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infotek 2025-05-29 08:37

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 CH#k(sy  
                                    
WT\<.Py  
F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 a;AzY'R  
Rl~T$ Ey  
建模任务 ci9R.U)  
)Kd%\PP  
系统构建块-扫描源                                                
na+d;h*~y  
~@W*r5/  
How to Set Up a Scanning Source Wr?'$:  
                                                                               +-?/e-z")  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 <%?#AVU[  
k@mVxnC  
系统构建块-参数耦合 ~ 5"JzT  
   9ooY?J  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion iEyeX0nm  
                                                                              
 ;q>9W,jy  
系统构建块-失真分析仪 J @IS\9O  
                                                                      
"Zv~QwC  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 0E`1HP"b  
~a9W3b4j  
虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               *Mc7f?H  
 t+uE  
通用探测器和探测器附加组件                                                    
e GL1  
oXsL9,  
+j14Q$  
^Q<mV*~  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: ~nLN`H d  
/b#l^x:j  
Universal Detector q!~ -(&S  
                                                                               ~Ou1WnmO  
总结-组件… nAJdr*`a,5  
OWq'[T4  
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系统观感   }n:?7  
6?tlU>A2s  
通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 I?#85l{>  
& WOiik  
<6TT)t<h  
性能评估-点位偏差 Fh|#u:n  
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. 5y"38e  
性能评估-光斑直径测量                                                       C BYX]  
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G6P)C##ibn  
@oP_;G  
y;cUl, :v  
此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 8LkP)]4^sO  
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VirtualLab Fusion技术 NH<gU_s8{9  
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