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2025-07-22 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 FjiLc=RXXz 2)[81a zd#qBj]g 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 Fhxg^ J[LGa:`` 任务 U@f3V8CPy • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 .vQ2w • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 aM? 7'8/ MB^b)\X EF)kYz!@ 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 pPQ]#v 连接建模技术:衍射光束分束器 woR((K] #G z_JZx]*/ s%4)}w;z 通过配置助手和IFTA进行相位设计 [`ttNW(_ D
?,P\cp {j:{wW. 将传输函数转化为结构 j nI)n* n=rPFpRLF 0C3Yina9
* 衍射光束分束器表面 6mRvuJ% r)X?H .V/TVz!b 衍射光束求解器 - TEA & FMM d9Rj-e1x ;C{2*0"H| <YJU?G:@ 光栅级数 & 可编程光栅分析器 Zls4@/\Q X*S|aNaLWW mhlJzGr*q 设计与评估结果: >2VB.f • 相位函数设计 Q~-g tEv+& • 结构设计 >-)i_C2 • TEA 评估 uY
"88| • FMM 评估 zI7-xqZ • 高度缩放检查(用于优化/容限) ,3fw"P$ HCHC~FNd 仅相位传输设计 {'d?vm!r p(0!TCBs 3$HFHUMQsk 结构设计 .' .|s?s ?]3`WJOj ]4z?sk@ 使用TEA进行性能评估 )QI]b4[ Y/@4|9! 2@e<II2ha8 使用FMM进行性能评估 cHJ
&a`; +;cw<9%0 u:m]-' 进一步的分析(优化后,容差分析) JN3Oe5yB2@ =gfLl1wY[ S4?ssI 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 b,318R8+G 25YJH1x 1YM04*H 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 2!" N9Adt YToRG7X# y!aq}YS 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 ^$x^JM ]/
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