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infotek 2025-04-07 08:10

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 )_v\{N  
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YvruK: I  
近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 C6d]tLE  
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建模任务 #jZ@l3  
oM<!I0"gC+  
14D 7U/zer  
,<3uc  
模拟&设置:单平台互操作性 y|.fR>5  
建模技术的单平台互操作性 7"q+"0G  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 `x} Dk<HF  
N\q)LM !M  
Mi}I0yhVm  
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 平面波光源 )_8}53C  
 微透镜阵列 !\0F.*   
 彩色滤光片(吸收介质) %X9b=%'+  
 通过基底传播 9&%#nN4`8  
 探测 5#0e={X  
i<m$#6 <Z  
连接建模技术:微透镜 nMG rG  
P>Q{He:  
w,Z" W;|  
l RDxIuTK  
HK0::6n{  
连接建模技术:彩色滤光片 V5a?=vK9  
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3@)obb  
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连接建模技术:可编程介质 0||"r&:X  
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连接建模技术:自由空间传播 > BNw  
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u#+RUtM  
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连接建模技术:堆栈 h2wN<dJCM  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 FaFp_P?  
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 微透镜阵列 ; 8P_av}C  
 彩色滤光片(吸收介质) c>ad0xce6  
 通过基底传播 )O3jQ_q=  
 探测 y"^yYO  
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元件内场分析器:FMM z)lM2x>|*  
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模拟结果 H9RGU~q4s[  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) nr OqH  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) BhKO_wQ?:J  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) Wo{K}  
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3D仿真与结果比较 Dl%?OG<  
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@\)fzubu  
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3D仿真与结果比较 s~^*+kq  
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