首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
讯技光电&黉论教育
->
微透镜阵列CMOS传感器分析
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2025-04-07 08:10
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要
rJT^H5!o"
+ocol6G7W
0w\zLU
,]ma+(|
近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。
hz;G$cuEE
J6s`'gFns
建模任务
\FbvHr,
.9 on@S
q77;ZPfs8
Utj&]RELK
模拟&设置:单平台互操作性
[#<-ZC#T*
建模技术的单平台互操作性
?wiCQ6*$
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。
0[NZ>7wqMZ
'RQ+g}|Ba!
1#V_Z^OL
G~^r)fm_
平面波光源
e#L8X {f
微透镜阵列
q#Z@+(^
彩色滤光片(吸收介质)
!N\@'F!
通过基底传播
7 S#J>*
探测
*v jmy/3
)BZ.Sv
连接建模技术:微透镜
%Q__!D[
=w_Ype`
JIEK*ui
=r?hgGWe
UN;H+gNnN
连接建模技术:彩色滤光片
(Y.k8";)`
(^8Y|:Tz
F 5bj=mI
ITE{@1
连接建模技术:可编程介质
*KZYv=s,u
?yrX)3hyH
EnKR%Ctw
iW]j9} t
连接建模技术:自由空间传播
\+oQd=K@
acajHs
="1Ind@w!
zsEc(
连接建模技术:堆栈
E<{R.r
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。
AP n| \
!1jBC.G1
QUwd [
vjbASFF0=
微透镜阵列
lLX4Gq1
彩色滤光片(吸收介质)
O@T9x$
通过基底传播
Gvt G(u~
探测
YFLZ %(
.9/hHCp
元件内场分析器:FMM
7Kr*P<-G
j"t(0m
|{z:IQLv
.wEd"A&j
模拟结果
uanhr)Ys
!hA-_
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟)
a=|K%ii+Y
L\6M^r >
wjU9ZGM
7cuE7"
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟)
m<<+
JU 4<|5H
e[{0)y>=
h/QXPdV
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟)
^rB8? kt
_>o:R$ %}
-vAC"8)S
*^pR%E .
3D仿真与结果比较
U45e2~1!O
frm>4)9+
bt@< ut\
Eh)fnqs_d}
3D仿真与结果比较
Ij7p'a
*[Imn\hu
查看本帖完整版本: [--
微透镜阵列CMOS传感器分析
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2026
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计