請問如何解決濺鍍時針孔問題

我們公司是做mirror的，可是鍍完後針孔非常多(濺鍍機為直立式)，大小在0.3~0.4mm，實在是很難解決，靶材距離基板150mm，膜層第一層有打底，我想問的是：
1.靶材和基板距離對針孔產生會有影響嗎？
2.磁場分佈不均勻會有影響嗎？
3.基板材質會有影響嗎？
4.不同底層會有影響嗎？
5.機台內部環境(粉塵)會有影響嗎？

請各位能幫我解決這些疑惑？現在客人都要求針孔要<0.1mm，真得很難做，謝謝

cswmsc	2007-05-20 11:21
你首先得判断针孔的来源：是基板清洗问题？真空室粉尘问题？靶材问题？然后才能对症下药。

sorry6741	2007-05-20 14:57
目前實在是很難判斷何處產生，所以才會請教各位看官，你們會有針孔的問題嗎？

flyinlove79	2007-05-23 16:33
镀金属反射膜，很容易出现針孔的。2楼的说的对，必须先找出问题的起因。

荷塘月色	2007-07-02 22:32
你们的产品的针孔确实是够大的了。首先得判断针孔的规则：是很圆型？还是不规则型？如是圆型，是油水造成的；如是不规则型，则是尘点吸附造成的。与过程控制有关。与上述1、2项内容无关。

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