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infotek 2025-05-29 08:37

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 ))Q3;mI"  
                                    
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F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 cvSr><(  
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建模任务 luLt~A3H$  
=XAFW  
系统构建块-扫描源                                                
*F[;D7sZ~  
L{)*evBL  
How to Set Up a Scanning Source .zDm{_'  
                                                                               \ct7~!qM  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 eD<Kk 4){  
2g'o5B\ *  
系统构建块-参数耦合 nG B jxhl  
   M{)7C,'  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion #\DKU@|h  
                                                                              
v fnVN@ 5  
系统构建块-失真分析仪 #ArMX3^+w7  
                                                                      
Fh[Gq  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 EGD&/%aC  
[*i6?5}-  
虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               r*Iu6  
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通用探测器和探测器附加组件                                                    
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Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: O C qI  
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Universal Detector -hn~-Sy+  
                                                                               e/S^Rx4W  
总结-组件 s"jNS1B  
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系统观感   j4C{yk  
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通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 IJnh@?BC  
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'5:P,1tW U  
性能评估-点位偏差 4pkTOQq_tQ  
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性能评估-光斑直径测量                                                       ,sn/FT^; q  
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此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 kVG]zt2  
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VirtualLab Fusion技术 fxR}a,a  
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