JCMsuite应用:孤立线栅
这是一个一维孤立线光栅的简单案例。设置与周期线光栅的案例相同,但代替周期性排列的线,现在使用单线。因此,二维计算域不再采用水平方向上的周期性边界条件,而是采用水平和垂直方向上的透明边界。 .;I29yk\XS r%=[},JQ lZ+!H=` 光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 #V_GOy1- }Uw#f@Wh
S偏振光照明的近场强度 YUkud2,j  P偏振光照明的近场强度 @LX6hm*} 后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。 UuJjO^t RA1yr+) 在实验中,远场通常由成像的光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。 >-cfZ9 {! %w"nDu2Gcv PostProcess { >|udWd^$3 OpticalImaging { \M+L3*W InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm" d#_m.j OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm" 8L{u}|{ OpticalSystem { i g71/'D SpotMagnification = 2.0 JdNF-64ky } FLr;`3 } `rFAZcEj% hKe30#:v 输出文件fourier_transform_image.jcm包含经过光学系统后的场的傅里叶变换。可以使用笛卡尔输出后处理来计算相干图像。下图显示了不同z方向切片的图像(图像平面沿z方向放置),用于S偏振照明。 l I-p_K &=q! Wdw~
线光栅通过光学系统后的相干图像(s偏振入射平面波) *i%quMv #G;X' BN  线光栅通过光学系统后的相干图像(p偏振入射平面波)
|