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infotek 2025-06-18 08:01

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 UvRa7[<y%%  
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近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 G+ PBV%gE[  
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建模任务 G!T)V2y  
0[TZ$<v"  
!OekN,6  
buX$O{43I  
模拟&设置:单平台互操作性 "2(lgxhj  
建模技术的单平台互操作性 RS!~5nk5  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 AJ`b- $Q  
lb5Y$ZC  
D`0II=  
dQ@ e+u5  
 平面波光源 &e@2zfl7  
 微透镜阵列 bVSa}&*kM  
 彩色滤光片(吸收介质) /=>z|?z3  
 通过基底传播 J/8aDr (+  
 探测 S*Un$ngAh  
t Krr5SRb  
连接建模技术:微透镜 ."l@aE=|  
K2>(C$Z  
B5*{85p(u  
FYR%>Em  
n?_!gqK  
连接建模技术:彩色滤光片 rcMV YSj0  
X+;Ivx  
\ F#mwl,>"  
>w+WG0Z K  
连接建模技术:可编程介质 Yv }G"-=  
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zM"OateA  
连接建模技术:自由空间传播 JDfkm+}uY  
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VlRN  
SdBv?`u|g  
连接建模技术:堆栈 cOcF VPQ  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 ;0O3b  
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 微透镜阵列 )a.Y$![  
 彩色滤光片(吸收介质) DvHcT] l>5  
 通过基底传播 Z0g3> iItM  
 探测 =i  }  
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元件内场分析器:FMM v~e@:7d i  
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模拟结果 I-oI,c%+  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) Wk"4mq  
2s>dlz  
-;&aU;k  
}GJIM|7^  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) Ls)y.u  
Q( .d!CQ>  
.^j #gE&B  
*gfx'$  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) j9n3  
kmPK |R  
G[n^SEY!  
X> :@`}bq  
3D仿真与结果比较 MO&QR-OY  
- FV$Sne  
YMOy 6C  
U1bhd}MoR  
3D仿真与结果比较 azR<Y_tw  
uN20sD}  
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