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infotek 2025-04-07 08:10

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 ^W&qTSjh  
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近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 ;}iV`)S  
@WmEcX|  
建模任务 I{e[Y_  
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Q{s9{  
z}'-gv\,  
模拟&设置:单平台互操作性 op\'T;xIu  
建模技术的单平台互操作性 `eD70h`XK  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 *] H8X=[x  
#le1 ^ <w7  
S}@J4}*u["  
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 平面波光源 p_^Jr*Mv  
 微透镜阵列 8`QbUQ6  
 彩色滤光片(吸收介质) g4Y1*`}2f  
 通过基底传播 P2U^%_~  
 探测 %25GplMT  
)Z.v fc  
连接建模技术:微透镜 >bwB+-lyL  
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0Nvk|uI V[  
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连接建模技术:彩色滤光片 Aoi) 11>  
NNOemTh  
G1RUu-~+  
v[++"=< o8  
连接建模技术:可编程介质 2.,4b-^  
F.]D\"0`  
cdBD.sg  
$N;Nvp2  
连接建模技术:自由空间传播 /AT2<w  
VLdQXNg9W"  
50< QF  
uWtj?Q+M|  
连接建模技术:堆栈 (_9u<  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 `RF0%Vm~t  
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q(Q$lRj/I-  
 微透镜阵列 AmyZ9r#{  
 彩色滤光片(吸收介质) ]!um}8!}  
 通过基底传播  z(Y zK  
 探测 O`M 6 =\  
I_dO*k%l  
元件内场分析器:FMM 43'!<[?x  
j[ fE^&  
k1.h|&JJN  
ij=_h_nA  
模拟结果 mqt$'_M  
tg R4C#a   
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) c :d.mkF\  
s"'ns  
!l(O$T9 T  
 @mD$Z09~  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) }zO>y%eI  
f>!H<4 ]  
85}S8\_u  
hy]8t1894  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) es6]c%o:t^  
{%&!x;%  
WA?We7m$  
CVAX?c{   
3D仿真与结果比较 BzXTHFMSy  
p0|PVn.^h  
kgv29j?k;  
l^cz&k=+  
3D仿真与结果比较 RSTA!?K/.  
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