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小火龙果 2025-04-02 15:30

紫外连续变焦光学系统 | SYNOPSYS光学设计软件课程第95课

课程九十五:紫外连续变焦光学系统 4N7|LxNNl_  
本课时我们将演示如何利用SYNOPSYS设计紫外连续变焦光学系统。 gCVOm-*:  
设计指标: {'{9B  
  • 工作波段:250-340nm
  • 焦距:25-250mm
  • F数:4
  • 总长:431.5mm
  • 变倍比:10
  • 变焦位置:3
  • MTF@107lp/mm:>0.3
  • 畸变:<1%
  • 弥散斑半径:<5.5μm
}rs>B,=*k  
首先搜索初始结构,将写好的搜索宏保存为MZC.5A, ]8Xip/uE  
/?TR_>  
宏文件:请扫描文章底部二维码联系工作人员获取 $ZB`4!JxG  
TpYh)=;k  
`Nz`5}8.?  
运行完搜索宏以后,我们得到了一个有潜力的镜头初始结构: NB.'>Sar  
[attachment=131911] pY\ =f0]  
-2 8bJ,  
在发现镜片过薄后,我们对宏进行了调整与优化,增加了用于控制镜片厚度和F数的指令,并将优化后的宏文件保存为MZC.-1。 @*=5a (#  
4HGS  
^7;s4q  
优化宏:请扫描文章底部二维码联系工作人员获取 EUV8H}d5  
R)isWw4  
'W("s  
短焦位置镜头结构: Y Ztd IG  
[attachment=131910]  |*-<G3@  
`}bvbvmA  
第一、第二面透镜曲率半径类似且贴合非常紧密,将其进行胶合,优化退火。 inK;n  
[attachment=131916] IAe/)  
G!%8DX5  
使用AEI指令自动添加一面透镜,继续优化像质。 C 'Y2kb  
[attachment=131914] MtoOIkQ  
C[#C/@  
由于波段处于紫外范围,我们选用非寻常材料。使用MGT打开玻璃表,从中挑选了四种合适的材料,并利用GSEARCH功能确定了最佳的玻璃组合。 ]0|A\bE\S  
F=#V/ #ia  
GSEARCH宏:请扫描文章底部二维码联系工作人员获取 -g|ji.  
[attachment=131917] 0bIgOLP  
SN\c 2^#  
可以看见第10面透镜厚度过大,添加控制径厚比的指令ADT10 1 1,优化退火后结构: Q#K10*-O6  
[attachment=131912] %9S0!h\  
cKoW5e|u  
将表面16设置为真实光阑,优化退火得到最终镜头结构: Z`ww[Tbv~  
[attachment=131918] YB2gxZ  
kl9~obX 1  
RMS光斑大小(<2.5μm): ]T2Nr[vu  
变焦位置1: &,{YfAxQ`  
[attachment=131915] \[*q~95$v  
apfr>L3  
MTF(全视场MTF>0.5): iy]?j$B$  
变焦位置1: $p$p C/:%  
[attachment=131919] ?~yJ7~3TS<  
<l5m\A  
变焦位置2:  ~mi4V  
[attachment=131927] Nv6"c<(L=  
DGS,iRLnA  
变焦位置3: Eciu^  
[attachment=131922] IvI..#EzG  
%:;g|PC  
畸变(<1%): !H9^j6|  
变焦位置1: (hQi {  
[attachment=131920] <c!gg7@pm  
=_ b/ g  
变焦位置2: B<,7!:.II  
[attachment=131926] #k`gm)|  
Fqgs S  
变焦位置3: oDi+\0  
[attachment=131923] ZKpJc'h  
?#z<<FR  
场曲(<0.05mm): Z,Us<du  
变焦位置1: 7\R"RH-  
[attachment=131921] w1aoEo"S  
{>~9?Xwh   
变焦位置2: CgYX^h?Y9  
[attachment=131924] / !MKijI  
2+~gZxHq  
变焦位置3: G43r85LO  
[attachment=131929] yBIX<P)vE'  
1<_/Qu>V  
镜头基本参数: +{I" e,Nk  
[attachment=131925] K :~tZ  
=adHP|S  
透过率: ftl?x'P%  
[attachment=131928] yO!M$aOn/  
现在紫外连续变焦光学系统便设计完成了,感谢大家阅读与支持。 %d(= >  
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[attachment=131913] C"_ Roir?  
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