(GHT 5;[0Q p+2uK|T9 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 yCv"(fNQ
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