| qjs69 |
2009-04-16 19:38 |
光刻光学码盘、码尺、分划板、标尺、光栅、镀盘、鉴别率板等 ?VHuD;aPs NKh {iSLm
本公司美国光刻图形发生器利用光刻正胶或负胶，在感光板上制作用于加工集成电路的高精度、高品质掩膜版，也可根据需求制作优质的光学码盘、码尺、分划板、标尺、光栅、镀盘、鉴别率板等精密光学零件的母板和任意图形。 F8DF=jFf9( /'_ RI
光刻机性能参数： !! C ~#T swgBPJ"?
可加工最小线宽： 直接光刻 2.5 微米；重复步进 1 微米 OW/!};a )GKgK;=~
最大加工范围： 152毫米 × 220毫米 1, FA&% >o= p5#{
定位精度： 0.38微米 uZVZu[ Z|GkM 5QH:
最小可控制增量： 0.1微米 q9^^NR\|b j7 3@Yi%
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qjs69@126.com 13057610151-钱先生
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