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infotek 2025-07-02 08:06

倾斜光栅的鲁棒性优化

摘要                                                                             \bw2u!  
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由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             II,8O  
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仿真任务                                                                             $~T4hv :  
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连接建模技术:倾斜光栅 t"oeQ*d%  
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可用的微结构建模技术: b4N[)%@  
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光栅阶数分析仪 ;;/{xvQ.1  
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参数变化分析仪                                                                            
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参数优化                                                                             Ab.(7GFK  
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                   KF:78C  
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优化结果-平均效率 =[7Av>  
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优化结果-对比度 gw<q.XL  
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