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infotek 2025-04-07 08:10

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 =As'vt 0  
wuYo@DDU#  
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近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 TaolX*$5  
)%j)*Ymz;  
建模任务 R&xD|w8UjM  
I:6xDDpZG`  
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B8s|VI  
模拟&设置:单平台互操作性 Fah}#,  
建模技术的单平台互操作性 b1*6)  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 |e< U%v  
3F.O0Vz  
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jB1\L<P  
 平面波光源 Rkm7"dO0  
 微透镜阵列 4|+ |L_  
 彩色滤光片(吸收介质) ;,4J:zvZdQ  
 通过基底传播 Y#t"..mc'  
 探测 >8AtT=}w  
*E. 2R{  
连接建模技术:微透镜 gSe{ S  
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e1/|PgT(KM  
Ow^%n(Ezh  
X r)d;@yi  
连接建模技术:彩色滤光片 `GDYL7pM(  
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{(MG: B  
Y-{spTI  
连接建模技术:可编程介质 blPC"3}3Vd  
{ o;0Fx  
eD(a +El}  
+_}2zc4  
连接建模技术:自由空间传播 R;.WOies4  
(@#Lk"B  
2mT+@G  
7r;A wa  
连接建模技术:堆栈 U&/S  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 $?GO|.59  
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 微透镜阵列 c]&VUWQ  
 彩色滤光片(吸收介质) _k@l-Bj  
 通过基底传播 V9bLm,DtT  
 探测 ^R$dG[Qf  
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元件内场分析器:FMM 68>zO %  
_ o(h]G1].  
CyU>S}t  
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模拟结果 E,$uN w']  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) %jf gncW  
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sg2C_]i,H  
PWU#`>4  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) H}~^,B2;  
qprOxP r  
gA|j\T{c  
Og npzN  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) ]rm=F]W/n  
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3D仿真与结果比较 ~e8n yB  
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Jp#cFUa t  
A%O#S<sa  
3D仿真与结果比较 /{va<CL  
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