摘要 W1<*9O P^=B6>e F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 AzF*4x tmoCy0qWz 建模任务 SmD#hE[ E2dS@!]V 系统构建块-扫描源 pfIK9>i d}fd^x/ How to Set Up a Scanning Source t(V2 9eq)WI/ 系统构建块-透镜系统组件 j^8HTa0Cy| N0}[&rE 8 系统构建块-参数耦合 h lc!}{$%8 CQ<