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去下载《紫外激光切割Si片的实验研究》
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不是大人物
2007-06-15 11:27
去下载《紫外激光切割Si片的实验研究》
紫外激光切割Si片的实验研究,楼祺洪 章琳 叶震寰 董景星 魏运荣
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中国科学院上海光学精密机械研究所
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摘要:报道了用193nm准分子激光切割硅片的实验结果。采用柱透镜光学系统及“热劈裂法”获得小于15μm的切缝及小于5μm的切面不平整度。
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关键词:紫外激光;激光切割;硅片
Myoptics
2007-06-17 15:42
多谢啦,不错的论文。
6172007
2007-06-17 17:06
谢谢啦,下了。
518918
2007-06-17 23:50
收下了,多谢。
wayguo
2009-08-05 14:26
多谢啦,不错的论文。
111
2009-08-13 13:46
收下了,多谢。
xieyifeng
2010-05-04 15:45
fghfghfhfghfh
lw890720
2010-07-02 14:10
多谢楼主
khwonthy
2010-07-18 10:24
谢谢楼主。想学习一下。
唐亮
2010-07-20 20:20
多谢楼主
jerrywang
2010-09-09 16:53
duo xie le
chis
2010-09-16 18:52
谢谢!
martin605
2010-09-19 14:19
谢谢楼主分享--下载看看!!!
wildcat
2010-10-11 13:03
Interesting article
dahai
2010-10-11 13:47
感谢楼主!
wy6688
2010-12-16 11:05
好东西
朱艳玲
2011-06-28 11:18
我也想要
zhckz949
2012-04-16 13:02
好东西哇
liu89060
2012-04-27 22:19
看看先~ 先下载
嗱嘚起放嘚吓
2012-04-28 14:47
好东西
daipengcq
2012-04-30 19:32
我正在看。
titanlizard
2013-08-14 09:43
支持一个·············
blue_maple
2013-08-22 16:47
看下先~
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