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2025-06-18 08:01 |
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要 i]{-KZC !7>~=n_,L.
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JEG: 近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 ,7/F?!G!J 05ZF>`g* 建模任务 +M{A4nYY|1 1
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w|G4c^KH 84f~.45 模拟&设置:单平台互操作性 .kqH}{hf 建模技术的单平台互操作性 9`FPV`/ 在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 j&|>Aa${ Q~-M B]'
*p.70,5, *>,#'C2 平面波光源 Z[GeU>?P 微透镜阵列 HxnWM\ p 彩色滤光片(吸收介质) .Gcs/PN 通过基底传播 ',l}$]y5 探测 d8Sr,t+ g5[r!XO 连接建模技术:微透镜 9k*1_ 6!A+$" %4I13|<A`
f2]O5rXp =C4!h'hz 连接建模技术:彩色滤光片 _!C M [eLU}4v{
9>!B .Z?!# 2od9Q=v~ 连接建模技术:可编程介质 d#cEAy m[$pj~<\
7blo<|9 iji2gWV}h 连接建模技术:自由空间传播 (!:+q$#BK cz.,QIt_
\eoJ6IRE\T 4<<T#oW.:G 连接建模技术:堆栈 v[!ZRwk4w3 在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 A[8vD</}_ 3aERfIJyE
SadffAvSA{ BWev(SF{Ny 微透镜阵列 k3VRa|Y") 彩色滤光片(吸收介质) z$b'y;k 通过基底传播 T(q/$p&q 探测 iT,Ya-9" 7 P/1'f3 元件内场分析器:FMM w<$0n#5 rZkl0Y;n\
bU{lV<R, 2E_d$nsJ 模拟结果 <-s5
;xwtS " ,>,t_J 像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) MgrJ ;?L GI[XcK^*w
+I[Hxf ~ _d*QA{ 像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) V:>ZSW4,^ ;pVnBi
$Y=xu2u) =BVBCh 像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) >A*BRX"4C rpMjDjW
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