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infotek 2025-02-26 08:00

锥形相位掩模的Talbot图像

摘要 Y ^+x<  
^FLs_=E  
在传统的 Talbot 光刻中,在光敏层中仅使用一个图像。 但是,可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中,按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM,也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像,在主像平面中会再现柱状图案,而在次要像平面中再现孔图案。 4LTm&+(5  
g{'f%bkG  
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建模任务 .!o]oM U/  
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A*OqUq/H`;  
structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) wK(]E%\  
hY&Yp^"}]^  
系统建模块 r!Eh}0bL  
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ZO<,V  
A6]:BuP;c  
特定位置的Talbot图案 >Z!!`0{  
G&*P*f1 S  
16L YVvmW  
D{+@ ,C7B  
特定位置的Talbot图案 ;\pVc)\4"  
Q a (Sb  
5Y *4a%"  
不同位置的Talbot图案 leC!Yj  
E f\|3D_  
+YvF+E  
E;a,].  
不同位置的Talbot图案 CP7Fe{P  
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I-R7+o  
V#ELn[k  
沿 Z 轴的强度 aGbG@c8PRi  
6m_mma_,&  
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VirtualLab Fusion技术 DzpWU8j  
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