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infotek 2025-04-07 08:10

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 bI,gNVN=  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 %/o8-N|_[  
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建模任务 y-TS?5Dr]  
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模拟&设置：单平台互操作性 (C RY$+d  
建模技术的单平台互操作性 MHv2r  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 Xq9n-;%zL  
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 平面波光源 $W 46!U3  
 微透镜阵列 ^gwVh~j  
 彩色滤光片(吸收介质) )2|'`  
 通过基底传播 lH6zZ8rh  
 探测 5h9`lS2  
Lzzf`jN]  
连接建模技术：微透镜 u.t(78N  
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7.n/W|\  
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连接建模技术：彩色滤光片 Ng?n}$g*  
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Vu DSjh  
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连接建模技术：可编程介质 }xx[=t=nUf  
K<O1PrC  
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FnN@W^/z  
连接建模技术：自由空间传播 \Gh]$s p  
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连接建模技术：堆栈 p$XL|1G*?H  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 c7mIwMhl~  
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 微透镜阵列 +'9l 2DI;  
 彩色滤光片(吸收介质) seh1(q?Va4  
 通过基底传播 uV r6tb1  
 探测 Y_3 {\g|x  
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元件内场分析器：FMM B w1ir  
58"Cn ||tF  
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模拟结果 hr&&"d {s  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) @ !0@f'}e  
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_&TA|Da  
Zgt:ZO  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) tG(#&54  
3okh'P%+  
 gWm -}Nb4  
-lr)z=})  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) hqW4.|&\c  
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 vd Fy}#X  
R}MdBE  
3D仿真与结果比较 V)M+dhl  
$2Y'[Dto\  
  -1Acprr  
w] b3,b  
3D仿真与结果比较 t]|WRQvy8  
J0 BA@jH5  
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