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infotek 2025-06-18 08:01

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 $6"sRI6u  
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近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 =Rd`"]Mnfb  
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建模任务 c~0kZA6  
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7_~ A*LM  
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模拟&设置:单平台互操作性 C qd\n#d/~  
建模技术的单平台互操作性 D4%J!L<P  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 ;"dX]":  
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 平面波光源 %QP[/5vQ  
 微透镜阵列 "vGh/sXW  
 彩色滤光片(吸收介质) }`R,C~-|^  
 通过基底传播 la[ pA  
 探测 G,C`+1$*  
20Zxv!  
连接建模技术:微透镜 /HIyQW\Ki-  
MQ,K%_m8  
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EP:`l  
O_QDjxj^rZ  
连接建模技术:彩色滤光片 o3 0C\  
Q68~D.V%r  
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连接建模技术:可编程介质 h<9vm[.  
HZ3;2k  
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(%_X{R'  
连接建模技术:自由空间传播 8D.c."q  
i(~DhXz*T  
BU -;P  
[O3:?BNY  
连接建模技术:堆栈 ]zx%"SUM  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 ?/|Xie  
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 微透镜阵列 qU26i"GHp  
 彩色滤光片(吸收介质) 1!uBzO6/$  
 通过基底传播 L<FXtBJ  
 探测 l~Jd>9DwY  
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元件内场分析器:FMM dN5{W0_  
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>pu4G+M  
} =OE.cf@  
模拟结果 c64^u9  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) S]3CRJU3`  
(dlp5:lQz  
<7P[)X_  
s{b\\$Rb  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 9#9 UzKX#  
: UeK0  
}=X: F1S  
oC`F1!SfOO  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) `cp\UH@  
[9sEc  
[9 MH"\  
6Vnq|;W3Zv  
3D仿真与结果比较 @43psq1  
pGD@R=8  
W>#yXg9  
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3D仿真与结果比较 &tH?m;V  
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