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712sasa 2007-06-09 09:49

在不锈钢上度膜,在考虑干涉光谱时怎么办??

请教各位大师: !z MDP/V  
  我在表面光滑的不锈钢上度了氧化铝膜, 想采用反射干涉光谱法测厚.在这一过程中,不锈钢的折射率怎么考虑?? [Tb\woU  
   还有,怎么考虑薄膜的消光系数,如TiN膜 {"m0)G,G  
flyinlove79 2007-06-11 23:09
这些参数都需要用仪器测定的,简单的考虑对高精度测量是没有好处
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