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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
,s? dAy5 内容简介 G>0)I Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 @g\;` #l 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 u _X}-U 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 M5u_2;3 o=mo/N4
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 6eo4#/+% 目录 %
$.vOFP9 Preface 1 >)y$mc6 内容简介 2 l0#4Fma 目录 i 5Hy3\_ + 1 引言 1 Y?t2,cm 2 光学薄膜基础 2 [`9^QEj 2.1 一般规则 2 +"Ub/[J{G1 2.2 正交入射规则 3 ~#t*pOC5BR 2.3 斜入射规则 6 xFX&9^Uk 2.4 精确计算 7 d<v~= 2.5 相干性 8 /f]/8b g> 2.6 参考文献 10 3W'FcE)|E 3 Essential Macleod的快速预览 10 4y>(RrVG 4 Essential Macleod的特点 32 idz9YpW 4.1 容量和局限性 33 Ge1duRGa 4.2 程序在哪里? 33 +9_ ,w bF 4.3 数据文件 35 Dt|fDw$]D 4.4 设计规则 35 L]*`4L 4.5 材料数据库和资料库 37 }Az'Zu4 = 4.5.1材料损失 38 wo]ks}9 4.5.1材料数据库和导入材料 39 E@mkm 4.5.2 材料库 41 %HVD^. V 4.5.3导出材料数据 43 sL8>GtVo 4.6 常用单位 43 2_.CX(kI 4.7 插值和外推法 46 e3pnk
=u 4.8 材料数据的平滑 50 #@q1Ko!NZ 4.9 更多光学常数模型 54 <K,[sy&Qy 4.10 文档的一般编辑规则 55 S2bexbp0o 4.11 撤销和重做 56 w_!%'9m> 4.12 设计文档 57 &~}@u[=ux 4.10.1 公式 58 ,0,Oe=d 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 w-M7opkq 4.10.3 沉积密度 59 v!KJ|c@m 4.10.4 平行和楔形介质 60 [!Ao,rt?Vg 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 18rp;
l{ 4.10.4 性能 61 yH+c#w 4.10.5 保存设计和性能 64 L,
#Byao 4.10.6 默认设计 64 %2,/jhHL 4.11 图表 64 P]-#wz=S 4.11.1 合并曲线图 67 EFD?di)s 4.11.2 自适应绘制 68 St_Sl:m$ 4.11.3 动态绘图 68 hu&n=6 4.11.4 3D绘图 69 Zg2]GJP 4.12 导入和导出 73 Z]7tjRvq) 4.12.1 剪贴板 73 r\B"?oqC 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 eq{
[?/ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 1Lc8fP$ 4.13 背景 77 m$)YYpX 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 l*qk1H"g 4.15 生成Rugate 84 3+j^E6@ 4.16 参考文献 91 /RMer
Xj 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 4':MI|/my_ 5.1 Jobs 92 9V.+U7\w 5.2 创建一个新Job(工作) 93 qA04Vc[2 5.3 输入材料 94 >6w@{p2B 5.4 设计数据文件夹 95 K('
9l& A 5.5 默认设计 95 X&/(x 6 细化和合成 97 2G H)iUmc 6.1 优化介绍 97 $Q=$?>4U 6.2 细化 (Refinement) 98 YN$`y1V 6.3 合成 (Synthesis) 100 o16d`}/< 6.4 目标和评价函数 101 *XHj)DC; 6.4.1 目标输入 102 $@68= 6.4.2 目标 103 TX&[;jsj 6.4.3 特殊的评价函数 104 BL7>dZOa 6.5 层锁定和连接 104 mqubXS;J|P 6.6 细化技术 104 NWeV>;lh9 6.6.1 单纯形 105 @PKAz&0 6.6.1.1 单纯形参数 106 Zi
ma^IL 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 @kS|Jz$iY 6.6.2.1 Optimac参数 108 4^0\dq 6.6.3 模拟退火算法 109 W%=Zdm
rv 6.6.3.1 模拟退火参数 109 *u58l(&`8 6.6.4 共轭梯度 111 =Z^un&' 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 y)0gJP
L^ 6.6.5 拟牛顿法 112 9GtLMpy 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ixg\[5.Q+ 6.6.6 针合成 113 HhzkMJR8 6.6.6.1 针合成参数 114 6V+V
