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用于微结构晶片检测的光学系统
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infotek
2025-05-28 07:57
用于微结构晶片检测的光学系统
摘要
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在半导体工业中,晶片检测系统被用来检测晶片上的缺陷并找到它们的位置。为了确保微结构所需的图像分辨率,检测系统通常使用高NA物镜,并且工作在UV波长范围内。作为例子,我们建立了包括高NA聚焦和光与微结构相互作用的完整晶片检测系统的模型,并演示了成像过程。
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任务描述
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微结构晶圆
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