首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
讯技光电&黉论教育
->
微透镜阵列CMOS传感器分析
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2025-06-18 08:01
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要
4/Bn9F
Y[yw8a
a|v}L,
r\-25F<e5
近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。
S=wJ{?gzAK
Mn=5yU
建模任务
A|esVUo<3^
?$T39U^
N3`W%ws`~
,t]qe
模拟&设置:单平台互操作性
pM i w9}
建模技术的单平台互操作性
F|DKp[<]8
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。
6^DsI
(cj3[qq
I:qfB2tL)O
9A4h?/
平面波光源
O(( kv|X4
微透镜阵列
joN}N }U
彩色滤光片(吸收介质)
~BVK6
通过基底传播
z]YP
探测
%YaUc{.%
@MV%&y*z.
连接建模技术:微透镜
7(<49bb.V
]/+qM)F
G D$jP?
<}E^r_NvD
p]zYj >e
连接建模技术:彩色滤光片
A!kNqJ2
Iy}r'#N
3PonF4
QS~;C&1Hl
连接建模技术:可编程介质
Ur626}
Ohm>^N;
r]{fjw(~
#&1Y!kbdd
连接建模技术:自由空间传播
[LonY49
RT45@
wjmZ`UMz
{}3kla{
连接建模技术:堆栈
3_atv'I
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。
xX'Uq_Jv
?;,Al`/^
16\U'<
1q!JpC^
微透镜阵列
\ooqa<_
彩色滤光片(吸收介质)
|zu>G9m
通过基底传播
xaerMr
探测
g)'tr '
rI}E2J
元件内场分析器:FMM
ED/-,>[f
%uGA+ \b
13Z6dhZu
ucj )t7O
模拟结果
e![Q1!r
71tMX[x
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟)
s8|#sHT
8m A6l0
EGwY|+3
b,a\`%m}
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟)
B>?Y("E
E|9LUPcb
%:o@IRTRU
T , =ga
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟)
>B~jPU
0iXqAa
L1Q QU
l1cBY{3QD
3D仿真与结果比较
n @L!{zY
A2&&iL=j/
`Ik}Xw
+$>ut r
3D仿真与结果比较
ID+'$u&
w=e,gNO
查看本帖完整版本: [--
微透镜阵列CMOS传感器分析
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2026
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计