一种紧凑型极紫外宽带光谱仪

近日，据国家知识产权局信息显示，浙江同越光学科技有限公司取得一项名为“一种紧凑型极紫外宽带光谱仪”的专利，授权公告号CN119104151B，申请日期为2024年9月。 )#l,RJ(  
据专利摘要显示，本发明公开了一种紧凑型极紫外宽带光谱仪，包括激光等离子体光源和承载机构，所述承载机构包括轴心在同一直线上的光源腔和收集腔，所述光源腔通过第一连接管与所述收集腔连通，所述光源腔上表面设置有分光原件，所述收集腔上表面设置有非周期Al/Zr多层膜球面反射镜，所述光源腔另一侧通过第二连接管连接有CCD传感器，所述CCD传感器与所述分光原件之间位于所述第二连接管上设置有杂散光抑制机构。本发明采用上述的一种紧凑型极紫外宽带光谱仪，在保证光谱分辨率和透射效率的同时避免了使用反射式光栅造成的额外空间需求和引入额外像差，提升了光谱分辨率。 /^z5;aG