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infotek 2025-06-18 08:01

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 +;#Y]xy:  
Lz:(6`S  
*T~Ve;3h;  
m3mp/g.>  
近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 ?)`L$Vr=  
=u+d_'P7-R  
建模任务 (Nx;0"5IX  
/Rg*~Ers *  
76Vl6cPu>  
0 0 M@  
模拟&设置:单平台互操作性 ~fT_8z  
建模技术的单平台互操作性 /ew Ukc8,  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 -eN\ !  
z&{5;A}Q@  
72oF,42y  
=9"W@n[>W  
 平面波光源 hED=u/ql[  
 微透镜阵列 AiK  
 彩色滤光片(吸收介质) 8'f4 Od ?  
 通过基底传播 R0L&*Bjm  
 探测 <oo  
pGK;1gVj  
连接建模技术:微透镜 9Iz%ht  
kn>$lTHQ  
86\S?=J-b  
:@!ic<p  
Nqrmp" ]  
连接建模技术:彩色滤光片 bIEhgiH  
5<ux6,E1{  
MHsc+gQiz  
QNxl/y\l0  
连接建模技术:可编程介质 Xa[?^P  
XLH+C ]pfr  
FDv+*sZ  
,I_^IitN  
连接建模技术:自由空间传播 !}r% u."  
DNj "SF(J  
%o:2^5\W  
I= .z+#Y  
连接建模技术:堆栈 Ko/ I#)  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 K%X^n>O7C  
* C6a?]  
CBD6bl|A  
S-'fS2  
 微透镜阵列 y(=#WlK }  
 彩色滤光片(吸收介质) _dJ{j   
 通过基底传播 mUz\ra;z  
 探测 KhW;RD  
nE^Qy=iE  
元件内场分析器:FMM O=dJi9;`#_  
{nvLPUL  
Sf,R^9#|  
BZXUwqEh  
模拟结果 U=o"32n+  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) Myq5b`z  
Gsc\/4Wx  
wj1{M.EF\  
p!<$vE  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 0`I-2M4F*Q  
QEu=-7@>  
h'$ 9C  
Xe^Cn R  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) d'|, [p  
]wWPXx[>/  
a<A+4uXyD  
]d]JXt?)i  
3D仿真与结果比较 + \{&2a?  
M!tXN&V]  
2"d!(J6}K  
k~|-gf FP  
3D仿真与结果比较 Izv+i*(dl  
bC3 F  
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