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infotek 2025-07-22 07:56

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 f^|r*@o  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 Lk2;\D>  
JmF:8Q3H  
任务 .f-s+J&ED  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 Nin7AOO  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 f,'^"Me$c  
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模拟与设置:工具简介与整体流程概览 khVfc  
连接建模技术:衍射光束分束器 )QW p[bV  
  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 ;( [^+_/  
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将传输函数转化为结构 mWTV)z57  
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衍射光束分束器表面 -+fW/Uo  
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TT^L) d  
衍射光束求解器 - TEA & FMM &0RKNpw g  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 M.``o1b  
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设计与评估结果 qo7jrY5G  
• 相位函数设计 4P?R "Lk  
• 结构设计 e]@ B61lc  
• TEA 评估 t/J|<Ooj?  
• FMM 评估 d@ef+-  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) |Ge!;v  
O|0V mm  
仅相位传输设计 bKQ_{cR  
V|)nU sU  
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结构设计 C}]143a/Q  
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使用TEA进行性能评估 tN0?  
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使用FMM进行性能评估 )j}v3@EM5  
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进一步的分析(优化后,容差分析) /X;! F>  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 GpXU&A'r  
zKFiCP K  
%<\tN^rP  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 &IP`j~ b  
>'v{o{k|C  
D 4<,YBvV  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 -SF50.[  
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