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infotek 2025-07-02 08:06

倾斜光栅的鲁棒性优化

摘要                                                                             y ("WnVI  
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由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             G;l7,1;MU:  
Af;Pl|Zh[  
仿真任务                                                                             J,yKO(}<C  
   ={O ~  
b# N"} -\^  
J:m/s9r  
连接建模技术:倾斜光栅 HY)xT$/J  
h=7q;-@7  
                                                                     \)6glAtN  
_6NUtU  
可用的微结构建模技术: N-M.O:p  
8wsU`40=Q  
a;HAuy`M x  
                                                                                 c* {6T}VZr  
光栅阶数分析仪 OyZR&,q  
=Z^5'h~  
DXLXGvcM  
N)X Tmh2v|  
参数变化分析仪                                                                             IL].!9  
   qT$k%(  
                                                                             1INX#qTZ  
jSY[Y:6md  
参数优化                                                                             o+a=  
}`"}eN @,  
                   N(&{~*YE  
n[3z_Q I  
优化结果-平均效率  )d2Z g  
ra$:ibLN  
                                                   +Q5 O$8i  
(C!p2f  
优化结果-对比度 C?z S}ob  
ic2 D$`M  
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