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infotek 2025-04-07 08:10

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 9OO0Ht4j  
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*;V2_fWJ@  
+qu@dU0\`|  
近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 {!:|.!-u  
NoSqzJyh  
建模任务 ~0Q\Lp);  
Xm0&U?dZB  
GSUOMy[M-  
VLwJ6?.f'  
模拟&设置:单平台互操作性 <7sF<KD  
建模技术的单平台互操作性 q^T&A[hMPx  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 }(vOaD|k=  
{ 8|Z}?I  
80R= r  
)KTWLr;  
 平面波光源 4IGQ,RTB  
 微透镜阵列 %yS`C"ZQ)  
 彩色滤光片(吸收介质) F?+Uar|-a  
 通过基底传播 f0fqDmn  
 探测 cE_Xo.:Y,  
!@]h@MC$7  
连接建模技术:微透镜 \e5,`  
I _Mqh4];  
=."WvBKg  
s/p>30Fg  
?6.KS  
连接建模技术:彩色滤光片 [ XY:MU e  
j_YZ(: =  
(fLbg,  
Hhce:E@K  
连接建模技术:可编程介质 tr67ofld|  
_,-M8=dL%*  
xVwi }jtG|  
KH6n3\=  
连接建模技术:自由空间传播 pN^G[  
Kw5+4R(5  
bQ:3G;  
#\!hBL @b  
连接建模技术:堆栈 kdueQ(\  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 lG^mW \ O  
5GWM )vrZg  
A5>gLhl7  
Aaw:B?4)  
 微透镜阵列 N4GIb 6  
 彩色滤光片(吸收介质) IB]VPj5  
 通过基底传播 . AQ3zpy5B  
 探测 ]qP}\+:  
/\Y%DpG$  
元件内场分析器:FMM _tauhwu  
MdTd$ 4J3  
OmUw.VH  
P A+e= %  
模拟结果 c K}  
rQQPs\o  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) b<8J;u<  
HI`A;G]  
YI(OrR;V  
|(8Hk@\CT>  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 6s"bstc{  
@snLE?g j  
$!3t$-TSD  
>A@D;vx  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) qZ]VS/5A  
$A!h=]  
9,a,A6xry  
OQb9ijLeK  
3D仿真与结果比较 Chi<)P$^  
8LM1oal}  
2 n+XML  
xTawG?"D  
3D仿真与结果比较 1R~WY'Ed  
OU3+SYM  
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