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infotek 2025-04-07 08:10

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 \9T7A&  
D&y7-/  
3JR+O <3D  
i83OOV$1J  
近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 ef4 i:.  
dR]m8mdqc1  
建模任务 |[8Th4*n  
1'8YkhQ2a  
fk-RV>yr  
WcGS9`m/  
模拟&设置:单平台互操作性 vl)l'  
建模技术的单平台互操作性 hDGF7  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 GQ ;;bcj&  
|_U= z;Y  
BZ^}J!Q'*  
`Pnoxm'  
 平面波光源 '|=;^Z7.K  
 微透镜阵列  %;!.n{X  
 彩色滤光片(吸收介质) _@/8gPT*i  
 通过基底传播 dAj$1Ke  
 探测 8q7b_Pq1U  
Etm?'  
连接建模技术:微透镜 1h5 Akq  
 9gZ$   
FVBYo%Ap  
jc9y<{~x/  
$ME)#(  
连接建模技术:彩色滤光片 U/BR*Zn]*  
T[j,UkgGo  
?bu>r=oIO]  
rVsJ`+L  
连接建模技术:可编程介质 "zy7C*)>r  
Du){rVY^d  
n'w.; q  
CJI~_3+K  
连接建模技术:自由空间传播 ete.!*=  
h)nG)|c  
X\ F|Tk3_  
Xn\jO>[Ef  
连接建模技术:堆栈 Wo ,?+I  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 2f_:v6   
y*h<MQ  
0 0U> F  
C{wEzM :  
 微透镜阵列 5NLDYi@3  
 彩色滤光片(吸收介质) 2)~> R  
 通过基底传播 n?K  
 探测 6\S~P/PkE  
W+1^4::+  
元件内场分析器:FMM .w ,q0<}  
kz7(Z'pw  
-s'-eQF J  
Q)z8PQl O  
模拟结果 {cw /!B  
F1Bq$*'N$w  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) gbagi+8s`%  
Lq!>kT<]!  
ef E.&]  
9]o-O]7/  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 01(AK%e  
N=g"(%  
tIS<U(N ;  
0Z]!/AsC  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 57'4ljvYi  
2SR:FUV/  
6Sn.I1Wy  
tcog'nAz  
3D仿真与结果比较 WvZ8/T'x  
x# 5A(g  
D*|Bb?  
G9<X_  
3D仿真与结果比较 [Cv/{f3]u{  
vd4ytC  
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