zDo 6.6.7 差分进化 114 2m|Eoc&M_ 6.6.8非局部细化 115 { 576+:* 6.6.8.1非局部细化参数 115 JATS6-Lz` 6.7 我应该使用哪种技术? 116 iOKr9%9?Z 6.7.1 细化 116 :vw0r` 6.7.2 合成 117 u<x[5xH+ 6.8 参考文献 117 H^ESAs6 7 导纳图及其他工具 118 7?+5%7- 7.1 简介 118 er#8D6* 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 KsZ@kTs 7.2.1 四分之一波长规则 119 r4;^c} 7.2.2 导纳图 120 Cm9 9?K 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 <yis 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ?.]o_L_K 7.5 斜入射导纳图 141 nZ" {y 7.6 对称周期 141 xV"6d{+ 7.7 参考文献 142 }_Tt1iai* 8 典型的镀膜实例 143 d&O'r[S 8.1 单层抗反射薄膜 145 =PI^X\if88 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 B?$S~5
} 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Q]yV:7 8.4 W-膜层 148 JHnk%h0 8.5 V-膜层 149 <)r,CiS 8.6 V-膜层高折射基底 150 =ZxW8DK 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 8XLxT(YFIs 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 n ;Ql=4 8.9 四层抗反射薄膜 153 Np|:dP9#} 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 EGp~Vo- 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ho?|j"/7 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 p~,a= 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 #j(q/
T{x 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 c#]'#+aH 8.15十五层宽带抗反射膜 159 U>e3_td3, 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 9^6|ta0;0 8.17 1/4波长堆栈 162 )^*9oqQ 8.18 陷波滤波器 163 .6lY*LI 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ;t.SiA 8.20 褶皱 165 z^gDbXS 8.21 消偏振分光器1 169 (mD-FR@# 8.22 消偏振分光器2 171 ">0/>>Ry 8.23 消偏振立体分光器 172 ,mAB)at 8.24 消偏振截止滤光片 173 S!`4Bl 8.25 立体偏振分束器1 174 eXskwV+7 8.26 立方偏振分束器2 177 \'\N"g`Fr 8.27 相位延迟器 178 Y yQf 8.28 红外截止器 179 ^.pE`l%1} 8.29 21层长波带通滤波器 180 /K2.V@T 8.30 49层长波带通滤波器 181 PCV58n3 8.31 55层短波带通滤波器 182 P#vv+]/ 8.32 47 红外截止器 183 @p9e:[ 8.33 宽带通滤波器 184 Zztt)/6* 8.34 诱导透射滤波器 186 ECmHy@( 8.35 诱导透射滤波器2 188 a}[=_vb}K 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 lOowMlf@2 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ?3B t;<^ 8.35 增益平坦滤波器 193 #cSw"A 8.38 啁啾反射镜 1 196 zm;*:]S 8.39 啁啾反射镜2 198 ?<>,XyY 8.40 啁啾反射镜3 199 Egjk^:@ 8.41 带保护层的铝膜层 200 7gZVg@ 8.42 增加铝反射率膜 201 .,d$%lN 8.43 参考文献 202 teQaHe# 9 多层膜 204 T@d_t 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 XNkQk0i;g& 9.2 内部透过率 204 =
C$@DNEc 9.3 内部透射率数据 205 u~naVX\3b 9.4 实例 206 PpJE|[] 9.5 实例2 210 E,ZB;
9.6 圆锥和带宽计算 212 M&}oat* 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 WIH4Aw 10 光学薄膜的颜色 216 \gJapx( 10.1 导言 216 #+k.b_LS 10.2 色彩 216 @^XkU(m 10.3 主波长和纯度 220 }]n>A 10.4 色相和纯度 221 V{AH\IV- 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 AK*mcTr 10.6 色差 226 C-:SQf 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 @kCD. 10.8 颜色渲染指数 234 0^)8*O9$ 10.9 色差计算 235 >H=Q$gI 10.10 参考文献 236 "t%1@b*u 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ZB_16&2Ow 11.1 短脉冲 238 =?`y(k4a 11.2 群速度 239 c9ov;Bw6S 11.3 群速度色散 241 %x'bo>h@ 11.4 啁啾(chirped) 245 C9z~)aL}7 11.5 光学薄膜—相变 245 jV|$?
