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倾斜光栅的参数优化及公差分析
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infotek
2025-05-22 08:04
倾斜光栅的参数优化及公差分析
摘要
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L|J~9FM
对于背光系统、光内连器和近眼显示器等许多应用来说,将光高效地耦合到引导结构中是一个重要的问题。对于这种应用,倾斜光栅以能够高效地耦合单色光而闻名。在本例中,提出了利用严格傅里叶模态方法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅的优化方法。优化后的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了其对光栅的倾角偏差和圆角边缘的影响。
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