| infotek |
2025-07-22 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 f^|r*@o m8<.TCIQ ^*'fDP* 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 Lk2;\ D> JmF:8Q3H 任务 .f-s+J&ED • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 Nin7AOO • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 f,'^"Me$c se*!OiOt T;sF@? 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 khVfc 连接建模技术:衍射光束分束器 )QW
p[bV {y`n_ vVf%wei^# 通过配置助手和IFTA进行相位设计
;(
[^+_/ cCv@fks W.nr&yiQ 将传输函数转化为结构 mWTV)z57 UO4z~ z<OfSS_]R 衍射光束分束器表面 -+fW/Uo '.*`PN5mDq TT^L)d 衍射光束求解器 - TEA & FMM &0RKNpwg ypWhH qnJs,"sn 光栅级数 & 可编程光栅分析器 M.``o1b $fAZ^ @dc4v_9 设计与评估结果: qo7jrY5G • 相位函数设计 4P?R "Lk • 结构设计 e]@
B61lc • TEA 评估 t/J|<Ooj? • FMM 评估 d@ef+- • 高度缩放检查(用于优化/容限) |Ge!;v O |0V mm
仅相位传输设计 bKQ_{cR V|)nUsU #D^(dz* 结构设计 C}]143a/Q "10.,QK />O.U? 使用TEA进行性能评估 tN0? 8qwPk4 +pxtar 使用FMM进行性能评估 )j}v3@EM5 R'$1,ie z6Zd/mt~x 进一步的分析(优化后,容差分析) /X;!
F> \L"0Pmt[ mw*KLMo42 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 GpXU&A'r zKFiCP
K %<\tN^rP 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 &IP`j~b >'v{o{k|C D
4<,YBvV 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 -SF50.[
|
|