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infotek 2025-04-07 08:10

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 q#\4/Dt  
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近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 "ifv1KZ#  
Y+!z]S/x  
建模任务 1"f)\FPGe  
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模拟&设置:单平台互操作性 hw2Sb,bY  
建模技术的单平台互操作性 1.I58(0~+  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 `oOVR6{K9  
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 平面波光源 IsiBn(1Z  
 微透镜阵列 )4^Sz&\  
 彩色滤光片(吸收介质) =[LUOOR*]  
 通过基底传播 /a }` y  
 探测 tL]T_]z  
SAhk`_  
连接建模技术:微透镜 e#!p6+#"  
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连接建模技术:彩色滤光片 [Gc9 3PA7q  
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连接建模技术:可编程介质 4 }NCdGD  
R5=M{  
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6 #k mV  
连接建模技术:自由空间传播 Y2}m/7aF  
LAY~hF"  
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xE- _Fv9  
连接建模技术:堆栈 ;%Kh~  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 B-h@\y  
AI]lG]q8  
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 微透镜阵列 #6@4c5{2=4  
 彩色滤光片(吸收介质) L[tq@[(IJ  
 通过基底传播 Bhk@0\a  
 探测 t'[`"pp=  
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元件内场分析器:FMM gwDVWhq  
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模拟结果  ?%*p!m  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) p8MN>pLP%  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) U% OlYP$g  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 8aTo TA7JA  
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3D仿真与结果比较  CP Ju=  
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3D仿真与结果比较 ?~<NyJHN%  
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