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2025-04-07 08:10 |
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要 m!_*Q (?lKedA>2
<^fvTb &* c`xgz#]v 近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 QV9z81[ CCU<t
Q 建模任务 tLo_lLn*~% &AhkP=Yw
1 JB~G7 =Bw2{]w 模拟&设置:单平台互操作性 L1YiXJ,T, 建模技术的单平台互操作性 klSA Y 在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 FgTWym_ y]b&3&
! ,&{1p E>Lgf&R#W 平面波光源 C}Ucyzfr,p 微透镜阵列 XG}9)fT 彩色滤光片(吸收介质) vnD `+y 通过基底传播 RGy+W- 探测 :FX|9h p~f=0K 连接建模技术:微透镜 -8m3L ?yy,3: .vWwYG
bW^JR, z`(">J 连接建模技术:彩色滤光片 $ uqB.f$ vfloha p
*m*sg64Zw @"__2\ 0 连接建模技术:可编程介质 ,'&H`h54 !"<~n-$B
w'7=CzfYn OmLe+,7' 连接建模技术:自由空间传播 8ib%CYR V2LvE.Kj
<P.'r,"[ qA5 Ug 连接建模技术:堆栈 ciGJtD&P 在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 ,v_NrX=f? Aqo90(jffx
ch]{=61 3oBR 微透镜阵列 |(3"_ 彩色滤光片(吸收介质) 5[Uv%A?H#_ 通过基底传播 yoG*c%3V? 探测 BV=~!tsl LsO}a;t5 元件内场分析器:FMM '^%k TNn aM YtWj
e-*-91D hO; XJyv 模拟结果 ~Xz?H=}U+ h&2l0|8k 像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) AL;4-(KH ip!-~HNwJ
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8L%(7 像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) y_r(06"z1 \IZY\WU}2
bXk(wXX .zv BV_I 像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 4d\V=_);r N5. B"l
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oI 3D仿真与结果比较 ZdgzPs" Q)=LbR{#
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