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infotek 2025-06-18 08:01

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 4/B n9F  
Y[yw8a  
a|v}L,  
r\-25F<e5  
近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 S=wJ{?gzAK  
Mn=5yU  
建模任务 A|esVUo<3^  
?$T39U^  
N3`W%ws`~  
,t]qe  
模拟&设置:单平台互操作性 pM i w9}  
建模技术的单平台互操作性 F|DKp[<]8  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 6^ DsI  
(cj3[qq  
I:qfB2tL)O  
9A4h?/  
 平面波光源 O(( kv|X4  
 微透镜阵列 joN}N}U  
 彩色滤光片(吸收介质) ~BVK6  
 通过基底传播 z]YP  
 探测 %YaUc{.%  
@M V%&y*z.  
连接建模技术:微透镜 7(<49bb.V  
]/+qM)F  
GD$jP?  
<}E^r_NvD  
p ]zYj >e  
连接建模技术:彩色滤光片 A!kNqJ2  
Iy}r'#N  
3PonF4  
QS~;C&1Hl  
连接建模技术:可编程介质 Ur626}  
Ohm>^N;  
r]{fjw(~  
#&1Y!kbdd  
连接建模技术:自由空间传播 [LonY49  
RT45@   
w jmZ`UMz  
{}3kla{  
连接建模技术:堆栈 3_atv'I  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 xX'Uq_ Jv  
?;,Al`/^  
16\U'<  
1q!JpC^  
 微透镜阵列 \ooqa<_  
 彩色滤光片(吸收介质) |zu>G9m  
 通过基底传播 xae rMr  
 探测 g)'tr '  
rI}E2J  
元件内场分析器:FMM ED/-,>[f  
%uGA+ \b  
13Z6dhZu  
ucj)t7O   
模拟结果 e![Q1!r  
71tMX[x  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) s8|#sHT  
8mA6l0  
EGwY|+3  
b,a\`%m}  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) B>?Y("E  
E|9LUPcb  
%:o@IRTRU  
T , =ga  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) >B~jPU  
0iX qAa  
L1QQU  
l1cBY{3QD  
3D仿真与结果比较 n@L!{zY  
A2&&iL=j/  
`Ik}Xw  
+$>ut r  
3D仿真与结果比较 ID+'$u &  
w=e,gNO  
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