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| sorry6741 | 2007-05-17 17:18 |  
| 請問如何解決濺鍍時針孔問題
我們公司是做mirror的,可是鍍完後針孔非常多(濺鍍機為直立式),大小在0.3~0.4mm,實在是很難解決,靶材距離基板150mm,膜層第一層有打底,我想問的是: m0edkt-x 1.靶材和基板距離對針孔產生會有影響嗎? FFkG,XH
 2.磁場分佈不均勻會有影響嗎? >}I}9y+
 3.基板材質會有影響嗎? 2ReulL8j
 4.不同底層會有影響嗎? kj8zWG4KH
 5.機台內部環境(粉塵)會有影響嗎? *p-Fn$7\n
 [X
I5Bu ~
 請各位能幫我解決這些疑惑?現在客人都要求針孔要<0.1mm,真得很難做,謝謝
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