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2025-07-22 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 5l-mW0,MK y)c5u%( zjL.Bhiud 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 `~UZU@/x RE$`YCs5 任务 y7i %W4 • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 i JxQB\x • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 )QagS.L{z Si9Z>MR L(>=BK* 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 +|Hioq*,t 连接建模技术:衍射光束分束器 g42)7
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Z`0(d 通过配置助手和IFTA进行相位设计 Z4$cyL'$P %owsBO+ /"H`.LD.? 将传输函数转化为结构 j/T>2|dA& p Rdk>Ph ./j,Z$| 衍射光束分束器表面 MF3b{|Z Rd7_~.Bo 7+TiyY]K 衍射光束求解器 - TEA & FMM qjAWeS/ _sE#)@p O|A_PyW 光栅级数 & 可编程光栅分析器 kc'pN&]r: l&VjUPz_ x6afI<dm 设计与评估结果: '$As<LOEd/ • 相位函数设计 qzw'zV • 结构设计 GSoZx0 • TEA 评估 H+}"q$ • FMM 评估 MC((M,3L • 高度缩放检查(用于优化/容限) vkS)E0s aKUS5jDu 仅相位传输设计 a9zw)A CSbI8 5F I]Tsz'T!9 结构设计 Ee1LO#^_6 v]%WH~> 0U/K7sZ 使用TEA进行性能评估 =&0wr6 <D&)OxEn\ &~UJf4b|A 使用FMM进行性能评估 1C Pjil*eb >3:?) RO0>I8c1c 进一步的分析(优化后,容差分析) p_ Fy>j M'`;{^< ;n=. {[, 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 :{'k@J"|a E|YdcS vhvdKD
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 {:c]|^w6 vvB(r! ?6c-7QV 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 2nb:)
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