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infotek 2025-04-07 08:10

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 rJT^H5!o"  
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0w \zLU  
,]ma+(|  
近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 hz;G$cuEE  
J6s`'gFns  
建模任务 \FbvHr,  
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q77;ZPfs8  
Utj&]RELK  
模拟&设置:单平台互操作性 [#<-ZC#T*  
建模技术的单平台互操作性 ?wiC Q6*$  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 0[NZ>7wqMZ  
'RQ+g}|Ba!  
1#V_Z^OL  
G~^r)fm_  
 平面波光源 e#L8X {f  
 微透镜阵列 q#Z@+(^  
 彩色滤光片(吸收介质) !N\@'F!  
 通过基底传播 7 S#J>*  
 探测 *v jmy/3  
)BZ.Sv  
连接建模技术:微透镜 %Q__!D[  
=w_Ype`  
JIEK*ui  
=r?hg GWe  
UN;H+gNnN  
连接建模技术:彩色滤光片 (Y.k8";)`  
(^8Y|:Tz  
F 5bj=mI  
ITE{@1  
连接建模技术:可编程介质 *KZYv=s,u  
?yrX)3hyH  
EnKR%Ctw  
iW]j9}t  
连接建模技术:自由空间传播 \+oQd=K@  
 acajHs  
="1Ind@w!  
zsEc(  
连接建模技术:堆栈 E<{ R.r  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 APn|\  
!1jBC.G1  
Q Uwd [  
vjbASFF0=  
 微透镜阵列 lLX4Gq1  
 彩色滤光片(吸收介质) O@T9x$  
 通过基底传播 GvtG(u~  
 探测 YFLZ%(  
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元件内场分析器:FMM 7Kr*P<-G  
j"t(0 m  
|{z:IQLv  
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模拟结果 uanhr)Ys  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) a=|K%ii+Y  
L\6M^r >  
wjU9ZGM  
7cuE7"  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) m<<+  
JU4<|5H  
e[{0)y>=  
h/QXPdV  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) ^rB8? kt  
_>o:R$ %}  
-vAC"8)S  
*^pR%E .  
3D仿真与结果比较 U45e2~1!O  
frm >4)9+  
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3D仿真与结果比较 Ij7p' a  
*[Imn\hu  
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