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infotek 2025-06-18 08:01

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 i]{-KZC  
!7>~=n_,L.  
IQ] tcSQl  
+ t JEG:  
近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 ,7/F?!G!J  
05ZF>`g*  
建模任务 +M{A4nYY|1  
1 k\~%  
w|G4c^KH  
84f~.45  
模拟&设置:单平台互操作性 .kqH}{hf  
建模技术的单平台互操作性 9`FPV`/  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 j&|>Aa${  
Q~-MB]'  
*p.70,5,  
*>,#'C2  
 平面波光源 Z[GeU>?P  
 微透镜阵列 HxnWM\p  
 彩色滤光片(吸收介质) .Gcs/PN   
 通过基底传播 ',l}$]y5  
 探测 d8Sr,t+  
g5[r!XO  
连接建模技术:微透镜 9k*1_  
6!A+$"  
%4I13|<A`  
f2]O5rX p  
=C4!h'hz  
连接建模技术:彩色滤光片 _!C M  
[eLU}4v{  
9>!B .Z?!#  
2od 9Q=v~  
连接建模技术:可编程介质 d#cEAy  
m[$pj~<\  
7blo<|9  
iji2gWV}h  
连接建模技术:自由空间传播 (!:+q$#BK  
cz.,QIt_  
\eoJ6IRE\T  
4<<T#oW.:G  
连接建模技术:堆栈 v[!ZRwk4w3  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 A[8vD</}_  
3aERfIJyE  
SadffAvSA{  
BWev(SF{Ny  
 微透镜阵列 k3VRa|Y")  
 彩色滤光片(吸收介质) z$b'y;k  
 通过基底传播 T(q/$p&q  
 探测 iT,Ya-9"  
7 P/1'f3  
元件内场分析器:FMM w<$0n#5  
rZkl0Y;n\  
bU{lV<R,  
2E_d$nsJ  
模拟结果 <-s5 ;xwtS  
",>,t_J  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) MgrJ ;?L  
GI[XcK^*w  
+I[Hxf~  
_d*QA{  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) V:>ZSW4,^  
;pVnBi  
$Y=xu2u)  
=BVBCh  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) >A*BRX"4C  
rpM jDjW  
vfpK|=[7o  
h:~ 8WV|  
3D仿真与结果比较 \\v1 \  
=DLVWz/<  
y25L`b  
~ "stI   
3D仿真与结果比较 i+4!nf{K  
8%#pv}  
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