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2025-07-22 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 Ka%u#}; HRS^91aK ;~CAHn|Fe 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 )zzZYs&| { }Q!./5 任务 Cak`}J 2 • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 <H03i"Z/S • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 us%dw& lR3`4bHA XRARgWj 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 n] {sBI3 连接建模技术:衍射光束分束器 olda't %xv } ^Y[.-MJt+ 通过配置助手和IFTA进行相位设计 )nE=H,U?y }ADdKK- hilgl<UF 将传输函数转化为结构 3msb"|DG h]WPWa)M }h{8i_R 衍射光束分束器表面 E "9` Lmh4ezrdH ($s%5| 衍射光束求解器 - TEA & FMM 2E7vuFH4c dA4DW g}\G@7Q 光栅级数 & 可编程光栅分析器 ,cj531. ,,
S]_S fib#)KE 设计与评估结果: pSMF1Oy • 相位函数设计 f0!i<9< • 结构设计 !g|)?XWc • TEA 评估 y(81| c# • FMM 评估 P qUjBP\ • 高度缩放检查(用于优化/容限) _TLB1T^/4 vT1StOx<V 仅相位传输设计 d-k`DJ! +hiskV@ v ~|CWy 结构设计 9Kl:3C bEvlk\iql >`{B 使用TEA进行性能评估 +q<G%PwbV ECW=865jL ^\"@r%| 使用FMM进行性能评估 >G#SfE$0 NAg9EaWja{ Ij w{g% 进一步的分析(优化后,容差分析) |!Ryl}Oi Q3h_4{w esh7*,7-z* 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 kMS&"/z Fi!BXngbd 2wX4e0cOI4 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 r3;@ Z(h.)$yH*= qp##>c31X 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 b@s6jNhVO^
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