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infotek 2025-06-18 08:01

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 ^0}ma*gi~  
@%R4V[Lo.  
  r!?ga  
2CO/K_Q  
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 eMC^ORdY  
0bDc 4m  
建模任务 *uhQP47B  
1xW!j!A;  
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M`H#Qo5/  
模拟&设置：单平台互操作性 w}>%E6UY  
建模技术的单平台互操作性 !%,7*F(  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 bTc >-e,  
N3|:MMl  
Yt]`>C[|D  
M\C9^DX{  
 平面波光源 E]OexRJ^i  
 微透镜阵列 \Y)HSJR;e  
 彩色滤光片(吸收介质) e$Ds2%SaT  
 通过基底传播 _xaum  
 探测 'K?h6?#  
0\tac/  
连接建模技术：微透镜 9j>2C  
tb+gCs'D  
J[ Gpd  
#:gd9os :  
5qtk#FB  
连接建模技术：彩色滤光片 JY#vq'dl|  
l/'GbuECm  
0+FPAqX  
)4 4Y`v  
连接建模技术：可编程介质 L/tpT?$fi  
NZvgkci_(u  
 bkV<ZUW|;  
]<>cjk.ya  
连接建模技术：自由空间传播 "/Qz?1>l+  
)}@D\(/@  
?}cmES kX@  
"`49m7q1H  
连接建模技术：堆栈 JY,$B-l  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 M*zpl}  
`q*[fd1u.  
jq,M1  
OX7=g$S 1  
 微透镜阵列 ]->"4,}  
 彩色滤光片(吸收介质) *4U_MM#rX  
 通过基底传播 R5uG.Oj-2  
 探测 d?*] /ZiR  
X9m^i2tk  
元件内场分析器：FMM k: Pn.<  
="voJgvw  
,eyh%k*hz  
V+E8{|dYL  
模拟结果 R.^]{5  
4Hj)Av <O(  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) xnZnbgO+  
Tx;a2:6\[  
x6UXd~ L e  
qIi \[Ugh  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) HOP*QX8C%  
FCE y1^u  
 ~Gu$E qQ  
FH,]'  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) DSU8jnrL  
'=_(fa,  
 ojd0um6I{  
&i5@4,p y9  
3D仿真与结果比较 B6  0  
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3D仿真与结果比较 2l<2srEK  
N p"p*O  
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