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infotek 2025-03-24 08:12

用阿贝判据研究显微系统的分辨率

摘要 Hg]iZ,8?  
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显微系统的分辨率一般用阿贝判据进行表征。这也解释了物镜的数值孔径(NA)决定了光栅(作为样本)衍射阶在其后焦平面上的滤波。当高衍射级次的衍射被滤除后,像面不会发生干涉,因此不会成像。本实例演示了数值孔径NA对滤波效果和分辨率的影响。 jA3Ir;a  
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1. 案例 tdi}P/x  
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在VirtualLab Fusion中构建系统 dBL{Mbh2Z  
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1. 系统构建模块 9jUm0B{?  
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2. 组件连接器 f;W>:`'  
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几何光学仿真 WB|SXto%4D  
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以光线追迹 1QDAfRx  
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1. 结果:光线追迹 ,OO0*%  
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快速物理光学仿真 kKSn^q L*  
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以场追迹 /&'rQ`nd  
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1. NA=1.4时的光栅成像 RiAY>:  
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2.  NA=0.75时的光栅成像 (A8X|Y  
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3. NA=0.5时的光栅成像 -J*jW N!  
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