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infotek 2025-06-18 08:01

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 PK4iuU`vh  
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I*`*Q$  
近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 Uv4`6>Ix  
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建模任务 ~fo6*g:f1  
8 P>#l.#  
xu'yVt9RC  
| a# f\  
模拟&设置:单平台互操作性 K/}rP[H  
建模技术的单平台互操作性 HX6Ma{vBk  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 aN,M64F  
PtTHPAKj  
ty DM'|p  
-k7X:!>QHC  
 平面波光源 =lVK IW  
 微透镜阵列 IEcf  
 彩色滤光片(吸收介质) +(+Itmx2&  
 通过基底传播 hsw9(D>jp  
 探测 Bk+{RN(w  
_IdRF5<4  
连接建模技术:微透镜 M_%B|S {  
%=BMZRn  
Ogp"u b8  
i}~SDY  
A<B=f<N3gV  
连接建模技术:彩色滤光片 "kA*Vc#  
UDL RCS8i  
:Pv*, qHE  
c-Pw]Ju  
连接建模技术:可编程介质 c?%(Dp E  
V$uk6#  
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b%Eei2Gm%  
连接建模技术:自由空间传播 &EpAg@9!  
2 6>ZW4Z  
=?-ye!w  
U5 r7j  
连接建模技术:堆栈 o^V(U~m]  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 s-S }i{Z!  
Rd>B0;4  
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 微透镜阵列 hbc uK&  
 彩色滤光片(吸收介质) 2"-S<zM  
 通过基底传播 FP Jd|  
 探测 LE%7DW(  
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元件内场分析器:FMM 3<=G?of  
>[1W:KQA  
mP(kcMT "  
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模拟结果 U bYEEY#  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) q}FVzahv  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) U-^[lWn[@4  
2+Wzf)tB  
ZY56\qcY  
X.TI>90{  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) =-o'gL  
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3D仿真与结果比较 &ciN@nJ|$z  
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3D仿真与结果比较 ]LZ`LL'#Y_  
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