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infotek 2025-05-29 08:37

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 \#]C !JQ  
                                    
(7N!Jvg9  
F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 ,(-V<>/*.|  
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建模任务 Zoc4@% n  
%6%mf>Guf  
系统构建块-扫描源                                                
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B'Jf&v  
How to Set Up a Scanning Source 6K )K%a,9  
                                                                               A'rd1"K  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 H3*] }=   
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系统构建块-参数耦合 $U. |  
   Wz #Cyjo  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion /t`,7y 3T  
                                                                              
@C!&lrf3  
系统构建块-失真分析仪 6Q\|8a  
                                                                      
_WvVF*Q"k  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 BgD3P.;[  
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虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               >e& L"  
1x=x,lcL  
通用探测器和探测器附加组件                                                    
PVH Or^  
NiWAJ]Z  
{aq)Y>o5:T  
$'>JG9M  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: XVqkw@Ia4!  
W6}>iB  
Universal Detector Su7N?X!  
                                                                               hSw=Oq82  
总结-组件 $[Z~BfSQ  
M_Ag *?2I  
d{Jk:@.1  
系统观感   ye=4<b_  
$/C1s"C@O  
通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 o+}k$i!6  
8U(o@1PT  
V4NQcy? H  
性能评估-点位偏差 O=V_ 7I5  
/+J nEFf  
                              
xSd&xwP  
性能评估-光斑直径测量                                                       z`t~N  
l*z% Jw  
]b; m~|9  
8ta @@h  
bY.VNA  
此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 wpYk`L r  
2[Lv_<i|  
VirtualLab Fusion技术 -$o0P'Vx  
6 h#U,G  
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