Rcl% 11.6 群延迟和延迟色散 246 t7*H8 11.7 色度色散 246 uz#eO|z@o 11.8 色散补偿 249 xj00eL 11.9 空间光线偏移 256 [-:<z?(n4 11.10 参考文献 258 iuU3*yyn 12 公差与误差 260 hk lO:,` 12.1 蒙特卡罗模型 260 BhE~k?$9 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 jt10gVC 12.2.1 误差工具 267 ~D`oP/6 12.2.2 灵敏度工具 271 G|6 |; 12.2.2.1 独立灵敏度 271 thZ@BrO# 12.2.2.2 灵敏度分布 275 qqom$H< 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 -Y jv&5 12.3 参考文献 276 Edn$0D68u_ 13 Runsheet 与Simulator 277 2
Zjb/ 13.1 原理介绍 277 Y9co?!J 5M 13.2 截止滤光片设计 277 RwE*0 T 14 光学常数提取 289 \dxW44sM 14.1 介绍 289 M;vlQ"Yl' 14.2 电介质薄膜 289 /nD0hb 14.3 n 和k 的提取工具 295 2cX"#."5p 14.4 基底的参数提取 302 M:1F@\< 14.5 金属的参数提取 306 sKG~<8M} 14.6 不正确的模型 306 I}G}+0geV 14.7 参考文献 311 &"j).Ogm4 15 反演工程 313 B,m$ur#$ 15.1 随机性和系统性 313 @<w9fzi 15.2 常见的系统性问题 314 XpAq=p0; 15.3 单层膜 314 XdIVMXLL\ 15.4 多层膜 314 IIt^e#s& 15.5 含义 319 84oW 15.6 反演工程实例 319 o YI=p3l 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 * /Ry6Yu 15.6.2 反演工程提取折射率 327 9bcyPN 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ,w/mk$v 16.1 光学性质的热致偏移 329 18w^7!F?~u 16.2 应力工具 335 Sc"4%L 16.3 均匀性误差 339 I.\f0I'. 16.3.1 圆锥工具 339 I }W-5% 16.3.2 波前问题 341
xV 1Z&l 16.4 参考文献 343 pv?17(w(\ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 g$-D?~(Z 17.1 引言 345 *ZSp9g"Z 17.2 操作数 345 /%q9hI 18 如何在Function中编写脚本 351 ~
GT\RAj[ 18.1 简介 351 ^(m6g &$( 18.2 什么是脚本? 351 <iprPk 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 F+y`4>x 18.4 基础 352 5@Lxbe(
q 18.4.1 Classes(类别) 352 ]E8<;t)# 18.4.2 对象 352 qpwh #^2 18.4.3 信息(Messages) 352 acju!,G 18.4.4 属性 352 !%\To(r[ 18.4.5 方法 353 Q3O .<9S 18.4.6 变量声明 353 =5=Vm[ 18.5 创建对象 354 hy&Hl 18.5.1 创建对象函数 355 $J0~2TV< 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ${?ex nb$ 18.5.3 丢弃对象 356 xjbyI_D 18.5.4 总结 356
2:5gMt 18.6 脚本中的表格 357 S{)n0/_ 18.6.1 方法1 357 nh&<fnh 18.6.2 方法2 357 Yg,WdVI&@ 18.7 2D Plots in Scripts 358 1o8"==n% 18.8 3D Plots in Scripts 359 g*c\'~f; 18.9 注释 360 F#bo4'&>@ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 @SG="L 18.11 一个更高级的脚本 362 %iS]+Sa.K 18.12 <esc>键 364 Y& | |