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infotek 2025-04-07 08:10

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 Tu?+pz`h  
_rR+u56y-  
4h@jJm  
q?nXhUD  
近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 Q&opnvN  
1y2D]h/'  
建模任务 _[<R<&jG  
t>)iC)^u  
+?w 7Nm`  
&BY%<h0c  
模拟&设置:单平台互操作性 }/nbv;)  
建模技术的单平台互操作性 X*KQWs.  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 w4Qqo(  
v~H1Il_+  
%[u6<  
zH0%; o}  
 平面波光源 ug'I:#@2  
 微透镜阵列 A[ 9 @:z  
 彩色滤光片(吸收介质) n#uH^@#0  
 通过基底传播 n (7m  
 探测 HgvgO\`]  
Wb+^Ue  
连接建模技术:微透镜 l"5$6h  
"w9LQ=mW  
MUhC6s\F  
\_Nr7sc\  
11glFe  
连接建模技术:彩色滤光片  9f+|m9~2  
,24NMv7  
CoDu|M%  
*;"N kCf  
连接建模技术:可编程介质 'Y IFHn$!  
T]Gxf"mK  
x%23oPM  
]sjYxe  
连接建模技术:自由空间传播 (# Z2  
]W7(}~m  
bj\v0NKN4  
 7?-eR-  
连接建模技术:堆栈 f#_XR  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 (Z"QHfO'  
R $HI JM  
?v-IN  
L+LxS|S+M  
 微透镜阵列 DQ :w9  
 彩色滤光片(吸收介质) S+3'C  
 通过基底传播 z~Ph=1O>p  
 探测 mr6/d1af_  
0,)B~|+  
元件内场分析器:FMM ML'4 2z Y  
zWoPa,  
L&=j O0_  
R$' 4 d  
模拟结果 -ZFeE[Z  
Pk9s~}X  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ePdM9%  
E{kh)-  
j!q5Bc?  
#qXE[%  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) &dF$:$'s  
A`Q'I$fj  
%ANo^~8  
i/9QOw~  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) Ug_5INK  
^'.=&@i-  
^prseO?A  
bq[j4xH0X  
3D仿真与结果比较 4J0{$Xuu 0  
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)k01K,%#)  
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3D仿真与结果比较 :VP4|H#SP  
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