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2025-04-07 08:10 |
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要 R>YDn|cWI 9j6
=`oQcIkz (6WSQqp 近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 mAFVjSa2 3X,SCG 建模任务 OGjeE4 :<}.3 Q?&
`PY>p!E Js7D>GWP! 模拟&设置:单平台互操作性 xlH?J;$ 建模技术的单平台互操作性 I'NE>!=Q 在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 J3$Ce%< -5Km9X8
R4R SXV mOUIGlv 平面波光源 >;;tX3( 微透镜阵列 8#S}.|"?F 彩色滤光片(吸收介质) s|1BqoE 通过基底传播 M_4:~&N$ 探测 njk1x p=U/l#xO 连接建模技术:微透镜 A|D]e)/6+B N9M''H*VS iSZiJ4AUq
-C7IUat< P0En&g+~ 连接建模技术:彩色滤光片 ?rD`'B ^rKA=siz
R`RLq1WA RRNoX} 连接建模技术:可编程介质 `y26OYo f.o,VVYi
CulU?-[i Vo\RtM/6{ 连接建模技术:自由空间传播 %>cl0W3x =.]>,N`C
H9["ZRL,Q H8ws6}C 连接建模技术:堆栈 ;gh#8JkI 在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 D{](5?$`| M=!RJ%6f
Ua@rp3fr b,U3b})( 微透镜阵列 1D0_k 彩色滤光片(吸收介质) Zm:Wig
,a 通过基底传播 Q/%(&4>'y 探测 ,=9e]pQ C6XTId=y#_ 元件内场分析器:FMM &?@gUk74" ,6zH;fi
+q==Y/z m})q8b!S 模拟结果 5ml^3,x P}%0YJ$6 像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) _)7dy2%{q I$Q%iZ{
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\-* 像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 0,T'z, pr|P#mc"J
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