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2025-07-22 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 (Ef2
w[' \W`} L m/hi~.D9 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 T]#,R|)d %rDmW?T 任务 frmqBC VJ: • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 5<O61Lgx • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 / }XsuH RUk<=!U <a+eF}*2 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 Naf`hE9 连接建模技术:衍射光束分束器 5&HT$"H: c7g.|R Ukx/jNyYv 通过配置助手和IFTA进行相位设计 7"n1it[RJ8 c. TB8Ol otz_nF;E 将传输函数转化为结构 >2lAy:B5 QypiF*fSU u3M`'YCb 衍射光束分束器表面 <RoX| zJw V+=*2?1 sm2p$3v 衍射光束求解器 - TEA & FMM UN *dU @0vC v *>GIk`!wM 光栅级数 & 可编程光栅分析器 ]@/^_f>D T Oco({/_/ E+m]aYu" 设计与评估结果: I|F~HUzA" • 相位函数设计 `rz`3:ZH • 结构设计 h/1nm U] • TEA 评估 m]0^ • FMM 评估 Siz!/O!' • 高度缩放检查(用于优化/容限) foFg((tS O^X[9vrW 仅相位传输设计 V#gF*]q "[Qb'9/Jc vbRrk($` 结构设计 Sv~YFS :oy 28T\@zi b`h%W"|2L 使用TEA进行性能评估 ~T>jBYI0 ]cF1c90% W(uP`M%][0 使用FMM进行性能评估 VY+(,\)U Gd30Be2gd 4V u'r? 进一步的分析(优化后,容差分析) 'a;ini ;[TljcbS 1z})mfsh 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 %rpR-}j !j!Z%]7 ;[{:'^n 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 '2|1%NSW9 !lQ#sL` H$~M`Y9I~ 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 WF ?/GN
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