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infotek 2025-04-07 08:10

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 6dQ-HI*Y#  
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rE7G{WII  
O *C;Vqt  
近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 xa'*P=<)C'  
JBj]najN  
建模任务 _{ue8kGt  
Mc lkEfn  
!"e5h`/ADM  
Ng&%o  
模拟&设置:单平台互操作性 AD> e?u  
建模技术的单平台互操作性 TvoyZW\?w  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 &$BjV{,/zc  
!vi> U|rh  
`?H]h"{7Q  
te`$%NRl  
 平面波光源 J`Q>3] wL  
 微透镜阵列 (y'hyJo  
 彩色滤光片(吸收介质) K`eCDvlH  
 通过基底传播 MR7}s4o  
 探测 n)/z0n!\  
n6=By|jRh  
连接建模技术:微透镜 1q\\5A<V  
Jumgb  
wSL}`CgU  
C.:<-xo  
t^-d/yKt0w  
连接建模技术:彩色滤光片 ;<Sd~M4f  
Ufj`euY  
1.JK3 3  
;1W6G=m  
连接建模技术:可编程介质  'c&Ed  
lgAoJ[  
~G p [_ %K  
B4/>H|  
连接建模技术:自由空间传播 *"2+B&Y  
Tb}4wLu  
>{ ]%F*p4  
^#-l q)  
连接建模技术:堆栈 o 11jca|  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 BR_1MG'{)$  
r r %V.r;2  
&AMl:@p9  
LP^$AAy  
 微透镜阵列 K g*Q  
 彩色滤光片(吸收介质) )}R0Y=e  
 通过基底传播 je-!4r,  
 探测 %Xd[(Q)  
Y Uc+0  
元件内场分析器:FMM ,pfG  
V-P#1Kkh  
q_8+HEvo  
uc{Ihw  
模拟结果 7"D", 1h  
BVQqY$>  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) 3NqB <J  
yzn%<H~  
w "F 9l  
5I;&mW`1,`  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) s[*rzoA  
ztY}5A2`  
!,uE]gwLw  
2qNt,;DQ  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) *R,5h2;  
h*a(_11  
C& f= ywi0  
Wi<m{.%\E  
3D仿真与结果比较 ]c*4J\s  
FUzzB94a  
zk+9'r`-D  
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3D仿真与结果比较 Q*cf(  
2.y-48Nz  
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