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infotek 2025-06-18 08:01

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 O! t> @%)  
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近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 <h vVh9  
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建模任务 FFvF4]|L  
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HpQuro'Qh  
<q dM  
模拟&设置:单平台互操作性 e ; #"t  
建模技术的单平台互操作性 tu%!j}3s  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 zdh&,!] F6  
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WF!u2E+  
 平面波光源 S.Z2gFE&tu  
 微透镜阵列 ~$@~X*K~  
 彩色滤光片(吸收介质) u5LrZt]k  
 通过基底传播 Js706  
 探测 c8"9Lv  
>w}5\ 4j  
连接建模技术:微透镜 3<L>BakD  
lls-Nir%  
;hcOD4or  
o2J-&   
|;[%ZE"  
连接建模技术:彩色滤光片 Fhr5)Z  
XLeQxp=  
s>VpbJ3S  
OZ'=Xtbn  
连接建模技术:可编程介质 U11bQ4ak  
nJ]oApb/-  
S{sJX5R;  
[RqL0EP  
连接建模技术:自由空间传播 e=yQFzQT)  
c[h{C!d1  
jEkO #xI  
Z fQzA}QD  
连接建模技术:堆栈 >;9+4C<z0  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 pm.Zc'23  
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 微透镜阵列 63EwV p/|  
 彩色滤光片(吸收介质) { !;I4W%!  
 通过基底传播 =gYKAr^p5  
 探测 U<aT%^_  
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元件内场分析器:FMM Bj-80d,  
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模拟结果 ]V 4Fm{]  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) wTu_Am  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) \m\E*c ):  
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h !yu. v  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) dE`a1H%  
O :'ENoQ:&  
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3D仿真与结果比较  ./iC  
Vg>\@ C .s  
H;eGBVi  
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3D仿真与结果比较 sghQ!ux  
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