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infotek 2025-04-07 08:10

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 m! _*Q  
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近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 QV9 z81[  
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建模任务 tLo_lLn*~%  
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1 JB~G7  
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模拟&设置:单平台互操作性 L1YiXJ,T,  
建模技术的单平台互操作性 klSAY  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 FgTWym_  
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 平面波光源 C}Ucyzfr,p  
 微透镜阵列 XG}9) fT  
 彩色滤光片(吸收介质) vnD `+y  
 通过基底传播 RG y+W-  
 探测 :FX|9h  
p~f=0K  
连接建模技术:微透镜 -8m3L  
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连接建模技术:彩色滤光片 $ uqB.f$  
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连接建模技术:可编程介质 ,'&H`h54  
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w'7=CzfYn  
OmLe+,7'  
连接建模技术:自由空间传播 8ib%CYR  
V2LvE.Kj  
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qA5 Ug  
连接建模技术:堆栈 ciGJtD&P  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 ,v_NrX=f?  
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 微透镜阵列 |(3"_  
 彩色滤光片(吸收介质) 5[Uv%A?H#_  
 通过基底传播 yoG*c%3V?  
 探测 BV=~ !tsl  
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元件内场分析器:FMM '^%kTNn  
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模拟结果 ~Xz?H=}U+  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) AL;4-(KH  
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Mh~E ]8b  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) y_r(06"z1  
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bXk(wXX  
.zv BV_I  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 4d\V=_);r  
N5.B"l  
uR6 `@F  
Vh N6 oI  
3D仿真与结果比较 ZdgzPs"  
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u=t.1eS5  
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3D仿真与结果比较 F}?4h Dt  
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