清华大学在激光干涉光刻全局对准领域取得新进展

衍射光栅广泛应用于精密测量、激光脉冲压缩、光谱分析等领域。干涉光刻作为一种无掩膜曝光光刻方法，在衍射光栅加工制造方面具有高效率、高灵活度的优势。但干涉光刻加工的光栅尺寸在原理上受到曝光系统光束口径的限制，而增大光路系统中光学元件的口径具有现实困难。面对该难题，光学曝光拼接的方法被提出，该方法通过对单次曝光区域进行移动拼接，进而拓宽光栅的尺度。曝光拼接技术需要基于稳定、精准的外部参考来实现全局对准，基于外部参考光栅的方法是兼具高精度、高鲁棒性的对准方法。然而，目前在参考光栅曝光拼接领域，尚无在平面两个正交方向上全局对准的方法。 )i!^]|$  
针对上述问题，清华大学深圳国际研究生院李星辉团队提出了基于参考光栅全局对准的干涉光刻拼接曝光方法与系统，为衍射光栅制造中的口径扩展提供了思考和借鉴。 inF6M8 A1  
研究中搭建的拼接曝光加工系统，如图1（a）所示，曝光区域使用双光束干涉产生，如图1（b）所示。拼接过程中需要保证基底上的各个曝光区域中的条纹连续，应在拼接曝光时对拼接误差进行监测。本文中提出的拼接加工方法，使用两块参考光栅分别监测x和y两个方向移动后的拼接误差，以完成曝光光刻的面积在整个平面上进行拓展。两束曝光光束经过参考光栅衍射后，其两束衍射光会发生干涉产生参考条纹，而拼接误差会被放大至宏观尺度并反映在参考条纹中，通过得到的误差信息，即可对其进行补偿。此处使用了两块参考光栅，其中一块参考光栅与基底分离，另一块参考光栅与基底相连随基底移动。改变曝光区域在基底上的位置时，一个方向通过移动光束位置来完成，如图1（c）所示，另一个方向上通过移动基底来完成，如图1（d）所示。 jO)&KEh