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infotek 2025-06-18 08:01

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 2V0R|YUt  
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LRI_s>7  
4EELaP|%  
近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 p 2i5/Ly  
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建模任务 V:+}]"yJ,  
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fvx0]of  
模拟&设置:单平台互操作性 W)"q9(T?%  
建模技术的单平台互操作性 =1,g#HS  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 eu4x{NmQ  
Du{]r[[C  
w9oiu$7),  
$M8'm1R9  
 平面波光源 `rcjZ^n  
 微透镜阵列 oT_,k}LIX  
 彩色滤光片(吸收介质) [sad}@R7  
 通过基底传播 3646.i[D  
 探测 ;L`'xFo>>  
2D!'7ZD  
连接建模技术:微透镜 UO&S6M]v7  
7~65@&P>  
x|Ei_hI-  
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q4Z \y  
连接建模技术:彩色滤光片 RsY<j& f  
-py.Y Z  
F3qi$3HM  
(;n|>l?*  
连接建模技术:可编程介质 87HVD Di  
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"[8](3\v  
W$3p,VTMmB  
连接建模技术:自由空间传播 /Ly%-py-$  
'`RCN k5l  
hcBfau;r  
/0r2v/0  
连接建模技术:堆栈 CEUR-LK0  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 X+*| nvq]  
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 微透镜阵列 & IDF9B  
 彩色滤光片(吸收介质) ;Y~;G7  
 通过基底传播 4Q]+tXes  
 探测 <y!BO  
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元件内场分析器:FMM UyJ5}fBJ  
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q<7Nz] Td  
R sujKh/  
模拟结果 3wr~P  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) 1LE8,Gm&  
N7jAPI@a\i  
PM_q"}-  
G? [#<W@+  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) O|OPdD  
r%o!P`  
`j<'*v zo  
L$jRg  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) MBa/-fD  
K_My4>~Il  
nVYh1@yLy  
(K2 p3M^  
3D仿真与结果比较 pZWp2hj{X  
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K|s+5>]W/[  
3D仿真与结果比较 =|jOio=s:  
m=n V$H   
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