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infotek 2025-04-07 08:10

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 {L4ta~2/T  
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`2( )Vf  
#Fm,mO$v  
近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 7G z f>n  
#+>8gq^5  
建模任务 +a0q?$\  
/ p}^ Tpu  
o)GLh^g_I'  
U8m/L^zh  
模拟&设置:单平台互操作性 2M1}`H\  
建模技术的单平台互操作性 G AI( =  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 =^%#F~o:  
!#xk?LyB  
m:_'r"o  
nJC/yS |  
 平面波光源 +`'=K ;{U  
 微透镜阵列 AXFQd@#  
 彩色滤光片(吸收介质) }V:ZGP#!'  
 通过基底传播 P+K< /i  
 探测 l3[2b Qx  
x/7kcj!O  
连接建模技术:微透镜 mhpaPin*JS  
ZgarxV*  
mqUn3F3  
% s&l^&ux  
:rR)rj'  
连接建模技术:彩色滤光片 0&wbGbg(W  
vM5yiHI(jb  
}JPLhr|d^  
_[IOPHa"  
连接建模技术:可编程介质 kMd1)6%6A  
p^J=*jm)x  
t`%Xxxu  
K;)(fc  
连接建模技术:自由空间传播 j AXKp b  
-9)H [}.  
' m^nKG$"  
jTHgh>n  
连接建模技术:堆栈 ' ?tx?t  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 ,y5,+:Y ~  
we?# Dui  
VCf/EkC  
d0U-:S-  
 微透镜阵列 m!#'4  
 彩色滤光片(吸收介质) ykMdH:  
 通过基底传播 ;8Qx~:c  
 探测 !pT i.3  
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元件内场分析器:FMM s]X0}"cz  
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HAKB@h)  
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模拟结果 lf2Q  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) 6>Dm cG:.  
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wa1Qt  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) $Sls9H+.  
0Ba*"/U]t~  
'LX]/ D  
aWS_z6[t#6  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) ^7l+ Of b3  
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W6^YFN  
OrP i ("/  
3D仿真与结果比较 T"_f9?  
[Fk|%;B/~  
X+7@8)1(  
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3D仿真与结果比较 )`5=6i  
C.`!?CW  
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