薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要 (Nx;0"5IX
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薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现

建模任务

光栅元件

通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到:
• FMM/RCWA
• Diffractive Lens Component

正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)

正弦光栅-传输相位形态     7 <Q5;J&;
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正弦光栅-传输相位形态

正弦光栅-衍射效率 ,$ ^C4I
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正弦光栅-效率vs. 周期



正弦光栅—选定周期的相位形态   @;H,gEH^



闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) =pk)3<GwF
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闪耀光栅-传输相位形态

闪耀光栅-衍射效率


闪耀光栅-效率vs.周期


闪耀光栅-选定周期相位形态


VirtualLab Fusion技术   5 XA=G
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