F-Theta扫描镜头的性能评估

摘要 [>mH
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F-Theta 透镜通常用于Galvo类扫描仪的激光材料加工系统。对于这样的镜头，聚焦点沿目标平面的位移与镜头焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，没有完美的 F-Theta 系统，因此在任何给定的系统中都会出现与理想行为的偏差。借助快速物理光学建模和设计软件 VirtualLab Fusion 中的扫描源，我们通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差来分析给定 F-Theta 透镜的性能。

任务描述 LU;zpXg\
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系统构建模块 - 扫描光源 %\-E R!b
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系统构建模块 – 镜头系统组件 4Cu\|"5)
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VirtualLab Fusion技术系统构建块——参数耦合

系统构建模块——畸变分析器 #8M?y*<I
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总结-组件…

系统印象 'WhJ}Uo\
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性能评估 – 光斑位置偏差 &*"*b\
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性能评估 - 光斑直径测量 g(tVghHxt$
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VirtualLab Fusion技术 V'{\g|)
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