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infotek 2025-04-07 08:10

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 R>YDn|cWI  
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(6WSQqp  
近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 mAFVjSa2  
3X,SCG  
建模任务 OGjeE4  
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模拟&设置:单平台互操作性  xlH?J;$  
建模技术的单平台互操作性 I'NE>!=Q  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 J3$Ce%<   
-5Km 9X8  
R4R SXV  
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 平面波光源 >;;tX3(  
 微透镜阵列 8#S}.|"?F  
 彩色滤光片(吸收介质) s|1BqoE  
 通过基底传播 M_4:~&N$  
 探测 njk1x  
p=U/l#xO  
连接建模技术:微透镜 A|D]e)/6+B  
N9M''H *VS  
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P0En&g+~  
连接建模技术:彩色滤光片 ?rD`'B  
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R`RLq1WA  
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连接建模技术:可编程介质 `y2 6OYo  
f.o,VVYi  
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Vo\RtM/6{  
连接建模技术:自由空间传播 %>cl0W3x  
=.]>,N`C  
H9["ZRL,Q  
H8ws6}C  
连接建模技术:堆栈 ;gh#8JkI  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 D{](5?$`|  
M =!RJ%6f  
Ua@rp3fr  
b,U3b})(  
 微透镜阵列 1D0_k  
 彩色滤光片(吸收介质) Zm:Wig ,a  
 通过基底传播 Q/%(&4>'y  
 探测 ,=9e]pQ  
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元件内场分析器:FMM &?@gUk74"  
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+q==Y/z  
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模拟结果 5ml^3,x  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) _)7dy2%{q  
I$Q%i Z{  
ZwLD7j*)  
(O N \-*  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 0,T'z,  
pr|P#mc"J  
ZD9UE3-  
&=sVq^d@qe  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) x9#>0 4s  
T4 dYC'z  
%"Y7 b2pPa  
%`%xD>![  
3D仿真与结果比较 |\ 1?CYx  
P&/PCSf  
|5wuYG  
cJ G><'  
3D仿真与结果比较 jb' hqz  
y(K?mtQ   
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