光学薄膜实际膜厚测量

镀的AR膜，想要测试薄膜的实际镀膜厚度和实际的材料折射率；实际镀膜厚度使用的台阶仪进行测量的，但测量出来的曲线不理想，差距也很大，想问下大家都是用的什么设备来测试的啊~
本来是准备实际膜厚出来以后再用椭偏仪测试实际的材料折射率的，结果第一步就卡住了~

ouyuu	2025-02-20 11:31
镀厚一点的单层然后测，再和水晶膜厚比对一下。 l&e5_]+% Sm*Jysy` 实际上层和层之间是有过渡的， 1DI"LIL 层开始和结束的时候因为速率不稳会也导致折射率变化。 a V+o\fId 所以求个大概就可以了。 /eU1(oo&`5

morningtech	2025-02-20 13:14
版主说的对，先做单层膜。 /I`bh 用光谱仪测光谱，然后用光学薄膜软件模拟出折射率和厚度。大多数这样做。 tNi%}~Z

兜兜吃葡萄

2025-02-20 13:52

ouyuu:镀厚一点的单层然后测，再和水晶膜厚比对一下。 ?3"D| cS1
实际上层和层之间是有过渡的， kvgs $
层开始和结束的时候因为速率不稳会也导致折射率变化。 l SVW}t
所以求个大概就可以了。 BtNW5'^
....... (2025-02-20 11:31) 1J{z}yPHc

我是做的单层膜，多个样，厚度从薄到厚（从几十到数百纳米），因为我担心随厚度的加厚差异值是不是呈线性关系；
所以不用考虑线性非线性影响，镀单层较厚的膜做比较对比就可以了是吗

兜兜吃葡萄	2025-02-20 13:57
morningtech:版主说的对，先做单层膜。 FvNSu"O~K1 用光谱仪测光谱，然后用光学薄膜软件模拟出折射率和厚度。大多数这样做。 ]zq_gV8k (2025-02-20 13:14) ,S0~:c:) Qhr]eu;z 我的是AR膜，单层膜的话一般镀多厚呢？还是都可以不影响，如果是光谱仪测光谱的话（用分光光度计？）

morningtech	2025-02-20 14:33
几百nm. 分光光度计

lijinxia	2025-02-21 09:24
白光干涉仪

lijinxia	2025-02-21 09:25
感兴趣的话，可以留言给我。我们这边有个老师有这款产品，性价比很高

ouyuu

2025-02-26 08:44

兜兜吃葡萄:我的是AR膜，单层膜的话一般镀多厚呢？还是都可以不影响，如果是光谱仪测光谱的话（用分光光度计？） (2025-02-20 13:57) "sx&8H"

如果想精度高一点的话，一般分光仪测量范围内要有2-3个PEAK。
这样用软件模拟出来会好一点。
几百个纳米是需要的。像二氧化硅可能还要多镀一点。

ouyuu	2025-02-26 09:02
AR膜因为薄层比较多，膜与膜之间过渡的折射率不好仿真，所以软件只能模拟个大概，余下的精修要靠经验。设备的机差会很大。

兜兜吃葡萄

2025-02-26 15:43

ouyuu:AR膜因为薄层比较多，膜与膜之间过渡的折射率不好仿真，所以软件只能模拟个大概，余下的精修要靠经验。设备的机差会很大。 (2025-02-26 09:02) c!^}!32j)

我把样品做了下调整，准备镀出来再去台阶仪上试试看有没有改善~能用物理方法测出来最好，行不通的话我在试试分光光度计和软件模拟~多谢巨巨~

yk024	2025-02-27 13:24
用椭偏仪，可以厚度和光学常数

cwl563590	2025-08-09 12:59
学到了，收获满满

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