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infotek 2025-06-18 08:01

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 >oB ?  
I')x]edU  
[$H( CH`  
IjgBa-o/V  
近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 EyPy*_A  
P^n{Y~P=Q  
建模任务 ]q37Hj  
@OrXbG7&>#  
GdL4|xv  
@Zh8 QI+  
模拟&设置:单平台互操作性 m(h/:JZ\  
建模技术的单平台互操作性 ZS|Z98  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 5 u"nxT   
uvNnW}G4  
Je@p5(f  
Hv+:fr"  
 平面波光源 HMFl/%z  
 微透镜阵列 ?WMi S]Q\  
 彩色滤光片(吸收介质) '1qAZkz  
 通过基底传播  S/)  
 探测 |)*m[_1  
7Im}~3NJG  
连接建模技术:微透镜 FC~|&  
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U8Cw7u2  
)3+xsnv  
连接建模技术:彩色滤光片 ?BXP}]  
R20a(4 m  
?%_]rr9  
-aTg>Q|g&  
连接建模技术:可编程介质 `*|LI  
t Qp* '  
G >I.  
44g`=o@  
连接建模技术:自由空间传播 XtnIK  
aEV|>K=6Y'  
/5a$@%  
Ma n^\gkCi  
连接建模技术:堆栈 qT&S  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 -zkW\O[  
$@lq}FQ%  
v GulM<YY  
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 微透镜阵列 qQ2  
 彩色滤光片(吸收介质) 7r:nMPX  
 通过基底传播 QYFN:XZ  
 探测 +5N^TnBtBL  
S" I#>^  
元件内场分析器:FMM (UbR%A|v;  
'Y,+D`&i)  
tr#)iZ\  
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模拟结果 rPrEEWS0)  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) 6i*p +S?U"  
!nZI? z;  
,.1&Ff)S  
9;m#>a@Y  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) /It.>1~2@  
B h.6:9{  
>@q2FSMf  
kM6 EZ`mj  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) vQ9 xG))  
+c~O0U1  
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3P=Eb!qtdD  
3D仿真与结果比较 Wb*T   
& y 2GQJE  
HfZ (U5~  
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3D仿真与结果比较 : .UX[!^  
o} bj!h]N  
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