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infotek 2025-06-18 08:01

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 %-y%Q.;k ?  
h*_h M1*;  
OC|9~B1  
:/N/u5.]  
近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 IR(6  
4~Ptn/ g  
建模任务 biCX: m+_?  
qc}r.'p  
7Vf2Qx1_  
ceakTAB[  
模拟&设置:单平台互操作性 4WV'\R+m  
建模技术的单平台互操作性 sp4J%2b  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 VJ` c/EVIt  
~c>*3*  
SbNs#  
V6.xp{[  
 平面波光源 PiD%PBmUl  
 微透镜阵列 'iM;e K  
 彩色滤光片(吸收介质) <#U9ih 2  
 通过基底传播 wN[mU  
 探测 bWN%dn$$M  
j)K[A%(  
连接建模技术:微透镜 BlF]-dF\  
<MgR x9  
`6KTQk'  
4\)"Ih  
adG=L9 "n  
连接建模技术:彩色滤光片 *u$MqN  
j tdhdA  
cPh U q ET  
1Ih.?7}  
连接建模技术:可编程介质 74VN3m  
$vNz^!zgV  
oVPtA@  
d'~sy>  
连接建模技术:自由空间传播 wYtL1D(  
,f`435R  
t?NB#/#%x  
_qg)^M6  
连接建模技术:堆栈 vkdU6CZO  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 R u^v!l`!7  
[AzQP!gi  
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tETT\y|'  
 微透镜阵列 14TA( v]T  
 彩色滤光片(吸收介质) 2|vArRKt  
 通过基底传播 [h "*>J{  
 探测 5Xn+cw*  
BJI}gm2y  
元件内场分析器:FMM t^HQ=*c  
7XKPC+)1ya  
c\i`=>%b@  
+I$c+WfU  
模拟结果 b#U nE  
Ri]7=.QI`  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) z?$F2+f&  
=M"H~;f]  
0-H!\IB  
WVc3C-h,  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) "(y",!U@  
>C"f'!oM,j  
3F'{JP  
TRwlUC3hQ  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) M17oAVN7D  
%} WSw~X  
O5HK2Xg,C  
VeO$n*O  
3D仿真与结果比较 ]M AB  
<7HVkAa  
>AsD6]  
qbjBN z  
3D仿真与结果比较 {6%vmMbJ  
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