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infotek 2025-07-02 08:06

倾斜光栅的鲁棒性优化

摘要                                                                             >K&chg@Hv  
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U<r!G;^`  
由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             9KB}?~Nx4  
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仿真任务                                                                             +]( #!}oH  
   E^gN]Z"O  
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连接建模技术:倾斜光栅 '@ p464  
?Q$a@)x#  
                                                                    
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MBLDx sZ-  
可用的微结构建模技术: >y,. `ECn  
u.G aMl4 (  
I;1)a4Xc4R  
                                                                                 WMW=RgiW\  
光栅阶数分析仪 4;>HBCM4-  
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参数变化分析仪                                                                            
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   @ULWVS#t2  
                                                                             QN?EI: q=  
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参数优化                                                                             S{v]B_N[M  
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G,c2?^#n  
优化结果-平均效率 kwqY~@W  
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优化结果-对比度 nz'6^D7`r  
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