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infotek 2025-04-07 08:10

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 DWcEl:  
tk'3Q1L  
Tg/r V5@ka  
o3>D~9  
近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 {y==8fCJ  
-mqTlXM  
建模任务  y jY}o  
r+;AEN48  
X1\ao[t<;c  
j8{,u6w)-  
模拟&设置:单平台互操作性 z)&GF$*  
建模技术的单平台互操作性 Wup%.yT~Ds  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 Ub<^;Du5  
~6Df~uN  
H&=3rkX  
?\Lf=[  
 平面波光源 Ol1P  
 微透镜阵列 J5*(PxDF  
 彩色滤光片(吸收介质) YOY{f:ew  
 通过基底传播 pQOT\- bD  
 探测 \>(S?)6  
zqAp7:  
连接建模技术:微透镜 L*Q#!_K0P  
e*jfxQ=qG  
!UW{xHu  
_chX {_Hu-  
4z^5|$?_ta  
连接建模技术:彩色滤光片 p_l.a  
rc)vVv  
\[;Qqn0  
C9}m-N  
连接建模技术:可编程介质 !Zma\Ip  
Z<n%~z^  
+ hKH\]  
8i'EO6  
连接建模技术:自由空间传播 rH5'+x K  
PR*qyELu  
SoJ'y6  
ZsepTtY  
连接建模技术:堆栈 + q@g  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 R.B3  
?^W`7HF%0  
\' ;zD-MX  
osW"b"_f  
 微透镜阵列 xyc`p[n &  
 彩色滤光片(吸收介质) o? {rPFR  
 通过基底传播 3QO*1P@q  
 探测 i>n)T  
QR]61v:`  
元件内场分析器:FMM ~q05xy8  
b~<Tgo_/jf  
? {vY3~  
8.R~Ys*  
模拟结果 +^v]d_~w_  
v^QUYsar  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) b\H !\A  
(jB_uMuS  
#Mmr{4m  
lL{1wCsl  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) VUE6M\&z>  
T~(AXwaJ  
u*i[A\Y  
4c/.#?  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) *{e?%!Q  
<>  |/U`  
U>jLh57  
It8m]FN  
3D仿真与结果比较 o\7q!  
|<Gq^3 2  
ra*(.<&  
Kx@;LRY#  
3D仿真与结果比较 7o5~J)qIC  
yJ!x`RD),w  
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