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infotek 2025-06-18 08:01

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 F **/T  
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}U qL2KXi4  
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 Og?P5&C"9D  
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建模任务 Za7!n{? 0  
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D{M& >.  
模拟&设置：单平台互操作性 `2n%Lo?_  
建模技术的单平台互操作性 Zz!yv(e)H  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 DiSU\?N2'  
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 平面波光源 nBzju?X)I  
 微透镜阵列 O[z-K K<  
 彩色滤光片(吸收介质) o(g}eP,g }  
 通过基底传播 CW?R7A/  
 探测 *yN#q>1  
lSBu,UQP  
连接建模技术：微透镜 O]G3l0  
(*Q8!"D^6  
O@-(fyG  
WTwura,  
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连接建模技术：彩色滤光片 7|X.E  
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'y|p)r"  
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连接建模技术：可编程介质 3mT6HGSKR  
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 4AYW'j C  
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连接建模技术：自由空间传播 `$ZBIe/u  
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i:x<Vi  
2 xt$w%  
连接建模技术：堆栈 }nMp.7b  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 SlD7 \X&~  
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Ev,b5KelD  
 微透镜阵列 &cT@MV5  
 彩色滤光片(吸收介质) no7Q%O9  
 通过基底传播 C@rIyBj1g  
 探测 Jf@~/!m}'  
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元件内场分析器：FMM $TFWum9wO  
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模拟结果 Sw~L M&A  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) 5`{u! QE  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) #>O+!IH   
nOq`Cwh9  
 EsjZ;D, c(  
n*A"}i`ix  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 2 t:CK  
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I Ab-O  
3D仿真与结果比较 _PGS"O?j  
]I(<hDuRp  
 KvtJ tql;  
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3D仿真与结果比较 %KW NY(m  
}/M`G]wT#  
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