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infotek 2025-05-29 08:37

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 3&})gU&a  
                                    
14'\@xJMM  
F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 r&8aB85  
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建模任务 2|bt"y-5r  
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系统构建块-扫描源                                                
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How to Set Up a Scanning Source qj _0 td$  
                                                                               nRBS&&V  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 a9e0lW:=c  
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系统构建块-参数耦合 y\_+,G0  
   rEWJ3*Hb  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion SWzqCF  
                                                                              
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系统构建块-失真分析仪 @LOfqQ$FE  
                                                                      
!+3&%vQ)  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 7T[$BrO\  
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虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               01o<eZ,  
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通用探测器和探测器附加组件                                                    
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#,z-Pj?O!  
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Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: eQuw uT  
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Universal Detector 0qNk.1pv  
                                                                               r2#G|/=@  
总结-组件 RI8*'~ix]  
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系统观感   |v7Je?yh  
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通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 GAY?F  
82,^Pu  
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性能评估-点位偏差 2 %fcDEG/  
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性能评估-光斑直径测量                                                       Zocuc"j  
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<6-73LsHcP  
I<RARB-j  
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此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 l/(~Kf9eQG  
!B Pm{_C  
VirtualLab Fusion技术 0B8Wf/j?M  
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