光学薄膜实际膜厚测量

镀的AR膜，想要测试薄膜的实际镀膜厚度和实际的材料折射率；实际镀膜厚度使用的台阶仪进行测量的，但测量出来的曲线不理想，差距也很大，想问下大家都是用的什么设备来测试的啊~
本来是准备实际膜厚出来以后再用椭偏仪测试实际的材料折射率的，结果第一步就卡住了~

ouyuu	2025-02-20 11:31
镀厚一点的单层然后测，再和水晶膜厚比对一下。 CP$,fj <'A-9y]-v 实际上层和层之间是有过渡的， Mpk7$=hjc 层开始和结束的时候因为速率不稳会也导致折射率变化。 w_LkS/ 所以求个大概就可以了。 \8vZZt

morningtech	2025-02-20 13:14
版主说的对，先做单层膜。 M-F{I%Vx 用光谱仪测光谱，然后用光学薄膜软件模拟出折射率和厚度。大多数这样做。 U_E t

兜兜吃葡萄

2025-02-20 13:52

ouyuu:镀厚一点的单层然后测，再和水晶膜厚比对一下。 SWT)M1O2
实际上层和层之间是有过渡的， zW[HGI6w
层开始和结束的时候因为速率不稳会也导致折射率变化。 uNqN &7g
所以求个大概就可以了。 wawJZ+V
....... (2025-02-20 11:31) 9pk-#/ag

我是做的单层膜，多个样，厚度从薄到厚（从几十到数百纳米），因为我担心随厚度的加厚差异值是不是呈线性关系；
所以不用考虑线性非线性影响，镀单层较厚的膜做比较对比就可以了是吗

兜兜吃葡萄	2025-02-20 13:57
morningtech:版主说的对，先做单层膜。 L}K8cB 用光谱仪测光谱，然后用光学薄膜软件模拟出折射率和厚度。大多数这样做。 +{%)}?F (2025-02-20 13:14) m<J:6^H@ \|:L}/onK 我的是AR膜，单层膜的话一般镀多厚呢？还是都可以不影响，如果是光谱仪测光谱的话（用分光光度计？）

morningtech	2025-02-20 14:33
几百nm. 分光光度计

lijinxia	2025-02-21 09:24
白光干涉仪

lijinxia	2025-02-21 09:25
感兴趣的话，可以留言给我。我们这边有个老师有这款产品，性价比很高

ouyuu

2025-02-26 08:44

兜兜吃葡萄:我的是AR膜，单层膜的话一般镀多厚呢？还是都可以不影响，如果是光谱仪测光谱的话（用分光光度计？） (2025-02-20 13:57) pnXwE-c_

如果想精度高一点的话，一般分光仪测量范围内要有2-3个PEAK。
这样用软件模拟出来会好一点。
几百个纳米是需要的。像二氧化硅可能还要多镀一点。

ouyuu	2025-02-26 09:02
AR膜因为薄层比较多，膜与膜之间过渡的折射率不好仿真，所以软件只能模拟个大概，余下的精修要靠经验。设备的机差会很大。

兜兜吃葡萄

2025-02-26 15:43

ouyuu:AR膜因为薄层比较多，膜与膜之间过渡的折射率不好仿真，所以软件只能模拟个大概，余下的精修要靠经验。设备的机差会很大。 (2025-02-26 09:02) {|B[[W\TN

我把样品做了下调整，准备镀出来再去台阶仪上试试看有没有改善~能用物理方法测出来最好，行不通的话我在试试分光光度计和软件模拟~多谢巨巨~

yk024	2025-02-27 13:24
用椭偏仪，可以厚度和光学常数

查看本帖完整版本: [-- 光学薄膜实际膜厚测量 --] [-- top --]